公开(公告)号：KR1019990066687A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017969

申请日：1998-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하마무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판 세정 장치는, 바닥부에 세정액을 도입하는 액공급구를 가지고 세정할 피처리체를 수용하는 세정탱크와, 상기 세정탱크의 바닥부로부터 이격시켜 설치함과 동시에 상기 세정액이 통과하는 다수의 정류구멍을 가지며, 상기 액공급구로부터 도입된 세정액을 정류하면서 상기 피처리체쪽으로 흐르게 하는 정류판을 구비하며, 상기 세정탱크의 바닥부의 양쪽은, 비스듬하게 경사진 바닥 경사부를 가지고, 상기 정류판은 상기 바닥부의 중심부에 대응하여 수평으로 이루어진 수평정류부와, 이 수평정류부의 양측에 형성되어 상기 바닥 경사부에 대응하여 비스듬하게 경사진 경사정류부를 가지고, 상기 액공급구의 상부에는, 상기 액공급구로부터 도입되는 상기 세정액을 상기 정류판 하부의 전면을 향하여 분산시키는 분산판이 설치되어 있다.

公开(公告)号：KR1019990066686A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017968

申请日：1998-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하마무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정처리장치는, 하부에 세정액의 액공급구를 가지는 세정탱크와, 이 세정탱크내에 수용되어 세정액중에 침적되는 피처리체와 상기 액공급구 사이에 배치되는 정류수단을 구비하며, 상기 정류수단은, 상기 세정탱크를 상하로 구획하기 위해 수평으로 배치됨과 동시에 복수의 세정액의 정류구멍을 형성한 정류판과, 상기 액공급구의 상부에 위치하는 분산판으로 구성하고, 상기 정류판으로부터 아래로 향하여 늘어뜨린 세정액의 저류벽을 형성하며, 상기 분산판의 가장자리부로부터 아래로 향하여 늘어뜨린 세정액의 저류벽을 형성함과 동시에 분산판에 세정액의 분산구멍을 형성하여 이루어진다.