公开(公告)号：KR100306087B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019930030041

申请日：1993-12-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하라무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판 세정 장치는, 여러 개의 기판을 세정하기 위한 세정액이 수용된 세정탱크와, 이 세정탱크내에 여러 개의 기판을 서로 평행하게 유지하는 보호유지부와, 세정탱크의 바닥부에 형성한 액공급구와, 이 액공급구에 연결되어 액공급구를 통하여 세정탱크내에 세정액을 공급하는 액공급 시스템과, 보호유지부에 유지된 여러 개의 기판과 상기 액공급구와의 사이에 설치되고, 세정액을 유통시키기 위한 여러 개의 정류구멍을 가지는 정류판을 가진다. 이들 여러 개의 정류구멍은 기판의 배열을 따라서 직렬로 나란한 여러 개의 열(列)을 형성하고, 각 열의 구멍은 기판에 대하여 하나씩 걸러서 위치하며, 또, 그 인접한 구멍과는 위치가 어긋나도록 배열되어 있다.

公开(公告)号：KR1019990066687A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017969

申请日：1998-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하마무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판 세정 장치는, 바닥부에 세정액을 도입하는 액공급구를 가지고 세정할 피처리체를 수용하는 세정탱크와, 상기 세정탱크의 바닥부로부터 이격시켜 설치함과 동시에 상기 세정액이 통과하는 다수의 정류구멍을 가지며, 상기 액공급구로부터 도입된 세정액을 정류하면서 상기 피처리체쪽으로 흐르게 하는 정류판을 구비하며, 상기 세정탱크의 바닥부의 양쪽은, 비스듬하게 경사진 바닥 경사부를 가지고, 상기 정류판은 상기 바닥부의 중심부에 대응하여 수평으로 이루어진 수평정류부와, 이 수평정류부의 양측에 형성되어 상기 바닥 경사부에 대응하여 비스듬하게 경사진 경사정류부를 가지고, 상기 액공급구의 상부에는, 상기 액공급구로부터 도입되는 상기 세정액을 상기 정류판 하부의 전면을 향하여 분산시키는 분산판이 설치되어 있다.

公开(公告)号：KR1019940016548A

公开(公告)日：1994-07-23

申请号：KR1019930030041

申请日：1993-12-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하라무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판 세정 장치는, 여러개의 기판을 세정하기 위한 세정액이 수용된 처리탱크와, 이 처리탱크내에 여러개의 기판을 서로 평행하게 유지하는 보트와, 처리탱크의 저부에 뚫린 액공급구와, 이 액공급구에 통하게 되어 액공급구를 통하여 처리탱크내에 세정액을 공급하는 액공급 시스템과, 보트에 유지된 여러개의 기판과 상기 액공급구와의 사이에 설치되고, 세정액을 통류시키기 위한 여러개의 구멍을 가지는 정류판을 가진다. 이들 여러개의 구멍은 기판의 배열을 따라서 직렬로 나란한 여러개의 열(列)을 형성하고, 각 열의 구멍은 기판에 대하여 1개 걸러서 위치하며, 또, 그 옆열의 구멍과 위치가 어긋나도록 배열되어 있다.

公开(公告)号：KR1019990066686A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017968

申请日：1998-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하마무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정처리장치는, 하부에 세정액의 액공급구를 가지는 세정탱크와, 이 세정탱크내에 수용되어 세정액중에 침적되는 피처리체와 상기 액공급구 사이에 배치되는 정류수단을 구비하며, 상기 정류수단은, 상기 세정탱크를 상하로 구획하기 위해 수평으로 배치됨과 동시에 복수의 세정액의 정류구멍을 형성한 정류판과, 상기 액공급구의 상부에 위치하는 분산판으로 구성하고, 상기 정류판으로부터 아래로 향하여 늘어뜨린 세정액의 저류벽을 형성하며, 상기 분산판의 가장자리부로부터 아래로 향하여 늘어뜨린 세정액의 저류벽을 형성함과 동시에 분산판에 세정액의 분산구멍을 형성하여 이루어진다.

公开(公告)号：KR100248568B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019940002752

申请日：1994-02-16

Applicant: 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤 ,  도오교오에레구토론가부시끼가이사

Inventor： 미야자키다카노리 ,  고바야시가즈히코 ,  가미카와유우지 ,  다시마지하야

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67034 ,  F26B21/145 ,  F26B25/009 ,  H01L21/67781 ,  Y10S134/902 ,  Y10S203/07

Abstract: 반도체 웨이퍼의 세정처리 시스템에 조립된 웨이퍼의 건조장치는 IPA를 수용하는 탱크를 구비한다. 탱크에는 IPA의 증기를 발생시키기 위한 히터가 설치된다. 탱크는 케이싱에 의하여 포위되고, 케이싱은 셔터에 의하여 개폐되는 개구부를 3방향으로 가진다. 탱크에는 화재발생을 검지하는 센서와, 탱크내에 CO
2 가스를 방출하기 위한 노즐이 설치된다. 웨이퍼는 복수매가 반송로보트의 척에 유지되고, 케이싱의 외부로부터 개구부를 통하여 케이싱의 내부로 반송된다. 센서에 의하여 화재발생이 검지되면, 바로 척이 케이싱으로부터 퇴피함과 동시에 셔터가 폐쇄된다. 10 추후에 셔터를 폐쇄시키는 신호가 재차 셔터의 구동원에 전달되어 20초 후에 CO
2 가스의 방출이 개시된다.

公开(公告)号：KR1019940020500A

公开(公告)日：1994-09-16

申请号：KR1019940002752

申请日：1994-02-16

Applicant: 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤 ,  도오교오에레구토론가부시끼가이사

Inventor： 미야자키다카노리 ,  고바야시가즈히코 ,  가미카와유우지 ,  다시마지하야

IPC: H01L21/304

Abstract: 반도체 웨이퍼의 세정처리 시스템에 조립된 웨이퍼의 건조장치는 IPA를 수용하는 탱크를 구비한다. 탱크에는 IPA의 증기를 발생 시키기위한 히터가 설치된다. 탱크는 케이싱에 의하여 포위되고, 케이싱은 셔터에 의하여 개폐되는 개구부를 3방향으로 가진다. 탱크에는 화재발생을 검지하는 센서와, 탱크내에 CO
2 가스를 방출하기 위한 노즐이 설치된다. 웨이퍼는 복수매가 반송로보트의 척에 유지되고, 케이싱의 외부로부터 개구부를 통하여 케이싱의 내부로 반송된다. 센서에 의하여 화재발생이 검지되면, 바로 척이 케이싱으로부터 퇴피함과 동시에 셔터가 폐쇄된다. 10초 후에 셔터를 폐쇄시키는 신호가 재차 셔터의 구동원에 전달되어 20초후에 CO
2 가스의 방출이 개시된다.