公开(公告)号：KR1020170095859A

公开(公告)日：2017-08-23

申请号：KR1020177016070

申请日：2015-12-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 코미야히로시 ,  타카키야스히로 ,  우메노신이치 ,  타나카코지 ,  사토타카미 ,  아나모토아츠시

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/6704 ,  H01L21/6715

Abstract: 실시형태의일태양에따른기판액 처리장치는반송부와, 처리부와, 저류부와, 송액기구를구비한다. 반송부는기판을반송하는반송장치가배치된다. 처리부는, 반송부에수평방향으로인접하고, 처리액을이용하여기판을처리하는액 처리유닛이배치된다. 저류부는처리액을저류한다. 송액기구는저류부에저류된처리액을액 처리유닛으로송출한다. 저류부는반송부의바로아래에배치된다. 또한, 송액기구는처리부의바로아래에배치된다. 기판액 처리장치의공간절약화를도모할수 있다.

Abstract translation: 根据实施例的一个方面的基底液体处理装置包括传送部分，处理部分，存储部分和液体传送机构。 转印部分设有用于转印基片的转印装置。 处理部在水平方向上与传送部相邻地设置，并且设置有用于通过使用处理液来处理基板的液体处理单元。 储层保留处理液。 送液机构将储存在储存部中的处理液送到液体处理单元。 存储部分设置在传送部分的正下方。 另外，液体供给机构配置在处理部的正下方。 可以实现基板液处理装置的节省空间。