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    관 조인트
    6.
    发明公开
    관 조인트 有权
    管接头

    公开(公告)号：KR1020140062166A

    公开(公告)日：2014-05-22

    申请号：KR1020147010244

    申请日：2012-09-11

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  가부시키가이샤 후지킨

    Inventor： 오카베츠네유키 ,  모리야슈지 ,  사토겐이치 ,  나카타도모히로 ,  시노하라츠토무 ,  야마지미치오

    IPC: F16L19/03 ,  F16J15/08 ,  F16L23/16

    CPC classification number: F16L19/0212 ,  F16L19/0286

    Abstract: 본 발명은, 수나사 부재와 암나사 부재를 나사 결합시킬 때에 생긴 미립자가 유체 통로 내에 침입하는 것을 방지하여, 높은 청정도를 유지할 수 있는 관 조인트를 제공한다. 한쪽의 조인트 부재(2)에 설치된 수나사 부재(6)와 다른쪽의 조인트 부재(3)에 설치된 암나사 부재(7)에 의해 조인트 부재(2, 3)끼리가 결합된다. 수나사 부재(6)에, 양 조인트 부재(2, 3)의 맞대기부 외주면을 덮는 커버부(16)가 형성되어 있다.

    Abstract translation: 本发明提供一种能够防止将外螺纹部件和内螺纹部件拧入流体通路时产生的微小颗粒且维持高洁净度的管接头。 接合构件2和3通过设置在一个接合构件2上的外螺纹构件6和设置在另一个接合构件3上的内螺纹构件7而彼此接合。 外螺纹构件6形成有覆盖两个接合构件2的对接部的外周表面的覆盖部16，

    유량 제어 장치 및 처리 장치
    7.
    发明公开
    유량 제어 장치 및 처리 장치 有权
    流量控制器和处理装置

    公开(公告)号：KR1020130040705A

    公开(公告)日：2013-04-24

    申请号：KR1020120111257

    申请日：2012-10-08

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 오카베츠네유키 ,  모리야슈지 ,  마츠노카즈시게

    IPC: G05D7/06 ,  G01F1/00

    CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/68 ,  G01F5/00 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8158 ,  G05D7/06 ,  G01F1/00

    Abstract: PURPOSE: A flow control device and a processing device are provided to control the flow of multiple kinds of gases without implementing complex manipulation. CONSTITUTION: A main gas pipe(50) is connected to a gas passage(28). A flow detection means(52) detects the flow of gas flowing in a main gas pipe for outputting a flow signal. A flow control valve tool(54) is installed at the main gas pipe. The flow control valve tool varies the opening degree of a valve for controlling the flow. A conversion data memorizing part(56) memorizes plurality of conversion data corresponding to multiple kinds of gases. A flow control main body(58) selects corresponding conversion data from the plurality of conversion data. The flow control main body secures target flow. The flow control main body controls a flow control valve tool. [Reference numerals] (50) Main gas pipe; (52) Flow detection means; (54) Flow control valve tool; (56) Conversion data memorizing part; (58) Flow control main body; (60) Communication part; (68) Sensor circuit; (74) Valve driving circuit; (AA) To a device control part(40); (S1) Flow signal; (S2) Valve driving signal; (Sa) Gas type selection signal; (Sb) Flow indication signal;

    Abstract translation: 目的：提供流量控制装置和处理装置，以控制多种气体的流动，而不需要进行复杂的操作。 构成：主气体管道（50）连接到气体通道（28）。 流量检测装置（52）检测在用于输出流量信号的主气体管道中流动的气体的流动。 流量控制阀工具（54）安装在主气管上。 流量控制阀工具改变用于控制流量的阀的开度。 转换数据存储部分（56）存储对应于多种气体的多个转换数据。 流量控制主体（58）从多个转换数据中选择相应的转换数据。 流量控制主体确保目标流量。 流量控制主体控制流量控制阀工具。 （附图标记）（50）主气管; （52）流量检测装置; （54）流量控制阀工具; （56）转换数据记忆部分; （58）流量控制主体; （60）通讯部分; （68）传感器电路; （74）阀驱动电路; （AA）到设备控制部件（40）; （S1）流量信号; （S2）阀驱动信号; （Sa）气体类型选择信号; （Sb）流量指示信号;

    가스 공급 장치, 반도체 제조 장치 및 가스 공급 장치용 부품
    8.
    发明授权
    가스 공급 장치, 반도체 제조 장치 및 가스 공급 장치용 부품 失效
    气体供应装置，半导体制造装置和气体供应装置的组件

    公开(公告)号：KR101020476B1

    公开(公告)日：2011-03-08

    申请号：KR1020080083307

    申请日：2008-08-26

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 모리야슈지

    IPC: H01L21/02 ,  H01L21/00

    Abstract: 본 발명은, 종래에 비해 가스 공급 장치로부터 금속 불순물이 발생할 가능성을 저감할 수 있어, 생산성의 향상을 도모할 수 있는 가스 공급 장치, 반도체 제조 장치 및 가스 공급 장치용 부품을 제공한다.
    가스 공급 장치(1)의 접속용 블럭(22)은, 가스에 대해서 내식성을 갖는 세라믹 또는 귀금속으로 이루어지며, 가스와 접촉하는 접촉 가스부를 구성하는 내식성 블럭 부재(22a)와, 내식성 블럭 부재(22a)를 감합(嵌合)시키기 위한 감합 구멍(28)을 가지며, 내식성 블럭 부재(22a)의 주위를 둘러싸도록 마련되어, 내식성 블럭 부재(22a)를 보호하는 금속제 블럭 부재(22b)로 구성되어 있다.

    유체 제어 장치
    9.
    发明公开
    유체 제어 장치 无效
    流体控制装置

    公开(公告)号：KR1020100024925A

    公开(公告)日：2010-03-08

    申请号：KR1020097025031

    申请日：2008-05-26

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  가부시키가이샤 후지킨

    Inventor： 오카세와타루 ,  모리야슈지 ,  나카타도모히로 ,  시노하라츠토무 ,  야마지미치오

    IPC: F16K27/00 ,  F17D1/04 ,  C23C16/455 ,  H01L21/02

    CPC classification number: F16K27/003 ,  Y10T137/598 ,  Y10T137/87885 ,  Y10T137/87917

    Abstract: Provided is a fluid control apparatus having a reduced number of part items and improved assembly operation efficiency. A pressure display (4), which has relatively high frequency of being removed, is connected to a base block (5) at the lower section with a male screw member (17) from above. An open/close valve (6), which has relatively low frequency of being removed, has an integrally arranged block-like main body (6a) at the lower section. The main body (6a) of the open/close valve (6) is connected to the base block (5) with a male screw member (18) from the front-rear direction.

    Abstract translation: 提供了具有减少的部件数量和改进的组装操作效率的流体控制装置。 具有相对较高频率被去除的压力显示器（4）在上部与外部螺纹部件（17）连接在下部的基座（5）上。 具有较低频率被去除的打开/关闭阀（6）在下部具有整体布置的块状主体（6a）。 打开/关闭阀（6）的主体（6a）从前后方向与外螺纹部件（18）连接到基座（5）。

    기판 처리 장치
    10.
    发明授权
    기판 처리 장치 失效
    基板处理装置

    公开(公告)号：KR100781407B1

    公开(公告)日：2007-12-03

    申请号：KR1020067018784

    申请日：2005-06-17

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 모리야슈지 ,  오카베츠네유키

    IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02

    CPC classification number: G05D7/0658 ,  B01J4/008

    Abstract: 처리 가스를 공급하는 가스 공급계의 처리실(11)의 입구 근방에 마련된 개폐 밸브(13d, 14d)의 상류측으로부터 분기하고, 배기배관(17)에 접속된 분기배관(18)이 마련되어 있다. 이 분기배관(18)에는 가스유량 검출기구(19)가 개재 삽입되며, 유로를 처리실(11)측과 분기배관(18)으로 전환하기 위한 개폐 밸브(13h, 14h)가 마련되어 있다. 가스유량 검출기구(19)는 저항체에 가스를 통류시키고 그 양단의 압력을 측정해서 압력차로부터 가스유량을 검출한다. 이 검출값에 의해서, 매스플로 콘트롤러(13a, 14a)를 검정 또는 교정한다.

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