公开(公告)号：KR1020170126459A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：KR1020177024364

申请日：2016-02-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하시모토타카후미 ,  하타케야마신이치 ,  시바타나오키 ,  요시하라코우스케

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  B05C11/08 ,  B05D3/04

CPC classification number: B05D1/005 ,  B05C11/08 ,  B05D3/104 ,  G03F7/091 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2028 ,  H01L21/027 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67253

Abstract: 기판상에도포액을도포하는도포처리방법은, 용제에의해기판의중앙부에제 1 액막을형성하고당해용제에의해기판의외주부에제 1 액막보다막 두께가두꺼운환 형상의제 2 액막을형성하는용제액막형성공정과, 기판을제 1 회전속도로회전시키면서도포액을기판의중심부에공급하는도포액공급공정과, 도포액을공급하면서기판을제 1 회전속도보다빠른제 2 회전속도로회전시켜도포액을기판상에확산시키는도포액확산공정을가진다.

Abstract translation: 用于涂布涂布液在基片上，形成根据权利要求1的第一第二液体膜比所述带状膜的厚环液膜上通过本领域溶剂的基板的外周边上以形成由溶剂基片的中心部分的液体薄膜涂布法 溶剂液体膜形成步骤，快速权利要求在涂布液供给工序的第二旋转速度和基板旋转而同时在基片的中心比所述第一旋转速度在第一旋转速度旋转的基板供给涂敷液供给涂布液 并将涂料液体扩散到基材上。