公开(公告)号：KR1020010110481A

公开(公告)日：2001-12-13

申请号：KR1020017012536

申请日：2000-03-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스즈키도모히로 ,  가사이시게루 ,  시미즈마사히로 ,  야자와미노루

IPC: G01J5/10

Abstract: 본 발명은 방사식 온도계를 이용하여 웨이퍼 등의 피처리 물체의 온도 측정을 행하는 경우에, 가열용 램프에 의한 미광의 영향을 배제하는 것을 목적으로 하고 있다. 본 발명에서는, 램프(22)에 출력 제어부(28)로부터 공급되는 전력(W)과 램프(22)로부터 방사되는 빛 에너지 사이에 성립하는 관계를 이용한다. 램프(22)로부터 방사되는 빛이 포토다이오드(18)의 출력 전압에 미치는 영향을 전력(W)의 함수로서 미리 실험적으로 구하여 연산부(26)에 저장해 둔다. 연산부(26)는 출력 제어부(28)로부터 송신되는 전력(W)의 값에 기초하여 포토다이오드(18)의 출력 전압에 포함되는 램프(22)로부터의 미광의 영향분을 포토다이오드(18)의 출력값에서 감산하여 서셉터(8)의 온도를 산출한다.

公开(公告)号：KR100655250B1

公开(公告)日：2006-12-08

申请号：KR1020017012536

申请日：2000-03-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스즈키도모히로 ,  가사이시게루 ,  시미즈마사히로 ,  야자와미노루

IPC: G01J5/10

CPC classification number: G01J5/0003 ,  G01J5/0007 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0818 ,  G01J5/0862 ,  G01J5/0875 ,  G01J5/0887 ,  G01J2005/0048

Abstract: 본 발명은 방사식 온도계를 이용하여 웨이퍼 등의 피처리 물체의 온도 측정을 행하는 경우에, 가열용 램프에 의한 미광의 영향을 배제하는 것을 목적으로 하고 있다. 본 발명에서는, 램프(22)에 출력 제어부(28)로부터 공급되는 전력(W)과 램프(22)로부터 방사되는 빛 에너지 사이에 성립하는 관계를 이용한다. 램프(22)로부터 방사되는 빛이 포토다이오드(18)의 출력 전압에 미치는 영향을 전력(W)의 함수로서 미리 실험적으로 구하여 연산부(26)에 저장해 둔다. 연산부(26)는 출력 제어부(28)로부터 송신되는 전력(W)의 값에 기초하여 포토다이오드(18)의 출력 전압에 포함되는 램프(22)로부터의 미광의 영향분을 포토다이오드(18)의 출력값에서 감산하여 서셉터(8)의 온도를 산출한다.

公开(公告)号：KR1020010110480A

公开(公告)日：2001-12-13

申请号：KR1020017012533

申请日：2000-03-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 스즈키도모히로 ,  가사이시게루 ,  시미즈마사히로 ,  야자와미노루

IPC: G01J5/10

CPC classification number: G01J5/0003 ,  G01J5/0007 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0818 ,  G01J5/0862 ,  G01J5/0875 ,  G01J5/0887

Abstract: 본발명은방사식온도계를이용하여웨이퍼등의피처리물체의온도측정을행하는경우에, 장치의구성을복잡하게하지않고가열용램프에의한미광의영향을배제하는것을목적으로하고있다. 챔버(2)의창 재료(6)로서수산기를함유하는석영유리를이용한다. 수산기를함유하는석영유리는그 자체가 2700 nm 부근의파장의빛을강하게흡수하는성질을갖는다. 광검출기(16)측의수광소자(18)와광필터(19)를적절하게선택하고, 광검출기(16)에의해 2700 nm 근방의파장의빛만을검출하도록하여, 램프미광의영향을배제한다. 창재료(6) 자체가필터기능을갖고있기때문에, 램프(22)와가열대상물사이에별개의필터를설치할필요가없게된다.

Abstract translation: 提供了一种简化的系统，其中待处理物体（例如晶片）的温度由非接触式温度计测量，同时消除来自加热灯的杂散光的影响。 室（2）的窗口材料（6）由含有羟基的熔融二氧化硅制成。 含有羟基的熔融二氧化硅能够强烈吸收波长在2700nm附近的光。 适当地选择光电检测器（16）上的光电检测器元件（18）和滤光器（19），使得光电检测器（16）可以仅检测波长在2700nm附近的光，从而消除杂散光的影响 从灯。 由于窗口材料（6）本身用作过滤器，所以在灯（22）和待加热物体之间不需要其它过滤器。