公开(公告)号：KR1019940004768A

公开(公告)日：1994-03-15

申请号：KR1019930016108

申请日：1993-08-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리 ,  데구치요이치 ,  니시미쓰오 ,  다까구마신지

IPC: H01L21/66

Abstract: 기판검출장치는, 웨이퍼를 유지하는 보우트 또는 척과, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으머, 기판의 각각에 광빔을 조사하는 복수개의 발광소자를 가지는 발광부와, 발광부에 대면하도록 배치되고 각 웨이퍼를 투과한 광빔을 각각 수광하며, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으며, 또한 상기 발광소자와는 상호간에 약간어긋나게 교차배치되어 있는 복수개의 수광소자를 가지는 수광부와, 수광소자에 각각 입사하는 광빔의 광축에 형성된 편광필터와, 양옆에 다른 웨이퍼가 존재하지 않는 상태에서 웨이퍼에 광빔을 조사한 때에 수광소자가 수광하는 광량을 미리 예측하여 놓고, 이것을 레퍼런스데이타로서 기억하는 메모리와, 검출대상으로 되는 웨이퍼에 의하여 산란된 산관광과 그 양옆의 기판을 돌어들어오는 돌아들어옴광을 상기 편 필터에 의하여 제거한 후에, 상기 수광소자로 각각 수광한 광량에서 얻어진 데이타와 상기 레퍼런스 데이타에 기초하여 상기 유지수단상에 있어서의 기판의 유무, 매수 및 배열상태를 판정하는 콘트롤러를 가진다.

公开(公告)号：KR100272186B1

公开(公告)日：2000-11-15

申请号：KR1019930015854

申请日：1993-08-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67742

Abstract: 기판반송장치는, 기판을 유지하는 복수의 기판유지부와, 이들 기판유지부를 수평방향으로 이동시키는 신축이 자유로운 아암으로 이루어지는 복수의 이동 기구와, 이들 이동기구를 수평으로 회전시키는 회전기구와, 상기 이동기구 및 회전기구의 구동수단을 구비하며, 상기 회전기구 상에 상기 복수의 이동기구와 기판유지부를 병설하고, 상기 기판유지부 상에 유지되는 기판의 적어도 일부가 간극을 두고 중복 가능하게 형성함과 동시에, 각 기판유지부 끼리가 서로 멀어졌을 때에는, 각 기판유지부 상의 기판이 거의 동일한 수평면 내에 위치하도록 상기 이동기구의 신축아암을, 수직방향으로 경사시켜서 수평이동이 가능하게 형성하여 이루어 진다.

公开(公告)号：KR100163362B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019930003225

申请日：1993-03-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다나카오사무 ,  모쿠오쇼오리

IPC: H01L21/304

Abstract: 복수의 웨이퍼를 세정하는 세정장치에 사용되는 처리조이다. 처리조는 세정액공급원과, 순환펌프와, 필터와, 입구를 바닥부에 가지는 주조와, 복수의 웨이퍼를 주조의 중앙영역에 유지하는 보우트와, 입구와 기판의 사이에 형성된 정류어셈블리를 구비하고 있다. 정류어셈블리는, 상기 입구로부터의 세정액을 수평방향으로 분산시키는 분산판과, 입구로부터 유입된 세정액을 실질적으로 층류로 하고, 층류화한 세정액을 주조의 중앙영역으로 유도하는 유도유로를 가진다. 유도유로는, 분산판 및 측면판의 상호간극, 또는 분산판의 다수의 구멍에 의하여 형성된다. 이와같은 유도유로에 의하여 웨이퍼의 상호간 공간에 세정액의 대부분을 저극적으로 통하여 흐르게 한다. 또한, 정류어셈블리는, 웨이퍼의 주변 영역에 흐르는 세정액의 양을 억제하기 위한 유량억제부를 가진다.

公开(公告)号：KR1019930020596A

公开(公告)日：1993-10-20

申请号：KR1019930003225

申请日：1993-03-04

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다나카오사무 ,  모쿠오쇼오리

IPC: H01L21/304

Abstract: 복수의 웨이퍼를 세정하는 세정장치에 사용되는 처리조이다. 처리조는, 세정액공급원과, 순환펌프와, 필터와, 입구를 바닥부에 가지는 주조와, 복수의 웨이퍼를 주조의 중앙영역에 유지하는 보우트와, 입구와 기판의 사이에 형성된 정류어셈블리를 구비하고 있다. 정류어셈블리는, 상기 입구로부터의 세정액을 수평방향으로 분산시키는 분산판과, 입구로 부터 유입된 세정액을 실질적으로 층류로 하고, 층류화한 세정액을 주조의 중앙영역으로 유도하는 유도유로를 가진다. 유도유로는, 분산판 및 측면판의 상호간극, 또는 분산판의 다수의 구멍에 의하여 형성된다. 이와같은 유도유로에 의하여 웨이퍼의 상호간 공간에 세정액의 대부분을 저극적으로 통하여 흐르게 한다. 또한, 정류어셈블리는, 웨이퍼의 주변 영역에 흐르는 세정액의 양을 억제하기위한 유량억제부를 가진다.

公开(公告)号：KR100260118B1

公开(公告)日：2000-07-01

申请号：KR1019930021776

申请日：1993-10-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67057 ,  Y10S414/136

Abstract: 반도체 웨이퍼의 검출장치는 합성수지제의 지지본체를 구비한다. 지지체 본체에는 간격을 두고 형성된 실질적으로 평행한 한쌍의 종단채널과, 간격을 두고 형성된 실질적으로 형행한 복수의 횡단채널이 형성된다. 횡단채널은 종단채널에 대하여 실질적으로 직각으로 배치되고, 또한 횡단채널의 간격은 웨이퍼의 배열의 간격과 대응한다. 횡단채널사이에서 한쌍의 종단채널에 대응하여 한쌍씩 복수쌍의 유지부가 형성된다. 유지부에는 상호간에 한쌍씩 한쌍의 발광소자와 한쌍의 수광소자가 유지된다. 한쌍의 발광소자는 상호간에 반대쪽으로 발광면이 향함과 함께, 한쌍의 수광소자는 상호간에 반대쪽으로 수광면이 향하도록 배치되고, 한쌍의 발광소자는 상호간에 반대쪽으로 인접하는 수광소자와 조합되어 광학적 센서를 구성한다. 한개의 발광소자와 한개의 수광소자로 이루어지는 센서의 당해 발광소자 및 수광소자의 사이가 차광되는 가의 여부에 따라서 센서내에 있어서의 웨이퍼의 유무가 판정된다.

公开(公告)号：KR100231756B1

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019930016108

申请日：1993-08-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리 ,  데구치요이치 ,  니시미쓰오 ,  다까구마신지

IPC: H01L21/66

Abstract: 기판검출장치는, 웨이퍼를 유지하는 보우트 또는 척과, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으며, 기판의 각각에 광빔을 조사하는 복수개의 발광소자를 가지는 발광부와, 발광부에 대면하도록 배치되고, 각 웨이퍼를 투과한 광빔을 각각 수광하며, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으며, 또한 상기 발광소자와는 상호간에 약간 어긋나게 교차배치되어 있는 복수개의 수광소자를 가지는 수광부와, 수광소자에 각각 입사하는 광빔의 광축에 형성된 편광필터와, 양옆에 다른 웨이퍼가 존재하지 않는 상태에서 웨이퍼에 광빔을 조사한 때에 수광소자가 수광하는 광량을 미리 예측하여 놓고, 이것을 레퍼런스데이타로서 기억하는 메모리와, 검출대상으로 되는 웨이퍼에 의하여 산란된 산관광과 그 양옆의 기판을 돌아들어오는 돌아들어옴광을 상기 � �광필터에 의하여 제거한 후에, 상기 수광소자로 각각 수광한 광량에서 얻어진 데이타와 상기 레퍼런스 데이타에 기초하여 상기 유지수단상에 있어서의 기판의 유무, 매수 및 배열상태를 판정하는 콘트롤러를 가진다.

公开(公告)号：KR1019940010257A

公开(公告)日：1994-05-24

申请号：KR1019930021776

申请日：1993-10-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리

IPC: H01L21/66

Abstract: 반도체 웨이퍼의 검출장치는 합성수지제의 지지본체를 구비한다. 지지체 본체에는 간격을 두고 형성된 실질적으로 평행한 한쌍의 종단채널과, 간격을 두고 형성된 실질적으로 평행한 복수의 횡단채널이 형성된다.
횡단채널은 종단채널에 대하여 실질적으로 직각으로 배치되고, 또한 횡단채널의 간격은 웨이퍼의 배열의 간격과 대응한다. 횡단채널사이에서 한쌍의 종단채널에 대응하여 한쌍식 복수쌍의 유지부가 형성된다. 유지부에는 상호간에 한쌍씩 한쌍의 발광소자와 한쌍의 수광소자가 유지된다. 한쌍의 발광소자를 상호간에 반대쪽으로 발광면이 향함과 함께, 한쌍의 수광소자는 상호간에 반대쪽으로 수광면이 향하도록 배치되고, 한쌍의 발광소하는 상호간에 반대쪽으로 인접하는 수광소자와 조합되어 광학적 센서를 구성한다. 한개의 발광소자와 한 개의 수광소자로 이루어지는 센서의 당해 발광소자 및 수광소자의 사이가 차광되는 가의 여부에 따라서 센서내에 있어서의 웨이퍼의 유무가 판정된다.

公开(公告)号：KR1019940004773A

公开(公告)日：1994-03-16

申请号：KR1019930015854

申请日：1993-08-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리

IPC: H01L21/68

Abstract: 기판반송장치는, 기판을 실질적으로 수평으로 지지하는 한쌍의 지지아암과, 이들의 지지아암을 수평면 내에서 각각 이동시키는 다관절 신축링 기구와, 이들 링기구률 각각 신축시키는 제1의 모터와, 링기구를 탑재하는 회전 베이스와, 이 회전베이스를 회전시키는 제2의 모터를 가지며, 링기구를 줄일때에, 지지아암에 의해 지지된 기판의 높이레벨이 서로 다르며, 기판끼리 또는 기판과 지지아암이 서로 다른 상태에서, 수평면내에서 기판의 적어도 일부가 포개어 합쳐진다.