公开(公告)号：KR102236048B1

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：KR1020190074847

申请日：2019-06-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 다케이준이치 ,  소네히로시 ,  스즈키나오유키 ,  오리모토신지

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/56 ,  C23C14/22 ,  H01J37/34

Abstract: 개구부의형상을용이하게변경할수 있는기술을제공한다. 본개시의일 태양에의한스퍼터링장치는, 기판을수용하는처리용기와, 상기처리용기내를타겟재가설치되는제 1 공간과상기기판이설치되는제 2 공간으로구획하는슬릿판을포함하며, 상기슬릿판은, 판두께방향으로관통하는개구부를갖는내측부재와, 상기내측부재의주위에설치되는외측부재를구비하며, 상기내측부재는상기외측부재에대해서착탈가능하다.

公开(公告)号：KR102206900B1

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：KR1020180154892

申请日：2018-12-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 치하야히로아키 ,  소네히로시

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: [과제] 기판처리장치를제공한다. [해결수단] 일실시형태의기판처리장치는지지대를구비한다. 지지대는기판탑재영역을제공한다. 셔터를지지한회전축이지지대로부터떨어져연직방향으로연장하고있다. 회전축의중심축선주위의회전에의해, 셔터는지지대의위쪽의제 1 영역과지지대로부터떨어진제 2 영역의사이에서이동한다. 셔터는관을갖는다. 관은아래쪽을향해개구된복수의가스출력구멍을제공하고있다. 셔터가제 1 영역내에배치되고있을때에, 복수의가스출력구멍의배열은, 제 2 영역으로부터제 1 영역을향하는회전방향에있어서, 탑재영역에대해서외측에위치한다. 중심축선과복수의가스출력구멍사이의최소거리는중심축선과탑재영역사이의최소거리이하이다. 중심축선과복수의가스출력구멍사이의최대거리는중심축선과탑재영역사이의최대거리이상이다.

公开(公告)号：KR102139872B1

公开(公告)日：2020-07-30

申请号：KR1020180154318

申请日：2018-12-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마에다고지 ,  요코하라히로유키 ,  소네히로시 ,  미야시타데츠야

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/02 ,  C23C14/34 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687