公开(公告)号：KR1020010103659A

公开(公告)日：2001-11-23

申请号：KR1020010024792

申请日：2001-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타니야마히로키 ,  키타하라시게노리 ,  미야자키타카노리 ,  니시히로노부 ,  카토요시노리

IPC: H01L21/00

Abstract: 구리 도금되는 웨이퍼(W)의 연부 근처에 연부 제거기(119)가 마련된다. 상기 웨이퍼(W)의 반경 방향 내측에 마련된 제1 노즐(120)로부터 웨이퍼(W)의 연부로 과산화수소수가 공급된다. 이와 동시에, 웨이퍼(W)의 반경 방향 외측에 마련된 제2 노즐(121)로부터 웨이퍼(W) 연부에 희석된 불화수소산이 공급된다.

公开(公告)号：KR100787067B1

公开(公告)日：2007-12-21

申请号：KR1020010024792

申请日：2001-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타니야마히로키 ,  키타하라시게노리 ,  미야자키타카노리 ,  니시히로노부 ,  카토요시노리

IPC: H01L21/00

Abstract: 구리 도금되는 웨이퍼(W)의 연부 근처에 연부 제거기(119)가 마련된다. 상기 웨이퍼(W)의 반경 방향 내측에 마련된 제1 노즐(120)로부터 웨이퍼(W)의 연부로 과산화수소수가 공급된다. 이와 동시에, 웨이퍼(W)의 반경 방향 외측에 마련된 제2 노즐(121)로부터 웨이퍼(W) 연부에 희석된 불화수소산이 공급된다.