公开(公告)号：KR100253124B1

公开(公告)日：2000-04-15

申请号：KR1019940007723

申请日：1994-04-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 다나하시다카시 ,  모리야슈지 ,  와카바야시쓰요시 ,  마쓰오다테노부

IPC: B01D46/00

Abstract: 본 발명의 공기청정장치는, 공기가 흡인되는 흡인구와, 이 흡인구를 통하여 흡인된 공기가 토출되는 토출구를 가지는 공기 유통실과, 공기 유통실에 설치되고, 공기를 흡인구로부터 토출하는 송풍수단과, 처리공간에 있어서의 처리에 의하여 유해하게 되는 불순가스의 발생이 작은 소재에 의하여 전체가 형성되고, 흡인구로부터 흡인된 흡인공기중에 함유하는 파티클을 제거하는 파티클 제거수단을 갖추고 있다.

公开(公告)号：KR1019940023515A

公开(公告)日：1994-11-17

申请号：KR1019940007723

申请日：1994-04-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤

Inventor： 다나하시다카시 ,  모리야슈지 ,  와카바야시쓰요시 ,  마쓰오다테노부

IPC: B01D46/00