公开(公告)号：KR1020160061263A

公开(公告)日：2016-05-31

申请号：KR1020150161189

申请日：2015-11-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와키야마데루푸미 ,  이토노리히로 ,  히가시지마지로 ,  비와사토시

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68728 ,  H01L21/67051

Abstract: 본발명은기판에공급된후의처리액이건조후의기판에부착되는것을억제하여기판의오손(汚損)을방지하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 기판을처리하는기판처리시스템에있어서, 연직축주위로회전가능하게설치된유지플레이트와, 상기유지플레이트에설치되고, 상기기판을유지하는기판유지부재와, 상기기판유지부재에유지된기판을미리정해진방향으로회전시키는회전구동부와, 상기기판유지부재에유지된기판에처리액을공급하는처리유체공급부를구비하고, 상기기판유지부재는, 기판과대향하는위치에형성된제1 측면부와상기제1 측면부에인접하는제2 측면부및 제3 측면부를가지며, 상기제1 측면부는, 기판의단부면을파지(把持)하는파지부를갖고, 상기제2 측면부는, 상기제1 측면부와의사이에서첨단부(尖端部)를형성하며, 기판에공급된후의처리액을기판의하방으로안내하는액류(液流) 안내부를구비하는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明的目的是通过在干燥处理液之后，通过抑制供给到基板的处理液被附着到基板来防止基板被污染。 根据本发明的用于处理基板的基板处理系统包括：安装成能够围绕垂直轴线旋转的维护板; 基板保持部件，其安装在维护板上并维持基板; 旋转驱动部，其将保持在所述基板保持部件上的所述基板沿预定方向旋转; 以及用于向保持在基板保持部件上的基板供给处理液的加工液供给部。 基板保持部件具有：形成在面向基板的位置的第一侧面部; 以及与第一侧面部相邻的第二侧面部和第三侧面部。 第一侧面部具有用于抓住基板的端面的抓取部，第二侧面部在第一侧面部和第二侧面部之间形成切削刃部，准备液体引导部， 引导在基板下方供给到基板的处理液。