公开(公告)号：KR1020160078901A

公开(公告)日：2016-07-05

申请号：KR1020150183716

申请日：2015-12-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 누마쿠라마사히로 ,  이시카와요시카즈 ,  하마다도시히코 ,  사토준야 ,  고바야시도시유키 ,  오타케쇼우이치

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67742

Abstract: [과제] 위치검출기에대한기판의반송을억제하여, 처리량의향상을도모한다. [해결수단] 기판을처리하는프로세스모듈과, 기판의위치를검출하는위치검출기와, 동일한프로세스모듈내에서처리되는기판중에서, 설정된프로세스모듈의측정간격에따라서선택된기판의위치를측정하도록상기위치검출기를제어하는제어부를갖는기판처리장치가제공된다.

Abstract translation: 本发明是为了抑制位置检测器上的基板转印，促进了生产量的增加。 提供了一种基板处理装置，其包括用于处理基板的处理模块; 用于检测所述基板的位置的位置检测器; 以及控制单元，用于根据在相同处理模块内处理的基板之间的设定处理模块的测量距离来控制位置检测器来测量所选择的基板的位置。