公开(公告)号：KR1019970060379A

公开(公告)日：1997-08-12

申请号：KR1019970001902

申请日：1997-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호리우치다카시 ,  고바야시센쇼 ,  이토오마사히데 ,  고미히사시

IPC: H01L21/22

Abstract: 본 발명의 배기 시스템은 유기금속 화합물의 기화가스를 이용하여 대상물에 성막(成膜)을 실시하는 성막처리 장치의 배기구에 접속된 배기관로와; 배기관로에 설치되어, 성막처리장치내의 가스를 배기 가스로써 배기관로를 통하여 압송하는 압송장치와; 압송장치에 설치되어, 유기금속 화합물의 열분해 온도보다 더 낮은 온도로 압송장치를 냉각함으로써 압송장치로 도입되는 배기가스중에 함유된 유기금속 화합물의 석출을 억제하는 냉각기구와; 압송장치보다 하류측의 배기관로의 부위에 설치되어, 배기관로를 통하여 도입되는 배기가스중에 함유된 유기금속 화합물을 제해(除害)하는 제해장치를 구비하고 있다.

公开(公告)号：KR100352379B1

公开(公告)日：2002-11-16

申请号：KR1019970001902

申请日：1997-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 호리우치다카시 ,  고바야시센쇼 ,  이토오마사히데 ,  고미히사시

IPC: H01L21/22

Abstract: 본 발명의 배기 시스템은 유기 금속 화합물의 기화가스를 이용하여 대상물에 성막(成膜)을 실시하는 성막처리장치의 배기구에 접속된 배기관로와; 배기관로에 설치되어, 성막처리장치내의 가스를 배기 가스로써 배기관로를 통하여 압송하는 압송장치와; 압송장치에 설치되어, 유기 금속 화합물의 열분해 온도보다 더 낮은 온도로 압송장치를 냉각함으로써 압송장치로 도입되는 배기 가스중에 함유된 유기 금속 화합물의 석출을 억제하는 냉각기구와; 압송장치보다 하류측의 배기관로의 부위에 설치되어, 배기관로를 통하여 도입되는 배기 가스중에 함유된 유기 금속 화합물을 제거하는 유해물질제거 장치를 구비하고 있다.