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公开(公告)号：KR1020170095859A
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：KR1020177016070
申请日：2015-12-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/6704 , H01L21/6715
Abstract: 실시형태의일태양에따른기판액 처리장치는반송부와, 처리부와, 저류부와, 송액기구를구비한다. 반송부는기판을반송하는반송장치가배치된다. 처리부는, 반송부에수평방향으로인접하고, 처리액을이용하여기판을처리하는액 처리유닛이배치된다. 저류부는처리액을저류한다. 송액기구는저류부에저류된처리액을액 처리유닛으로송출한다. 저류부는반송부의바로아래에배치된다. 또한, 송액기구는처리부의바로아래에배치된다. 기판액 처리장치의공간절약화를도모할수 있다.
Abstract translation: 根据实施例的一个方面的基底液体处理装置包括传送部分，处理部分，存储部分和液体传送机构。 转印部分设有用于转印基片的转印装置。 处理部在水平方向上与传送部相邻地设置，并且设置有用于通过使用处理液来处理基板的液体处理单元。 储层保留处理液。 送液机构将储存在储存部中的处理液送到液体处理单元。 存储部分设置在传送部分的正下方。 另外，液体供给机构配置在处理部的正下方。 可以实现基板液处理装置的节省空间。
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公开(公告)号：KR1020210037641A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：KR1020210037157
申请日：2021-03-23
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02 , H01L21/306 , H01L21/67 , G05D11/13
Abstract: 본발명은, 정확한농도의처리액을기판에공급하는것을목적으로한다. 기판액처리장치는, 탱크(102)와, 순환라인(104)과, 분기라인(112)을통해순환라인에접속되고, 순환라인을흐르는처리액을이용하여기판에액처리를실시하는처리부(16)와, 적어도 2종류의원료액의각각의공급원으로부터공급되는원료액을제어된혼합비로혼합하여처리액을생성하는처리액생성기구(206A, 206B, 208)와, 순환라인을흐르는처리액의농도및 처리액공급라인을흐르는처리액의농도를측정하는농도측정장치(212)(또는 212')와, 측정된처리액의농도에기초하여처리액생성기구를제어하는제어장치(4)를구비한다.
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公开(公告)号：KR1020150055561A
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：KR1020140154346
申请日：2014-11-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02 , H01L21/302 , H01L21/306
CPC classification number: G05D11/138
Abstract: 본발명은, 정확한농도의처리액을기판에공급하는것을목적으로한다. 기판액처리장치는, 탱크(102)와, 순환라인(104)과, 분기라인(112)을통해순환라인에접속되고, 순환라인을흐르는처리액을이용하여기판에액처리를실시하는처리부(16)와, 적어도 2종류의원료액의각각의공급원으로부터공급되는원료액을제어된혼합비로혼합하여처리액을생성하는처리액생성기구(206A, 206B, 208)와, 순환라인을흐르는처리액의농도및 처리액공급라인을흐르는처리액의농도를측정하는농도측정장치(212)(또는 212')와, 측정된처리액의농도에기초하여처리액생성기구를제어하는제어장치(4)를구비한다.
Abstract translation: 本发明的目的是向基板供应精确浓度的处理液。 基板液体处理装置包括：罐（102），循环管线（104），通过分支管线（112）连接到循环管线的处理部件（16），并通过使用 处理液生成单元（206A，206B，208），其将来自至少两种原料溶液的各供给源的原料溶液与受控混合比混合，并生成处理液，浓度 测量装置（212或212'），其测量沿着循环管线流动的处理液体的浓度和沿着处理液体供应管线流动的处理液体的浓度;以及控制装置（4），其控制处理液体 基于测量的处理液的浓度的发电单元。
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