公开(公告)号：KR100241292B1

公开(公告)日：2000-02-01

申请号：KR1019940019357

申请日：1994-08-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 구로다고오키

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67057

Abstract: 반도체 웨이퍼의 세정시스템은, 처리배설을 가지는 약액세정부를 구비한다. 처리베셀내에는 50매의 웨이퍼를 한번에 유지하기 위한 홀더가 설치된다. 홀더에는 웨이퍼의 주연부를 수용하는 50개의 홈이 형성된다. 50개의 웨이퍼는 한쌍의 개폐아암을 구비하는 척에 의하여 일괄하여 홀더에 대하여 접수된다. 각 아암에는 웨이퍼의 가장자리부를 수용하는 50개의 홈이 형성된다. 웨이퍼를 접수하기 위한 상대위치 기준으로 부터 척과 홀더와의 상대위치의 어긋남을 수정하기 위하여 양 끝단부에 촬상부를 구비한다. 각 촬상부는 척의 홈과 이것에 대응하는 홈을 동시에 촬상한다. 촬상된 양홈은 모니터상의 동일좌표내에 중첩되어 표시된다. 촬상된 양홈의 상의 어긋남을 수정하도록 척과 홀더를 상대적으로 움직이고, 상대위치기준으로 부터 현상대위치의 어긋남을 수정한다.

公开(公告)号：KR1019930020597A

公开(公告)日：1993-10-20

申请号：KR1019930003345

申请日：1993-03-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  무카이에이이치 ,  가미카와유우지 ,  구로다고오키 ,  니시미쓰오

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 반도체 웨이퍼를 약액으로 세정하고, 물로 씻고, 건조하는 웨이퍼 세정처리부와, 웨이퍼 수납용의 카세트를 물로 씻고, 건조하는 카세트 세정처리부와, 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부에 로드하는 로더부와, 카세트 웨이퍼를 수용하고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부로부터 언로드하는 언로드부와, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부내에서 반송하는 웨이퍼 반송기구와, 카세트를 로더부로부터 카세트 세정처리부에 반송하는 카세트 리프트와, 카세트 카세트 세정 처리부내에서 반송하는 와이어 구동기구를 가진다.

公开(公告)号：KR100163361B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019930003345

申请日：1993-03-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  무카이에이이치 ,  가미카와유우지 ,  구로다고오키 ,  니시미쓰오

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 반도체 웨이퍼를 약액으로 세정하고, 물로 씻고, 건조하는 웨이퍼 세정처리부와, 웨이퍼 수납용의 카세트를 물로 씻고, 건조하는 카세트 세정처리부와, 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부에 로드하는 로더부와, 카세트에 웨이퍼를 수용하고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부로부터 언로드하는 언로더부와, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부내에서 반송하는 웨이퍼 반송기구와, 카세트를 로더부로부터 카세트 세정처리부에 반송하는 카세트 리프터와, 카세트를 카세트 세정처리부내에서 와이어 구동기구를 가진다.

公开(公告)号：KR1019950007012A

公开(公告)日：1995-03-21

申请号：KR1019940019357

申请日：1994-08-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 구로다고오키

IPC: H01L21/304

Abstract: 반도체 웨이퍼의 세정시스템은, 처리베셀을 가지는 약액세정부를 구비한다. 처리베셀내에는 50매의 웨이퍼를 한번에 유지하기 위한 홀더가 설치된다. 홀더에는 웨이퍼의 주연부를 수용하는 50개의 홈이 형성된다. 50개의 웨이퍼는 한 쌍의 개폐아암을 구비하는 척에 의하여 일괄하여 홀더에 대하여 접수된다. 각 아암에는 웨이퍼의 가장자리부를 수용하는 50개의 홈이 형성된다. 웨이퍼를 접수하기 위한 상대위치 기준으로부터 척과 홀더와의 상대 위치의 어긋남을 수정하기 위하여 양 끝 단부에 촬상부를 구비한다. 각 촬상부는 척의 홈과 이것에 대응하는 홈을 동시에 촬상한다. 촬상된 양홈은 모니터상의 동일좌표내에 중첩되어 표시된다. 촬상된 양홈의 상의 어긋남을 수정하도록 척과 홀더를 상대적으로 움직이고, 상대 위치기준으로부터 현상대위치의 어긋남을 수정한다.