公开(公告)号：KR100264444B1

公开(公告)日：2000-09-01

申请号：KR1019940005496

申请日：1994-03-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 니시히로노부

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67781 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/141

Abstract: 웨이퍼의 옮겨싣기 장치는, 복수의 링 지지판이 간격을 두고 상하방향으로 배열되어 있는 웨이퍼보우트와, 복수의 옮겨싣기레벨이 상하방향으로 배열되어 있는 세트의 사이에서 웨이퍼를 옮겨싣는다. 지지판이 중앙에 개구부를 가지는 링형상을 하고 있으며, 지지판의 개구부로부터 상하방향으로 연장된 통로가 규정된다. 웨이퍼는 웨이퍼 보우트 및 웨이퍼 캐리어의 사이에서 적어도 2개의 포크를 구비하는 상기 반송수단에 의하여 수평방향으로 이동된다. 통로내를 이동가능하게 치받음판이 배치된다. 치받음판은, 상기 통로내를 상하로 뻗은 신장부재의 윗끝단에서 지지된다. 그리고, 상기 신장부재의 아래끝단에 접속되고 또한 상기 신장부재를 통하여 상기 치받음판은 구동수단에 의하여 승강된다. 제어수단은, 반송수단과 상기 치받음판을 연휴하여 제어한다. 제어수단은, 반송수단이, 웨이퍼를 캐리어의 얹어놓는 레벨의 위에 얹거나 또는 꺼낼 때에는, 포크를 동시에 전진 또는 후진시켜서 얹어놓는 레벨의 사이에서 웨이퍼를 수평방향으로 반송하고, 한편, 반송수단은, 웨이퍼 보우트의 지지판의 위에 웨이퍼를 얹어놓거나 꺼낼 때에는, 포크를 개별 독립하여 전진 또는 후퇴시켜서 지지체의 사이에서 웨이퍼를 수평방향으로 반송한다.

公开(公告)号：KR100787067B1

公开(公告)日：2007-12-21

申请号：KR1020010024792

申请日：2001-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타니야마히로키 ,  키타하라시게노리 ,  미야자키타카노리 ,  니시히로노부 ,  카토요시노리

IPC: H01L21/00

Abstract: 구리 도금되는 웨이퍼(W)의 연부 근처에 연부 제거기(119)가 마련된다. 상기 웨이퍼(W)의 반경 방향 내측에 마련된 제1 노즐(120)로부터 웨이퍼(W)의 연부로 과산화수소수가 공급된다. 이와 동시에, 웨이퍼(W)의 반경 방향 외측에 마련된 제2 노즐(121)로부터 웨이퍼(W) 연부에 희석된 불화수소산이 공급된다.

公开(公告)号：KR100181524B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019930009205

申请日：1993-05-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 니시히로노부 ,  데라다가즈오

IPC: H01L21/68

Abstract: 피처리 물체를 재치하여 지지하는 복수의 링 트레이가 평행하게 종 방향으로 소정 간격 배치되고, 로드에 의하여 지지된다. 이 링 트레이는 로드와의 연결을 피한 적어도 3개소의 위치에 링 트레이의 중공부에 연통하지 아니한 절결부가 설치된다. 아암에 설치된 지지이빨은 구동장치에 의하여 절결부에 따라서 삽입되고, 지지이빨을 링 트레이를 두고 종방향의 양쪽에 상대적으로 이동시키어 웨이퍼를 링 트레이와 지지이빨과의 사이에서 이동 변환할 수 있다. 이것에 의하여 피처리 물체의 각종의 열처리에 있어서, 피처리물체의 슬립등 방지를 가능하게 하고, 또한, 복수매의 피처리물체를 10번에 이동 변환하여 이동 변환시간을 단축 할 수가 있다.

公开(公告)号：KR1019940004757A

公开(公告)日：1994-03-15

申请号：KR1019930015293

申请日：1993-08-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시히로노부

IPC: H01L21/68

Abstract: 웨이퍼 보트 회전장치는, 웨이퍼 보트의 양단을 지지하는 보트 지지부와, 이것을 수직면내로 회전시키는 수직 회전 구동기구와, 보트 지지부를 상하방향으로 이동시키는 수직구동기구와, 보트 지지부를 수평면내로 회전시키는 수평 회전 구동기구를 가지고 있다. 보트 지지부에 웨이퍼 지지부재가 웨이퍼 보트의 긴쪽 방항을 따라서 설치되어 있다. 수평상태로 눕혀진 웨이퍼 보트를 보트 지지부재에 의하여 지지할 때에, 웨이퍼 보트내에 수용되는 웨이퍼를 보트 지지부재에 의하여 집어 올리고, 웨이퍼 보트로부터 약간 떨어 뜨린 후, 웨이퍼 보트를 일으켜 세운다. 이것에 의하여 열처리시에 있어서의 웨이퍼와 웨이퍼 보트사이에서 생기는 열팽창 차이를 용이하게 흡수할 수 있다.

公开(公告)号：KR100285081B1

公开(公告)日：2001-04-02

申请号：KR1019930015293

申请日：1993-08-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시히로노부

IPC: H01L21/68

Abstract: 웨이퍼 보트 회전장치는, 웨이퍼 보트의 양단을 지지하는 보트 지지부와, 이것을 수직면내로 회전시키는 수직회전 구동기구와, 보트 지지부를 상하방향으로 이동시키는 수직구동기구와, 보트 지지부를 수평면내로 회전시키는 수평회전 구동기구를 가지고 있다. 보트 지지부에 웨이퍼 지지부재가 웨이퍼 보트의 긴쪽방향을 따라서 설치되어 있다. 수평상태로 눕혀진 웨이퍼 보트를 보트지지부재에 의하여 지지할 때에, 웨이퍼 보트내에 수용되는 웨이퍼를 보트지지부재에 의하여 집어 올리고, 웨이퍼 보트로부터 약간 떨어뜨린후, 웨이퍼 보트를 일으켜 세운다. 이것에 의하여, 열처리시에 있어서의 웨이퍼와 웨이퍼 보트사이에서 생기는 열팽창 차이를 용이하게 흡수할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019940022784A

公开(公告)日：1994-10-21

申请号：KR1019940005496

申请日：1994-03-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 니시히로노부

IPC: H01L21/68

Abstract: 웨이퍼의 옮겨싣기 장치는, 복수의 링 지지판이 간격을 두고 상하방향으로 배열되어 있는 웨이퍼 보우트와, 복수의 옮겨싣기 레벨이 상하방향으로 배열되어 있는 세트의 사이에서 웨이퍼를 옮겨싣는다. 지지판이 중앙에 개구부를 가지는 링 형상을 하고 있으며, 지지판의 개구부로부터 상하방향으로 연장된 통로가 규정된다. 웨이퍼는 웨이퍼 보우트 및 웨이퍼 캐리어의 사이에서 적어도 2개의 포크를 구비하는 상기 반송수단에 의하여 수평방향으로 이동된다. 통로내를 이동가능하게 치받음판이 배치된다. 치받음판은, 상기 통로내를 상하로 뻗은 신장부재의 윗끝단에서 지지된다. 그리고, 상기 신장부재의 아래끝단에 접속되고 또한 상기 신장부재를 통하여 상기 치받음판은 구동수단에 의하여 승강된다. 제어수단은, 반송수단과 상기 치받음판을 연휴하여 제어한다. 제어수단은, 반송수단이, 웨이퍼를 캐리어의 얹어놓는 레벨의 위에 얹거나 또는 꺼낼 때에는, 포크를 동시에 전진 또는 후퇴시켜서 얹어놓는 레벨의 사이에서 웨이퍼를 수평방향으로 반송하고, 한편, 반송수단은, 웨이퍼 보우트의 지지판의 위에 웨이퍼를 얹어놓거나 꺼낼 때에는, 포크를 개별 독립하여 전진 또는 후퇴시켜서 지지체의 사이에서 웨이퍼를 수평방향으로 반송한다.

公开(公告)号：KR100290047B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019940004571

申请日：1994-03-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와다나베신고 ,  니시히로노부 ,  미즈카미미쓰오 ,  이마이마사유키 ,  구레바야시다케시

IPC: H01L21/26

Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 원형판 형상의 열처리체에 대하여 열처리를 하기 위하여 사용되는 열처리용 보트에 관한 것으로, 다수 개의 원판 형상의 피처리체를 상하로 소정간격을 두고 탑재하여 종형 열처리로 내에서 이 피처리체를 열처리하기 위하여 사용되는 열처리용 보트에 있어서, 이 피처리체의 테두리부 하면에 면접촉하여 이 피처리체를 지지하는 원판 형상 또는 링형상의 지지부재를 상하로 소정 간격을 두고 지지기둥에 설치한 것으로, 웨이퍼 보트(202)의 저부로부터 보온통(204)을 통하여 덮개부(205)에 의하여 열전도에 의하여 방열되어 가지만, 이 열의 흐름에 대하여 지지부재(271∼273) 및 지지부재(281-283)가 열전도 억제 영역으로서 기능하며, 결국 열전도로가 좁아져 있기 때문에, 아래쪽으로의 방열을 억제하는 작용을 한다. 이 결과, 웨이퍼 보트(202) 저부의 온도저하가 억제된다. 따라서 웨이퍼(W)의 테두리부로부터 지지기둥(221∼224)으로 도망가는 열량이 작게 되고, 웨이퍼(W)의 테두리부에 있어서의 열응력이 작게 되며, 미끄럼 발생이 억제된다.

公开(公告)号：KR1020010103659A

公开(公告)日：2001-11-23

申请号：KR1020010024792

申请日：2001-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 타니야마히로키 ,  키타하라시게노리 ,  미야자키타카노리 ,  니시히로노부 ,  카토요시노리

IPC: H01L21/00

Abstract: 구리 도금되는 웨이퍼(W)의 연부 근처에 연부 제거기(119)가 마련된다. 상기 웨이퍼(W)의 반경 방향 내측에 마련된 제1 노즐(120)로부터 웨이퍼(W)의 연부로 과산화수소수가 공급된다. 이와 동시에, 웨이퍼(W)의 반경 방향 외측에 마련된 제2 노즐(121)로부터 웨이퍼(W) 연부에 희석된 불화수소산이 공급된다.

公开(公告)号：KR1019940022688A

公开(公告)日：1994-10-21

申请号：KR1019940004571

申请日：1994-03-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와다나베신고 ,  니시히로노부 ,  미즈카미미쓰오 ,  이마이마사유키 ,  구레바야시다케시

IPC: H01L21/26

Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 원형판 형상의 열처리체에 대하여 열처리를 하기 위하여 사용되는 열처리용 보트에 관한 것으로, 다수 개의 원판 형상의 피처리체를 상하로 소정간격을 두고 탑재하여 종형 열처리로 내에서 이 피처리체를 열처리하기 위하여 사용되는 열처리용 보트에 있어서, 이 피처리체의 테두리부 하면에 면접촉하여 이 피처리체를 지지하는 원판 형상 또는 링형상의 지지부재를 상하로 소정 간격을 두고 지지기둥에 설치한 것으로, 웨이퍼 보트(202)의 저부로부터 보온통(204)을 통하여 덮개부(205)에 의하여 열전도에 의하여 방열되어 가지만, 이 열의 흐름에 대하여 지지부재(271)∼(273) 및 지지부재(281)∼(283)가 열전도 억제 영역으로서 기능하며, 결국 열전도로가 좁아져 있기 때문에, 아래쪽으로의 방열을 억제하는 작용을 한다. 이 결과, 웨이퍼 보트(202) 저부의 온도저하가 억제된다. 따라서 웨이퍼(W)의 테두리로부터 지지기둥(221)∼(224)으로 도망가는 열량이 작게 되고, 웨이퍼(W)의 테두리부에 있어서의 열응력이 작게 되며, 미끄럼 발생이 억제된다.