公开(公告)号：KR1020070000366A

公开(公告)日：2007-01-02

申请号：KR1020060058238

申请日：2006-06-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 코미야히로시 ,  니시무라노리히코 ,  야히로슌이치

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1303 ,  B65G49/06 ,  H01L21/306

Abstract: A substrate processing apparatus is provided to improve the continuity between respective processes, by divisionally collecting a first processing solution, which is supplied onto a substrate to be processed on a conveyance line, and effectively replacing the first processing solution with a second processing solution. A conveyance line(120) includes a first conveyance section(M1) having a horizontal conveyance route, a second conveyance section(M2) having an upwardly inclined conveyance route, a third conveyance section(M3) having a downwardly inclined conveyance route, and a fourth conveyance section(M4) having a horizontal conveyance route. A conveyance driving part drives a conveyance structure for conveying a substrate on the conveyance line. A first processing solution supply part supplies a first processing solution onto the substrate in the first or second conveyance section. A second processing solution supply part(138) supplies a second processing solution onto the substrate in the third conveyance section.

Abstract translation: 提供了一种基板处理装置，通过分割地收集在输送线上供给到待处理基板上的第一处理液，并且利用第二处理液有效地代替第一处理液，来提高各处理之间的连续性。 输送线（120）包括具有水平输送路径的第一输送部（M1），具有向上倾斜输送路径的第二输送部（M2），具有向下倾斜输送路径的第三输送部（M3） 具有水平输送路径的第四输送部（M4）。 输送驱动部驱动用于输送输送线上的基板的输送结构。 第一处理液供给部将第一处理液供给到第一或第二输送部中的基板。 第二处理溶液供应部件（138）将第二处理溶液供应到第三输送部分中的基板上。

公开(公告)号：KR1020170095859A

公开(公告)日：2017-08-23

申请号：KR1020177016070

申请日：2015-12-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 코미야히로시 ,  타카키야스히로 ,  우메노신이치 ,  타나카코지 ,  사토타카미 ,  아나모토아츠시

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/6704 ,  H01L21/6715

Abstract: 실시형태의일태양에따른기판액 처리장치는반송부와, 처리부와, 저류부와, 송액기구를구비한다. 반송부는기판을반송하는반송장치가배치된다. 처리부는, 반송부에수평방향으로인접하고, 처리액을이용하여기판을처리하는액 처리유닛이배치된다. 저류부는처리액을저류한다. 송액기구는저류부에저류된처리액을액 처리유닛으로송출한다. 저류부는반송부의바로아래에배치된다. 또한, 송액기구는처리부의바로아래에배치된다. 기판액 처리장치의공간절약화를도모할수 있다.

Abstract translation: 根据实施例的一个方面的基底液体处理装置包括传送部分，处理部分，存储部分和液体传送机构。 转印部分设有用于转印基片的转印装置。 处理部在水平方向上与传送部相邻地设置，并且设置有用于通过使用处理液来处理基板的液体处理单元。 储层保留处理液。 送液机构将储存在储存部中的处理液送到液体处理单元。 存储部分设置在传送部分的正下方。 另外，液体供给机构配置在处理部的正下方。 可以实现基板液处理装置的节省空间。

公开(公告)号：KR1020130097672A

公开(公告)日：2013-09-03

申请号：KR1020130019029

申请日：2013-02-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 코미야히로시 ,  에시마카즈요시

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/302

CPC classification number: B01F15/02 ,  B01F3/088 ,  B01F5/10 ,  B01F15/0479 ,  B01F2003/0896 ,  B01F2215/0096 ,  H01L21/6715

Abstract: PURPOSE: A liquid processing apparatus, a liquid processing method, and a storage medium with a computer program for executing the liquid processing method are provided to reduce the time for producing a mixed chemical liquid with sulfuric acid and pure water for processing a substrate. CONSTITUTION: A combination tank (11,12) produces a mixed chemical liquid by combining sulfuric acid with pure water. A pure water supply pipe connects a pure water supply unit (20) to the combination tank. A sulfuric acid supply pipe connects a sulfuric acid supply unit (40) to the combination tank. A liquid processing unit processes a substrate with the mixed chemical liquid produced in the combination tank. A control unit controls a pure water supply opening and closing valve (26), a sulfuric acid supply opening and closing valve (34), and a circulation pump (101).

Abstract translation: 目的：提供一种液体处理装置，液体处理方法和具有用于执行液体处理方法的计算机程序的存储介质，以减少用硫酸制备混合药液的时间和用于处理基板的纯水。 构成：组合罐（11,12）通过将硫酸与纯水结合而生产混合的化学液体。 纯水供应管将纯水供应单元（20）连接到组合罐。 硫酸供应管将硫酸供应单元（40）连接到组合罐。 液体处理单元使用在组合罐中产生的混合药液处理基板。 控制单元控制纯水供给开闭阀26，硫酸供给开闭阀34以及循环泵101。

公开(公告)号：KR101720531B1

公开(公告)日：2017-03-28

申请号：KR1020130019029

申请日：2013-02-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 코미야히로시 ,  에시마카즈요시

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/302

CPC classification number: B01F15/02 ,  B01F3/088 ,  B01F5/10 ,  B01F15/0479 ,  B01F2003/0896 ,  B01F2215/0096 ,  H01L21/6715

Abstract: 순수와황산을포함하는, 기판을처리하기위한혼합약액의생성시간을단축할수 있는액처리장치를제공한다. 본발명에따른액처리장치(200)는, 순수공급부(20)와, 순수공급개폐밸브(27)와, 황산공급부(30)와, 황산공급개폐밸브(34)와, 순수와황산을조합하여혼합약액을생성하는조합탱크(11, 12)와, 생성된혼합약액에의해기판(W)을액처리하는액처리부(210)를구비하고있다. 조합탱크(11, 12)에순환펌프(101)를포함하는순환라인(100)이연결되어있다. 제어부(300)는, 조합탱크(11, 12)로의순수의공급을개시한후, 순환펌프(101)의구동을개시하고, 이후 조합탱크(11, 12)로의황산의공급을개시하도록, 순수공급개폐밸브(26), 황산공급개폐밸브(34) 및순환펌프(101)를제어한다.

Abstract translation: 本发明提供一种能够缩短用于处理基板的混合药液的制造时间的纯水和硫酸的液处理装置。 根据本发明的液体处理装置200，和纯水供给单元20，净化水供应和开闭阀27，和硫酸供给单元30，硫酸供给开闭阀34，纯水和硫酸的组合 用于产生混合化学液体的组合罐11和12以及用于利用由此产生的混合化学液体处理基板W的液体处理单元210。 包括循环泵101的循环管线100连接到组合罐11和12。 控制单元300开始向组合罐11和12供应纯水，然后开始驱动循环泵101.之后， 供应开/关阀26，硫酸供应开/关阀34和循环泵101被控制。

公开(公告)号：KR101194975B1

公开(公告)日：2012-10-25

申请号：KR1020060058238

申请日：2006-06-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 코미야히로시 ,  니시무라노리히코 ,  야히로슌이치

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 기판처리장치로서 평류의 반송 라인상에서 피처리 기판에 공급한 제1의 처리액을 분별 회수해 제2의 처리액에 치환하는 동작을 효율적으로 유연하게 실시하는 것으로 기판 (G)는 그 가요성에 의해 기판 전체 길이의 일부에 반송 라인 (120)의 융기부(120a)에 모방한 돌기조의 기판 융기부(Ga)를 형성하고 한편 반송 속도에 동일한 속도로 기판 융기부(Ga)를 기판의 전단으로부터 후단까지 반송 방향과 반대 방향으로 상대적으로 이동시키면서 융기부(120a)를 통과한다. 상향 경사로 (M₂)에서는 기판 (G)상에서 현상액 (R)이 중력에 의해 기판 후방에 흘러 기판 (G)의 전단으로부터 후단으로 향하여 거의 반송 속도에 동일한 속도로 현상액 (R)의 액막이 액활성의 상태로부터 박막 (R')의 상태로 변화한다. 기판 (G)가 하향 경사로 (M₃)으로 이동하면 윗쪽의 린스 노즐 (138)에서 띠형상의 토출류로 린스액 (S)를 공급시키고 기판 (G)상의 린스액 (S)가 착액 하는 라인 부근에서 얇은 막 상태의 현상액 (R')는 린스액 (S)에 치환되어 현상이 완전하게 정지하는 기술이 제공된다.