公开(公告)号：KR100304146B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019980017563

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은, 세정유니트 내에 설치된 반송로보트와의 사이에서 세정 전후의 복수의 피처리기판을 주고받는 반송척과, 이 반송척기구를 내부에서 세정하여 건조하는 세정·건조처리부를 구비하고, 상기 반송척은 복수의 피처리기판을 파지하는 좌우의 가로로드 및 각각을 수평으로 지지하는 세로로드를 가지며, 상기 세정·건조처리부는 세정액을 토출하는 수단 및 건조용 가스를 공급하는 수단을 구비하는 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 가스공급수단은, 상기 각 세로로드의 좌우 양측에 그 하단으로부터 기초부에 걸쳐 각각 세워 설치된 2쌍의 가스배관과, 건조용 가스가 상기 반송척의 가로로드 및 세로로드에 대하여 경사져서 아래쪽으로 향해 분사되도록 상기 가스배관의 전체 길이에 걸쳐 복수로 형성된 가스분사구멍과, 이들 가스분사구멍을 � �지는 상기 각 가스배관을 상기 각 가로로드를 따라 일체적으로 이동시키는 구동수단을 가진다.

公开(公告)号：KR100304145B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019940001233

申请日：1994-01-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치를 제공한다.
본 발명은, 여러개의 피처리기판을 세운 상태에서, 소정 간격으로 나란하게 파지하는 반송척을 세정하기 위한 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 반송척을 승강시키는 승강기구와, 상기 반송척이 출입할 수 있도록 형성된 상부 개구를 가지는 세정실과, 이 세정실 내에서 상기 반송척의 이동통로 상에 설정된 제 1 위치로 향하여 상기 반송척의 이동통로의 한쪽 혹은 양쪽에 수평으로 일렬 또는 복수열로 배치된 제 1 토출구를 가지는 복수의 세정노즐과, 이들 복수의 세정노즐의 각각으로 세정액을 공급하는 세정액 공급수단과, 상기 세정실내에서 상기 제 1 위치보다 높은 제 2 위치로 각각이 향하고, 또 상기 반송척의 이동통로의 한쪽 혹은 양쪽에 수평으로 일렬 또는 복수열로 배치되고, 중간부에 위치하는 제 2 토출구는 경사져서 아래로 향해 개구하� � 양 끝단부에 위치하는 제 2 토출구는 수직면에 대하여 경사진 방향으로 개구하고 있는 복수의 가스노즐과, 상기 복수의 가스노즐의 각각으로 건조용의 가스를 각각 공급하는 가스공급수단을 구비한다.

公开(公告)号：KR1019990066684A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017563

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은 세정유니트 내에 설치된 반송로보트와의 사이에서 세정 전후의 복수의 피처리기판을 주고받는 반송척과, 이 반송척기구를 내부에서 세정하여 건조하는 세정·건조처리부를 구비하고, 상기 반송척은 복수의 피처리기판을 파지하는 좌우의 가로로드 및 각각을 수평으로 지지하는 세로로드를 가지며, 상기 세정·건조처리부는 세정액을 토출하는 수단 및 건조용 가스를 공급하는 수단을 구비하는 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 가스공급수단은, 상기 각 세로로드의 좌우 양측에 그 하단으로부터 기초부에 걸쳐 각각 세워 설치된 2쌍의 가스배관과, 이들 가스배관의 전체 길이에 걸쳐 여러개씩 형성된 가스분사구멍과, 이들 가스분사구멍을 가지는 상기 각 가스배관을 상기 각 가로로드를 따라 일체적으로 이동시키는 구동수단을 가진다.

公开(公告)号：KR1019940018925A

公开(公告)日：1994-08-19

申请号：KR1019940001233

申请日：1994-01-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

公开(公告)号：KR100304147B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019980017564

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은, 복수의 피처리기판을 세운 상태에서, 소정 간격으로 나란하게 파지하기 위한 한쌍의 아암부재를 가진 반송척을 세정ㆍ건조처리하기 위한 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 한쌍의 아암부재 중에서 적어도 한쪽이 출입하도록 상부 개구를 가지는 처리탱크와, 이 처리탱크 내에서 세정액을 토출하도록 설치된 세정노즐과, 상기 처리탱크 내에서 건조용 가스를 분사하도록 설치된 가스노즐과, 상기 반송척이 상기 상부 개구를 통하여 상기 처리탱크 내로 출입하도록, 상기 반송척과 상기 처리탱크를 상대적으로 상하방향으로 이동시키는 승강수단과, 이 승강수단에 의해 상기 반송척이 상기 처리탱크에 대하여 상대적으로 상승되었을 때에 상기 세정노즐이 세정액을 상기 척부재로 향하여 분사함과 동시에 상기 가스노즐이 건조용 가스를 상� � 척부재로 향하여 분사하도록, 상기 승강수단, 세정노즐 및 가스노즐의 각 동작을 제어하는 수단을 구비한다.

公开(公告)号：KR1019990066685A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017564

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은 복수의 피처리기판을 세운 상태에서, 소정 간격으로 나란하게 파지하기 위한 한쌍의 아암부재를 가진 반송척을 세정·건조처리하기 위한 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 한쌍의 아암부재 중에서 적어도 한쪽이 출입하도록 상부 개구를 가지는 처리탱크와, 이 처리탱크 내에서 세정액을 토출하도록 설치된 세정노즐과, 상기 처리탱크 내에서 건조용 가스를 분사하도록 설치된 가스노즐과, 상기 반송척이 상기 상부 개구를 통하여 상기 처리탱크 내로 출입하도록, 상기 처리탱크를 상하로 이동시키는 승강수단을 구비한다.