公开(公告)号：KR101838793B1

公开(公告)日：2018-03-14

申请号：KR1020160038454

申请日：2016-03-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아마다신야 ,  오시마기요미 ,  시마무라아키노리 ,  하야시데루유키 ,  오이카와준지

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/67

Abstract: [과제] 각기판을안정적으로균일하게가열할수 있는기판가열장치를제공한다. [해결수단] 기판가열장치(10)는, 내부에가열가스가존재하는수용실(11)과, 유리기판(G)을가열하는복수의가열유닛(12)을구비하고, 복수의가열유닛(12)은수용실(11)의내부에있어서서로평행하고또한이격되며, 그리고상하방향에관해서중첩되도록배치되며, 각가열유닛(12)은, 유리기판(G)을수용하는가열실(18)과, 당해가열실(18)의내부에가열된가스를도입하는유닛팬(19)을갖는다.

Abstract translation: 发明内容本发明提供一种能够稳定且均匀地加热各基板的基板加热装置。 基板加热装置（10）包括存在加热气体的容纳室（11）和用于加热玻璃基板（G）的多个加热单元（12） 12在收纳室11的内部彼此平行且隔开地配置，在上下方向上重叠，各加热部12具有收纳玻璃基板G的加热室18， 以及用于将加热后的气体导入加热室18的单元风扇19。

公开(公告)号：KR1020160118957A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：KR1020160038454

申请日：2016-03-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아마다신야 ,  오시마기요미 ,  시마무라아키노리 ,  하야시데루유키 ,  오이카와준지

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67115 ,  H01L51/0026

Abstract: [과제] 각기판을안정적으로균일하게가열할수 있는기판가열장치를제공한다. [해결수단] 기판가열장치(10)는, 내부에가열가스가존재하는수용실(11)과, 유리기판(G)을가열하는복수의가열유닛(12)을구비하고, 복수의가열유닛(12)은수용실(11)의내부에있어서서로평행하고또한이격되며, 그리고상하방향에관해서중첩되도록배치되며, 각가열유닛(12)은, 유리기판(G)을수용하는가열실(18)과, 당해가열실(18)의내부에가열된가스를도입하는유닛팬(19)을갖는다.