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公开(公告)号：KR1019950019748A
公开(公告)日：1995-07-24
申请号：KR1019940036494
申请日：1994-12-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: G01R31/02
Abstract: 병행으로 배열된 복수의 도체패턴의 한개의 끝단부에 소정의 직류전압을 인가하는 직류전압원과, 상기 끝단부에 인가되는 직류전압에 의하여 상기 한개의 도체패턴에 인접하는 다른 한개의 도체패턴에 흐르는 전류를 측정하는 전류측정회로와, 상기 전류측정회로에 의하여 측정한 전류치와 지류전압원에 의하여 인가한 전압치에 기초하여, 상기 끝단부로부터 상기 인접한 2개의 도체패턴의 단락부위까지의 저항치를 산출하고, 이 산출한 저항치와 비단락서의 도체패턴의 고유의 저항치에 기초하여 단락부위의 위치를 특정하는 단락위치 산출회로를 구비하는 도체패턴 검사장치.
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公开(公告)号：KR100238628B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019940036494
申请日：1994-12-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 테루.엔지니아링구가부시끼가이샤
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/086 , B23K31/12 , B23K2201/36
Abstract: 기판에 형성된 복수의 도체패턴에 선택적으로 접속되고, 상기 도체패턴의 한 개의 끝단부에 소정의 직류전압을 인가하는 직류전압원과, 상기 도체패턴에 선택적으로 접속되고, 상기 끝단부에 인가되는 상기 직류전압에 의하여 상기 한 개의 도체패턴에 인접한 다른 한 개의 도체 패턴에 상기 끝단부를 통하여 흐르는 전류를 측정하는 전류측정수단과, 상기 전류 측정수단 및 상기 직류전압 인가수단에 접속되고, 상기 전류측정수단에 의하여 측정한 전류치와 상기 직류전압 인가수단에 의하여 인가한 전압치에 기초하여, 상기 끝단부로부터 인접한 상기 한쪽 및 다른 도체패턴의 단락부위까지의 저항치를 산출하고, 이 산출한 저항치와 비단락시의 도체패턴의 고유의 저항치에 기초하여 상기 단락부위의 위치를 특정하는 단락위치 산출수단과, 상기 기� ��에 형성된 상기 도체패턴의 상기 한 개의 한끝단부에 소정의 교류전압을 인가하는 교류전압 인가수단과, 상기 도체패턴에 접속되고, 상기 교류전압 인가수단에 의하여 상기 도체패턴의 상기 하나에 교류전압이 인가된 때에, 상기 한 개 의 도체패턴에 인접한 상기 다른 한 개의 도체패턴의 한 끝단부의 전압을 측정하는 전압측정수단과, 도체패턴의 전체길이와, 단선이 존재하지 않는 경우에 측정된 전압치와, 단선이 존재하는 경우에 측정된 전압치에 기초하여 단선부분의 위치를 계산하는 단선위치 산출수단에 의하여 구성되는 도체패턴 검사장치.
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公开(公告)号：KR100928881B1
公开(公告)日：2009-11-30
申请号：KR1020077012911
申请日：2005-11-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 제이에스알 가부시끼가이샤
CPC classification number: H01R13/2464 , G01R1/07314 , G01R1/0735 , H01R2201/20
Abstract: Inspection of electric properties is stably performed on a wafer having very fine electrodes at a narrow pitch. An inspection contact structure is attached to the lower surface side of a circuit board in a probe card. In the inspection contact structure, elastic sheets with protruding conductive portions are respectively attached to both surfaces of a silicon substrate. The silicon substrate is formed with current-carrying paths passing therethrough in the vertical direction, and the sheet conductive portions are in contact with the current-carrying paths from above and below. The conductive portions on the upper side are in contact with connecting terminals of the circuit board. At the time of inspection of electric properties of a wafer, electrode pads on the wafer are pressed against the conductive portions on the lower side and thereby brought into contact with them. The conductive portions on the lower side absorb variations in height of the electrode pads, and the conductive portions on the upper side absorb distortion and deflection on the circuit board side, whereby contact between the conductive portions and the electrode pads is maintained.
Abstract translation: 对具有非常细的电极的晶片以窄间距稳定地进行电特性的检查。 在探针卡中的电路板的下表面侧上安装检查接触结构。 在检查接触结构中，具有突出的导电部分的弹性片分别附着到硅基板的两个表面。 在硅基板上形成有沿上下方向贯通的通电路径，并且片状导电部从上下方向与通电路径接触。 上侧的导电部分与电路板的连接端子接触。 在检查晶片的电特性时，晶片上的电极焊盘被压在下侧的导电部分上并由此与它们接触。 下侧上的导电部分吸收电极焊盘的高度变化，并且上侧上的导电部分吸收电路板侧上的变形和偏转，从而保持导电部分和电极焊盘之间的接触。
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公开(公告)号：KR101815081B1
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：KR1020150002083
申请日：2015-01-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 아메미야다카시
CPC classification number: G01R31/2601 , G01R31/27 , G01R31/2893
Abstract: 콘택트프로브를구부러뜨리지않고프로브카드를투입할수 있는기판검사장치를제공한다. 웨이퍼검사장치(10)는, 복수의콘택트프로브(20)가배치되는프로브카드(18)를재치하는미들플레이트(22)와, 미들플레이트(22)가배치되는서랍형상의테이블(21)과, 프로브카드(18)가장착되는테스터(15)와, 미들플레이트(22)를반송하는반송로봇(17)을구비하고, 미들플레이트(22)는, 베이스(23) 및재치되는프로브카드(18)를향해돌출되는복수의서포트(24)를가지고, 각서포트(24)의돌출높이는콘택트프로브(20)의프로브카드(18)로부터의돌출량이상이며, 프로브카드(18)는미들플레이트(22)에재치될시, 프로브카드커버(29)에장착되고, 반송로봇(17)은미들플레이트(22)를테이블(21)로부터테스터(15)까지반송한다.
Abstract translation: 提供了一种能够在不弯曲接触探针的情况下插入探针卡的基板检查设备。 晶片检查装置10具备：中板22，其设置有配置有多个接触探针20的探针卡18;中板22配置的抽屉形状的台21; 探针卡18包括测试器15和传送中间板22的传送机器人17.中间板22包括待安装的基座23和探针卡18， 探针卡20的突出高度不小于接触探针20相对于探针卡18的突出量，并且探针卡18位于中间板22上 传送机器人17将卤化银板22从工作台21传送到测试器15.在这种情况下，
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公开(公告)号：KR101408550B1
公开(公告)日：2014-06-17
申请号：KR1020120116312
申请日：2012-10-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R1/06722 , G01R1/06738 , G01R1/06755
Abstract: 산화 및 훼손을 방지할 수 있는 프로브 카드용 접촉 단자를 제공한다. 반도체 소자를 검사하는 프로브 카드(10)의 베이스(11)에 있어서 반도체 소자와 대향하는 면에는 복수의 포고핀(12)이 배치되고, 각 포고핀(12)의 플런저(14)는 기둥 형상의 접촉부(14c)를 가지고, 접촉부(14c)는 기둥 형상의 중심부(14d)와 중심부(14d)의 측면을 덮는 외부 하우징(14e)을 가지며, 외부 하우징(14e)을 구성하는 재료의 경도 및 비저항은 중심부(14d)를 구성하는 재료의 경도 및 비저항과 다르다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100915179B1
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：KR1020077014131
申请日：2006-06-27
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07364
Abstract: 본 발명은 웨이퍼와 프로브의 접촉을 안정시키는 것을 목적으로 한다.
프로브 카드는 프로브를 지지하는 콘택터와, 콘택터와 전기적으로 접속되는 프린트 배선 기판을 구비한다. 콘택터와 프린트 배선 기판 사이에는 탄성 시트가 개재된다. 탄성 시트는 콘택터의 외주측보다도 중앙측의 탄성이 약해지도록 형성된다. 탄성 시트가 압축된 때에 탄성 시트로부터 콘택터에 작용하는 탄성 반력은 콘택터의 외주측에 비해 중앙부측이 약해진다. 이에 따라, 고정단으로부터 멀어져 최대로 휘는 콘택터의 중앙부의 휨량이 저감되며, 콘택터의 수평성이 유지된다.-
公开(公告)号：KR100812447B1
公开(公告)日：2008-03-10
申请号：KR1020067027724
申请日：2005-06-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07357 , G01R1/07371
Abstract: 본 발명은, 프로브 카드의 콘택터와 프로브 장치 내의 피검사체 사이의 평행이 무너진 경우라도, 양자를 평행 상태로 조정하여 신뢰성이 높은 검사를 행하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 유지체를 통해 프로브 장치에 장착되는 프로브 카드로서, 콘택터와, 이 콘택터와 전기적으로 접속되는 회로 기판과, 이 회로 기판을 보강하는 보강 부재와, 상기 콘택터와 상기 프로브 장치 내에 배치된 피검사체와의 평행도를 조정하는 평행 조정 기구를 갖는다.Abstract translation: 本发明的目的是调整探针卡的接触器与探针装置中的待检查对象之间的平行度，使得探针高度平行于彼此。
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公开(公告)号：KR1020070050841A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：KR1020060110919
申请日：2006-11-10
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R1/07371
Abstract: 본 발명은 프로브 핀과 웨이퍼와의 접촉을 안정적으로 유지하는 것을 목적으로 한다.
프린트 배선 기판(13)의 외주부의 복수 지점에 나사(50)가 설치된다. 나사(50)는 보강판(25)에 나사 결합되고, 프린트 배선 기판(13)의 외주부를 관통하고 있다. 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 하면측에는 누름판(60)이 마련되고, 나사(50)의 하단면은 누름판(60)에 의해 눌려져 있다. 누름판(60)은 스페이서(61)를 매개로 하여 카드 홀더(14)에 고정되어 있다. 나사(50)의 상단부측에는 너트(51)가 부착되어 있다. 나사(50)의 하단면을 누름판(60)으로 누른 상태에서 나사(50)를 돌림으로써, 프린트 배선 기판(13)의 외주부가 승강한다. 복수 지점의 각 나사(50)를 돌려 프린트 배선 기판(13)의 외주부의 높이를 조정함으로써, 프로브 카드(2) 전체의 웨이퍼에 대한 평행도를 조정할 수 있다.Abstract translation: 本发明的一个目的是稳定地保持探针和晶片之间的接触。
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公开(公告)号：KR1020070026686A
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：KR1020067027724
申请日：2005-06-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07357 , G01R1/07371
Abstract: A probe card with which, even if parallelism between a contactor of the probe card and an object to be inspected in a probe device breaks, highly reliable inspection is carried out by adjusting them into a parallel state. A probe card fixed to a probe device through a holder, comprising a contactor, a circuit board electrically connected with the contactor, a member for reinforcing the circuit board, and a mechanism for adjusting parallelism between the contactor and an object to be inspected placed in the probe device. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract translation: 即使在探针卡的接触器与检测装置中的待检查物体之间的平行度破裂的探针卡也能够通过调整成并行状态进行高度可靠的检查。 一种通过保持器固定到探针装置的探针卡，包括接触器，与接触器电连接的电路板，用于加强电路板的构件，以及用于调节接触器和待检查物体之间的平行度的机构， 探针装置。 ®KIPO＆WIPO 2007
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公开(公告)号：KR1020150083038A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：KR1020150002083
申请日：2015-01-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 아메미야다카시
CPC classification number: G01R31/2601 , G01R31/27 , G01R31/2893 , H01L22/30 , G01R1/07314
Abstract: 콘택트프로브를구부러뜨리지않고프로브카드를투입할수 있는기판검사장치를제공한다. 웨이퍼검사장치(10)는, 복수의콘택트프로브(20)가배치되는프로브카드(18)를재치하는미들플레이트(22)와, 미들플레이트(22)가배치되는서랍형상의테이블(21)과, 프로브카드(18)가장착되는테스터(15)와, 미들플레이트(22)를반송하는반송로봇(17)을구비하고, 미들플레이트(22)는, 베이스(23) 및재치되는프로브카드(18)를향해돌출되는복수의서포트(24)를가지고, 각서포트(24)의돌출높이는콘택트프로브(20)의프로브카드(18)로부터의돌출량이상이며, 프로브카드(18)는미들플레이트(22)에재치될시, 프로브카드커버(29)에장착되고, 반송로봇(17)은미들플레이트(22)를테이블(21)로부터테스터(15)까지반송한다.
Abstract translation: 提供一种能够在不弯曲接触探针的情况下注射探针卡的基板检查装置。 晶片检查装置（10）包括：中间板（22），其上安置有多个接触探针（20）布置在其上的探针卡（18）; 呈中间板（22）布置的抽屉形式的台（21）; 安装探针卡（18）的测试器（15）; 和转印中间板（22）的传送机器人（17）。 中间板（22）包括基座（23）和朝向安装的探针卡（18）突出的多个支撑件（24）。 每个支撑件（24）的突出高度是从接触探针（20）的探针卡（18）或更大的突出量。 当探针卡（18）安装在中间板（22）上时，探针卡（18）安装在探针卡盖（29）上，传送机器人（17）将中间板（22）从 （21）到测试器（15）。
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