公开(公告)号：KR100996064B1

公开(公告)日：2010-11-22

申请号：KR1020080041757

申请日：2008-05-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마와쿠쥰 ,  모리야츠요시 ,  야쿠시지히데아키 ,  아베가즈마사

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: 수분을 원인으로 하는 불량을 야기하지 않고, 진공 흡인 시간을 단축할 수 있는 진공 흡인 방법을 제공한다.
챔버(11)를 구비하는 진공 처리 장치(10)에서, 챔버(11) 내의 진공 흡인시, APC 밸브(16)에 의해서 일정한 시간, 예컨대, 수십초 동안에 걸쳐 챔버(11) 내의 압력을 6.7∼13.3×10
2 Pa(5∼10Torr)로 유지하고(압력 유지), 이어서, 챔버(11) 내에 가열 가스를 급속하게 도입하여 챔버(11) 내를 1.3∼2.7×10
4 Pa(100∼200Torr)까지 급속하게 승압시키고(급속 승압), 시간 T1로부터 시간 T2까지의 동안에, 압력 유지와 급속 승압을 복수회 반복한다.

公开(公告)号：KR1020080107996A

公开(公告)日：2008-12-11

申请号：KR1020080041757

申请日：2008-05-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마와쿠쥰 ,  모리야츠요시 ,  야쿠시지히데아키 ,  아베가즈마사

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: An absorbing method and a storage medium are provided to decrease the time required for the vacuum suction without causing the fault based on the moisture. An absorbing method of the vacuum processing device including vacuum process room includes the following steps: the first pressure adjustment step which is the sub atmospheric pressure and maintains the pressure within the vacuum process room over 6.7Î102 Pa (5Torr) in the vacuum suction; the second pressure adjustment step which boosts up the pressure in the vacuum process room higher than the pressure of the first pressure adjustment step and lower than the pressure of the sub atmospheric pressure, following the first pressure adjustment step.

Abstract translation: 提供一种吸收方法和存储介质，以减少真空抽吸所需的时间，而不会导致基于湿气的故障。 包括真空处理室的真空处理装置的吸收方法包括以下步骤：作为次大气压的第一压力调节步骤，并且在真空处理室内保持在真空吸附过程中的最大吸力为6.7〜102Pa（5Torr）的压力; 所述第二压力调节步骤在所述第一压力调节步骤之后，将所述真空处理室中的压力升高到高于所述第一压力调节步骤的压力并且低于所述次大气压的压力。