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公开(公告)号：KR102237507B1
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：KR1020140065736
申请日：2014-05-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302 , H01L21/02
Abstract: 본발명은세정성능을향상시키고아울러소형화를도모하는것을특징으로한다. 실시형태에따른기판처리장치는, 기판에처리액을토출하는제1 노즐및 제2 노즐과, 제1 노즐과제2 노즐을이동시키는이동기구와, 적어도제2 노즐을세정하는노즐세정장치를구비한다. 노즐세정장치는, 세정조와, 오버플로조를구비한다. 세정조는, 적어도제2 노즐을세정하기위한세정액을저류하는저류부와, 정해진수위를초과한세정액을저류부로부터배출하는오버플로부를구비한다. 오버플로조는, 세정조에인접하여배치되고, 오버플로부로부터배출되는세정액을받아외부에배출한다.
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公开(公告)号：KR1020170077829A
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：KR1020160180118
申请日：2016-12-27
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: [과제] 컵의둘레벽부의상면에부착된이물질을제거할수 있는기판처리장치및 기판처리방법을제공한다. [해결수단] 실시형태의일 양태에따른기판처리장치는, 유지부와, 처리액공급부와, 컵과, 세정액공급부를구비한다. 유지부는기판을유지한다. 처리액공급부는기판에대하여처리액을공급한다. 컵은, 바닥부와, 바닥부로부터세워져설치되는통형상의둘레벽부와, 둘레벽부의상측에설치되어기판으로부터비산된처리액을받는액수용부와, 둘레벽부의상면에둘레방향을따라서형성된홈부를가지며, 유지부를둘러싼다. 세정액공급부는, 둘레벽부의상면에대하여세정액을공급한다.
Abstract translation: 发明内容本发明提供一种能够去除附着在杯的周壁部的上表面的异物的基板处理装置和基板处理方法。 [解决问题的手段]根据本实施例的一个方面，提供与保持部及该处理液供给部，杯的部分和清洗液供给一种基板处理装置。 保持部分保持衬底。 处理液供应部分将处理液供应到基板。 该杯包括底部，从底部竖立设置的管状周壁部，设置在周壁部的上侧以接收从基板散射的处理液的液体供给部， 并围绕保持部分。 清洁液体供应部分将清洁液体供应到周壁部分的上表面。
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公开(公告)号：KR1020140141514A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020140065736
申请日：2014-05-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/302 , H01L21/02
CPC classification number: B05B15/555 , C03C23/0075 , H01L21/67051 , H01L21/6715
Abstract: 본 발명은 세정 성능을 향상시키고 아울러 소형화를 도모하는 것을 특징으로 한다.
실시형태에 따른 기판 처리 장치는, 기판에 처리액을 토출하는 제1 노즐 및 제2 노즐과, 제1 노즐과 제2 노즐을 이동시키는 이동 기구와, 적어도 제2 노즐을 세정하는 노즐 세정 장치를 구비한다. 노즐 세정 장치는, 세정조와, 오버플로조를 구비한다. 세정조는, 적어도 제2 노즐을 세정하기 위한 세정액을 저류하는 저류부와, 정해진 수위를 초과한 세정액을 저류부로부터 배출하는 오버플로부를 구비한다. 오버플로조는, 세정조에 인접하여 배치되고, 오버플로부로부터 배출되는 세정액을 받아 외부에 배출한다.Abstract translation: 本发明是为了提高清洗性能，确保小型化。 根据实施例的基板处理装置包括：第一喷嘴，将基板处理液喷射的第二喷嘴，使第一喷嘴和第二喷嘴移动的移动单元;以及喷嘴清洗装置，其至少清洗第二喷嘴 。 喷嘴清洁装置包括清洗槽和溢流槽。 清洗槽包括存储部分，其存储用于清洁至少第二喷嘴的清洁溶液和从存储部分排出在预定水位上流动的清洁溶液的溢流部分。 溢流槽与清洗槽相邻，将从溢流器排出的清洗液排出到外部。
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