公开(公告)号：KR1020100064346A

公开(公告)日：2010-06-14

申请号：KR1020090119209

申请日：2009-12-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키 ,  아마노츠토무 ,  와카모리츠토무

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67772 ,  F16K3/029 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67201

Abstract: PURPOSE: A load lock device and a vacuum processing system are provided to prevent the generation of a particle due to an abrasion of a seal material by controlling the displacement of s seal surface on both ends of a partition. CONSTITUTION: A load lock device includes a vacuum preparing chamber with two up and down stages blocked with a partition(47). A pair of slits(101,102) are formed on the partition to vertically pass through the partition. The inside of the slit is a cavity and the upper and lower openings of the slit are sealed with an elastic plate. A reinforcement member is arranged to resist compressive force applied to the width direction of the slit. A partition includes a pressure control hole(50) from the inside of the slit to the seal surface.

Abstract translation: 目的：提供一种装载锁定装置和真空处理系统，以通过控制分隔件两端的密封表面的位移来防止由于密封材料的磨损而产生的颗粒。 构成：装载锁定装置包括具有用分隔件（47）封闭的两个上下级的真空准备室。 在隔板上形成一对狭缝（101,102），以垂直地穿过隔板。 狭缝的内部是空腔，狭缝的上下开口用弹性板密封。 加强构件被布置成抵抗施加到狭缝的宽度方向的压缩力。 分隔件包括从狭缝的内部到密封表面的压力控制孔（50）。

公开(公告)号：KR101124922B1

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：KR1020090119209

申请日：2009-12-03

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 나베야마유키 ,  아마노츠토무 ,  와카모리츠토무

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67

Abstract: 본 발명은 다단의 진공 예비실을 갖는 로드록 장치에 있어서, 격벽의 변형에 기인하는 파티클의 발생을 방지한다. 로드록 장치(5)는 격벽(47)에 의해 가로막힌 상하 2단의 진공 예비실(27a, 27b)을 갖고 있다. 격벽(47)에는 상하로 관통하는 한쌍의 슬릿(101, 102)이 형성되어 있다. 슬릿(101)의 내부는 공동이며, 슬릿(101)의 상하의 개구 부분은 탄성판(61)에 의해 밀봉되어 있다. 슬릿(101) 내에는 슬릿(101)의 폭방향으로 가해지는 압축력에 저항하도록 보강 부재(71)가 배치되어 있다. 격벽(47)에는 슬릿(101, 102)의 내부로부터 시일면(47a, 47b)에 각각 도달하는 압력 조정 구멍(50)이 마련되어 있다.