公开(公告)号：KR100251873B1

公开(公告)日：2000-04-15

申请号：KR1019940001128

申请日：1994-01-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 사카다가즈나리 ,  가도베마사토 ,  후루야이사오 ,  와타나베신고 ,  후쿠시마히로키 ,  이와이히로유키

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 보트에 수용한 다수 개의 반도체 웨이퍼를 일괄하여 처리하는 종형열처리 장치로서,
보트 출입구를 가지는 열처리부와,
상기 보트 출입구에 의하여 상기 열처리부에 연결되어 통하는 보트부와,
이 보트부를 주위로부터 구획하기 위하여 상기 보트부를 둘러싸는 격벽을 가지는 하우징 유니트와,
상기 보트 출입구를 통하여 상기 보트부와 열처리부 사이에서 보트를 출입시키는 승가수단과,
상기 보트부에 인접하여 설치된 카세트부와,
웨이퍼를 카세트 및 보트 사이에서 이송하는 웨이퍼 이송수단과,
상기 보트부내의 보트의 측방에서 적재 웨이퍼에 대하여 비산화성 가스를 공급하는 가스공급수단과,
보트에 적재된 웨이퍼에 대하여 상기 보트 출입구의 근방에서 비산화성 가스를 불어 대는 가스샤워수단을 가진다.

公开(公告)号：KR1019940018924A

公开(公告)日：1994-08-19

申请号：KR1019940001128

申请日：1994-01-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 사카다가즈나리 ,  가도베마사토 ,  후루야이사오 ,  와타나베신고 ,  후쿠시마히로키 ,  이와이히로유키

IPC: H01L21/304

Abstract: 보트에 수용한 다수 개의 반도체 웨이퍼를 일괄하여 처리하는 종형열 처리 장치로서, 보트 출입구를 가지는 열처리부와, 상기 보트 출입구에 의하여 상기 열처리부에 연결되어 통하는 보트 섹숀과, 상기 보트 출입구를 통하여 상기 보트 섹숀 및 상기 열처리부 사이에서 보트를 출입시키는 엘레베이터 수단과, 상기 보트 섹숀에 인접하여 설치된 카세트 섹숀과, 웨이퍼(s)를 카세트 및 보트 사이에서 이송하는 웨이퍼 이송수단과, 상기 보트 섹숀 내에 비산화성 가스를 공급하는 가스 공급수단과, 상기 보트 출입구 근방에서 웨이퍼(s)에 비산화성 가스를 불어 대는 가스 샤워 수단을 가진다.

公开(公告)号：KR102205383B1

公开(公告)日：2021-01-19

申请号：KR1020170176017

申请日：2017-12-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아베도모아키 ,  하세가와고유 ,  가도베마사토

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: [과제] 본발명은, 냉각가스를분사하지않고웨이퍼의냉각시간을짧게할 수있는기판처리장치및 기판의냉각방법을제공한다. [해결수단] 처리용기와, 복수의기판을보유지지하고, 상기처리용기에로드및 언로드되는기판보유지지구와, 상기처리용기로부터언로드된언로드위치에있어서의상기기판보유지지구의주위에대향하여배치되고, 흡기구를구비하는흡기덕트를갖고, 상기흡기덕트는, 상기흡기덕트의본체를구성하는고정덕트부와, 상기고정덕트부에수용되어, 상기흡기구를구성하는가동덕트부를갖는다.