公开(公告)号：KR100304146B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019980017563

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은, 세정유니트 내에 설치된 반송로보트와의 사이에서 세정 전후의 복수의 피처리기판을 주고받는 반송척과, 이 반송척기구를 내부에서 세정하여 건조하는 세정·건조처리부를 구비하고, 상기 반송척은 복수의 피처리기판을 파지하는 좌우의 가로로드 및 각각을 수평으로 지지하는 세로로드를 가지며, 상기 세정·건조처리부는 세정액을 토출하는 수단 및 건조용 가스를 공급하는 수단을 구비하는 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 가스공급수단은, 상기 각 세로로드의 좌우 양측에 그 하단으로부터 기초부에 걸쳐 각각 세워 설치된 2쌍의 가스배관과, 건조용 가스가 상기 반송척의 가로로드 및 세로로드에 대하여 경사져서 아래쪽으로 향해 분사되도록 상기 가스배관의 전체 길이에 걸쳐 복수로 형성된 가스분사구멍과, 이들 가스분사구멍을 � �지는 상기 각 가스배관을 상기 각 가로로드를 따라 일체적으로 이동시키는 구동수단을 가진다.

公开(公告)号：KR100304145B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019940001233

申请日：1994-01-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치를 제공한다.
본 발명은, 여러개의 피처리기판을 세운 상태에서, 소정 간격으로 나란하게 파지하는 반송척을 세정하기 위한 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 반송척을 승강시키는 승강기구와, 상기 반송척이 출입할 수 있도록 형성된 상부 개구를 가지는 세정실과, 이 세정실 내에서 상기 반송척의 이동통로 상에 설정된 제 1 위치로 향하여 상기 반송척의 이동통로의 한쪽 혹은 양쪽에 수평으로 일렬 또는 복수열로 배치된 제 1 토출구를 가지는 복수의 세정노즐과, 이들 복수의 세정노즐의 각각으로 세정액을 공급하는 세정액 공급수단과, 상기 세정실내에서 상기 제 1 위치보다 높은 제 2 위치로 각각이 향하고, 또 상기 반송척의 이동통로의 한쪽 혹은 양쪽에 수평으로 일렬 또는 복수열로 배치되고, 중간부에 위치하는 제 2 토출구는 경사져서 아래로 향해 개구하� � 양 끝단부에 위치하는 제 2 토출구는 수직면에 대하여 경사진 방향으로 개구하고 있는 복수의 가스노즐과, 상기 복수의 가스노즐의 각각으로 건조용의 가스를 각각 공급하는 가스공급수단을 구비한다.

公开(公告)号：KR1019940012520A

公开(公告)日：1994-06-23

申请号：KR1019930023798

申请日：1993-11-10

Applicant: 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  미야자키다카노리 ,  무카이에이이치 ,  가미카와유우지 ,  다나카유지

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판세정장치는 세정처리액이 수용된 처리조와, 반도체 웨이퍼를 유지하기 위한 제1기판유지부를 구비하고, 웨이퍼를 유지하여 처리조로 이송하는 척기구와, 웨이퍼를 유지하기 위한 제2기판유지부를 구비하고, 척기구로부터 기판을 건너받아 기판을 세정처리조에 침적하는 보오트기구와를 가지며, 제2기판유지부는 내식성 및 내열성을 가지는 재료로 만들어진 베이스부재와, 이 베이스부재에 장착되고, 기판유지용 다수의 홈이 형성되고, 기판과 동등하거나 부드럽고, 내식성 및 내열성을 가지는 합성수지로 만들어진 받이부재를 가진다.

公开(公告)号：KR100163361B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019930003345

申请日：1993-03-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  무카이에이이치 ,  가미카와유우지 ,  구로다고오키 ,  니시미쓰오

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 반도체 웨이퍼를 약액으로 세정하고, 물로 씻고, 건조하는 웨이퍼 세정처리부와, 웨이퍼 수납용의 카세트를 물로 씻고, 건조하는 카세트 세정처리부와, 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부에 로드하는 로더부와, 카세트에 웨이퍼를 수용하고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부로부터 언로드하는 언로더부와, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부내에서 반송하는 웨이퍼 반송기구와, 카세트를 로더부로부터 카세트 세정처리부에 반송하는 카세트 리프터와, 카세트를 카세트 세정처리부내에서 와이어 구동기구를 가진다.

公开(公告)号：KR1019930005156A

公开(公告)日：1993-03-23

申请号：KR1019920015418

申请日：1992-08-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다나카히로시 ,  니시미쓰오 ,  미조구치류이치 ,  가미카와유우지

IPC: H01L21/68

Abstract: 내용 없음.

公开(公告)号：KR100231756B1

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019930016108

申请日：1993-08-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리 ,  데구치요이치 ,  니시미쓰오 ,  다까구마신지

IPC: H01L21/66

Abstract: 기판검출장치는, 웨이퍼를 유지하는 보우트 또는 척과, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으며, 기판의 각각에 광빔을 조사하는 복수개의 발광소자를 가지는 발광부와, 발광부에 대면하도록 배치되고, 각 웨이퍼를 투과한 광빔을 각각 수광하며, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으며, 또한 상기 발광소자와는 상호간에 약간 어긋나게 교차배치되어 있는 복수개의 수광소자를 가지는 수광부와, 수광소자에 각각 입사하는 광빔의 광축에 형성된 편광필터와, 양옆에 다른 웨이퍼가 존재하지 않는 상태에서 웨이퍼에 광빔을 조사한 때에 수광소자가 수광하는 광량을 미리 예측하여 놓고, 이것을 레퍼런스데이타로서 기억하는 메모리와, 검출대상으로 되는 웨이퍼에 의하여 산란된 산관광과 그 양옆의 기판을 돌아들어오는 돌아들어옴광을 상기 � �광필터에 의하여 제거한 후에, 상기 수광소자로 각각 수광한 광량에서 얻어진 데이타와 상기 레퍼런스 데이타에 기초하여 상기 유지수단상에 있어서의 기판의 유무, 매수 및 배열상태를 판정하는 콘트롤러를 가진다.

公开(公告)号：KR1019940018925A

公开(公告)日：1994-08-19

申请号：KR1019940001233

申请日：1994-01-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

公开(公告)号：KR100304147B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019980017564

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은, 복수의 피처리기판을 세운 상태에서, 소정 간격으로 나란하게 파지하기 위한 한쌍의 아암부재를 가진 반송척을 세정ㆍ건조처리하기 위한 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 한쌍의 아암부재 중에서 적어도 한쪽이 출입하도록 상부 개구를 가지는 처리탱크와, 이 처리탱크 내에서 세정액을 토출하도록 설치된 세정노즐과, 상기 처리탱크 내에서 건조용 가스를 분사하도록 설치된 가스노즐과, 상기 반송척이 상기 상부 개구를 통하여 상기 처리탱크 내로 출입하도록, 상기 반송척과 상기 처리탱크를 상대적으로 상하방향으로 이동시키는 승강수단과, 이 승강수단에 의해 상기 반송척이 상기 처리탱크에 대하여 상대적으로 상승되었을 때에 상기 세정노즐이 세정액을 상기 척부재로 향하여 분사함과 동시에 상기 가스노즐이 건조용 가스를 상� � 척부재로 향하여 분사하도록, 상기 승강수단, 세정노즐 및 가스노즐의 각 동작을 제어하는 수단을 구비한다.

公开(公告)号：KR1019990066685A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017564

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은 복수의 피처리기판을 세운 상태에서, 소정 간격으로 나란하게 파지하기 위한 한쌍의 아암부재를 가진 반송척을 세정·건조처리하기 위한 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 한쌍의 아암부재 중에서 적어도 한쪽이 출입하도록 상부 개구를 가지는 처리탱크와, 이 처리탱크 내에서 세정액을 토출하도록 설치된 세정노즐과, 상기 처리탱크 내에서 건조용 가스를 분사하도록 설치된 가스노즐과, 상기 반송척이 상기 상부 개구를 통하여 상기 처리탱크 내로 출입하도록, 상기 처리탱크를 상하로 이동시키는 승강수단을 구비한다.

公开(公告)号：KR100165559B1

公开(公告)日：1999-02-18

申请号：KR1019920015418

申请日：1992-08-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다나카히로시 ,  니시미쓰오 ,  미조구치류이치 ,  가미카와유우지

IPC: H01L21/68

Abstract: 반도체 웨이퍼를 반송하는 회전반송아암이 밀폐용기내에 배열설치된다. 용기에는 개폐가능한 개구부가 형성되고, 이것을 통하여 반송아암이 용기바깥으로 뻗어나오는 것이 가능하게 되어있다. 반송아암의 선단에는 포크가 배열설치된다. 포크에는 여러 개의 웨이퍼를 간격을 두고 배치하는 여러 개의 유지홈이 형성된다. 용기의 상부에는 포크용 크리너가 배열설치된다. 크리너는 변환아암의 선단에 부착된 세정노즐 및 건조노즐(s)을 구비한다. 변환아암은 작동위치와 후퇴위치 사이에서 선회가 가능하게 되어있다. 변환아암은 작동위치와 후퇴위치와의 사이에서 선회가능하도록 되어 있다. 변환아암 또는 포크를 따라서 세정노즐 및 건조노즐을 이동가능하게 되어 있다. 세정 및 건조시, 포크에 대하여 세정노즐로부터 순수한 물이 분출되며 건조노즐로부터 질소가 분출된다.