公开(公告)号：KR101933776B1

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：KR1020170005387

申请日：2017-01-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마사키히데아키 ,  오카베신야 ,  이타타니다케시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/60

Abstract: [과제]
진공 반송 모듈과 진공 처리 모듈의 사이를 구획하는 게이트 밸브를 개폐했을 때에, 웨이퍼에의 파티클의 부착을 억제하는 기술을 제공하는 것.
[해결 수단]
진공 반송실(2)과 처리 용기(30) 사이의 웨이퍼(W)의 반송을 실시함에 있어서, 양자를 구획하고 있는 게이트 밸브(40)를 열기 전에 처리 용기(30) 내에서는, 탑재대(5)의 상방으로부터 Ar 가스를 공급하고, 해당 불활성 가스의 유량이 진공 반송실(2) 내에 공급되는 N
2 가스의 유량보다 작고, 또 처리 용기(30) 내의 압력이 진공 반송실(2) 내의 압력보다 작은 상태로 하고 있다. 이 때문에 게이트 밸브(40)를 열었을 때에 N
2 가스가, 진공 반송실(2)로부터 처리 용기(30)로 유입하는 방향의 흐름, 및 탑재대(5)의 표면의 중심부로부터 주연부로 향하고, 탑재대(5)의 주연으로부터 하방으로 향하는 기류를 유지한 채로, 게이트 밸브(40)를 열고, 웨이퍼(W)를 반송할 수 있어, 부착물(100)의 탑재대(5)의 상방으로의 비산을 억제할 수 있다.

公开(公告)号：KR102167479B1

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：KR1020180164244

申请日：2018-12-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이타타니다케시 ,  이시자카다다히로 ,  타필리칸다바라 ,  유카이-훙 ,  박완재

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/78 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/768

公开(公告)号：KR1020170085977A

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：KR1020170005387

申请日：2017-01-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 야마사키히데아키 ,  오카베신야 ,  이타타니다케시

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/60

Abstract: [과제] 진공반송모듈과진공처리모듈의사이를구획하는게이트밸브를개폐했을때에, 웨이퍼에의파티클의부착을억제하는기술을제공하는것. [해결수단] 진공반송실(2)과처리용기(30) 사이의웨이퍼(W)의반송을실시함에있어서, 양자를구획하고있는게이트밸브(40)를열기전에처리용기(30) 내에서는, 탑재대(5)의상방으로부터 Ar 가스를공급하고, 해당불활성가스의유량이진공반송실(2) 내에공급되는 N가스의유량보다작고, 또처리용기(30) 내의압력이진공반송실(2) 내의압력보다작은상태로하고있다. 이때문에게이트밸브(40)를열었을때에 N가스가, 진공반송실(2)로부터처리용기(30)로유입하는방향의흐름, 및탑재대(5)의표면의중심부로부터주연부로향하고, 탑재대(5)의주연으로부터하방으로향하는기류를유지한채로, 게이트밸브(40)를열고, 웨이퍼(W)를반송할수 있어, 부착물(100)의탑재대(5)의상방으로의비산을억제할수 있다.

Abstract translation: 发明内容本发明提供一种技术，用于在用于分隔真空输送模块和真空处理模块之间的分隔的闸阀打开或关闭时抑制颗粒对晶片的粘附。 在搬运真空搬运室2与处理容器30之间的晶片W时，在处理容器30内，在打开分隔真空搬运室2与处理容器30的闸阀40之前， 阶段5，纱线从所述的装备室供给Ar气体，和输送在真空传送腔室中的惰性气体压力的流速（2）N小于所述气体的流率，并且处理容器30被供给到真空（2 室内的压力小于室内的压力。 正因为如此，在N 2气体打开闸阀40时，在一个方向上的流动从真空传送腔室流入所述处理容器30（2），以及与所述外围的一部分从基体5的表面的中心面对，与 同时，可以保留从基座5的外周向下指向的气流，打开闸阀40，它是能够运输晶片（W），可以抑制附着100的安装台5服装室的散射 有。