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公开(公告)号：KR100260120B1
公开(公告)日：2000-07-01
申请号：KR1019940025028
申请日：1994-09-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67109 , C23C16/455 , C23C16/54 , H01L21/67778
Abstract: 본 발명의 열처리 장치는, 그 가장자리부의 일부에 오리엔테이션 플레이트부를 가지는 원반형의 다수개의 피처리체를, 그 오리엔테이션 플레이트부를 정렬시킨 상태에서 축 방향으로 소정의 간격으로 적층 수용하는 유지체와, 다수개의 가스 유통구를 가지며, 유지체에 유지된 다수개의 피처리체의 층 전체 둘레를 피처리체의층과 소정의 간격을 두고 덮은 통 모양의 커버체와, 커버체의 내벽면에 설치되고, 유지체에 유지된 피처리체에 대하여 처리 가스에 의해 소정의 처리를 실시한 처리실을 구비하고 있다.
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公开(公告)号：KR1019950009912A
公开(公告)日：1995-04-26
申请号：KR1019940025028
申请日：1994-09-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명의 열처리 장치는, 그 가장자리부의 일부에 오리엔테이션 플라이트 부를 가지는 원반형의 다수개의 피처리체를, 그 오레인테이션 플라이트부를 정렬시킨 상태에서 축 방향으로 소정의 간격으로 적층 수용하는 유지체와, 다수개의 가스 유통구를 가지며, 유지체에 유지된 다수개의 피처리체의 층 전체 둘레를 피처리체의 층과 소정의 간격을 두고 덮은 통 모양의 커버체와, 커버체의 내벽면에 설치되고, 유지체의 유지된 피처리체에 대하여 처리 가스에 의해 소정의 처리를 실시하는 처리실을 구비하고 있다.
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公开(公告)号：KR100251873B1
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019940001128
申请日：1994-01-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67109
Abstract: 보트에 수용한 다수 개의 반도체 웨이퍼를 일괄하여 처리하는 종형열처리 장치로서,
보트 출입구를 가지는 열처리부와,
상기 보트 출입구에 의하여 상기 열처리부에 연결되어 통하는 보트부와,
이 보트부를 주위로부터 구획하기 위하여 상기 보트부를 둘러싸는 격벽을 가지는 하우징 유니트와,
상기 보트 출입구를 통하여 상기 보트부와 열처리부 사이에서 보트를 출입시키는 승가수단과,
상기 보트부에 인접하여 설치된 카세트부와,
웨이퍼를 카세트 및 보트 사이에서 이송하는 웨이퍼 이송수단과,
상기 보트부내의 보트의 측방에서 적재 웨이퍼에 대하여 비산화성 가스를 공급하는 가스공급수단과,
보트에 적재된 웨이퍼에 대하여 상기 보트 출입구의 근방에서 비산화성 가스를 불어 대는 가스샤워수단을 가진다.-
公开(公告)号：KR1019940018924A
公开(公告)日：1994-08-19
申请号：KR1019940001128
申请日：1994-01-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
Abstract: 보트에 수용한 다수 개의 반도체 웨이퍼를 일괄하여 처리하는 종형열 처리 장치로서, 보트 출입구를 가지는 열처리부와, 상기 보트 출입구에 의하여 상기 열처리부에 연결되어 통하는 보트 섹숀과, 상기 보트 출입구를 통하여 상기 보트 섹숀 및 상기 열처리부 사이에서 보트를 출입시키는 엘레베이터 수단과, 상기 보트 섹숀에 인접하여 설치된 카세트 섹숀과, 웨이퍼(s)를 카세트 및 보트 사이에서 이송하는 웨이퍼 이송수단과, 상기 보트 섹숀 내에 비산화성 가스를 공급하는 가스 공급수단과, 상기 보트 출입구 근방에서 웨이퍼(s)에 비산화성 가스를 불어 대는 가스 샤워 수단을 가진다.
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