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公开(公告)号：KR101333432B1
公开(公告)日：2013-11-26
申请号：KR1020110115655
申请日：2011-11-08
Applicant: 명지대학교 산학협력단
IPC: H01L21/66 , H01L21/302
Abstract: 실제 세정 시간의 적용이 가능하도록 세정 종료점을 검출하여 세정 시스템에 적용하는 세정 종료점 검출 시스템 및 방법이 개시된다. 상기 세정 종료점 검출 방법은 세정 공정 동안 발생하는 빛을 감지하는 단계, 상기 감지된 빛에서 세정 가스와 관련된 피크값들 중 일부를 제 1 로우 데이터로 선택하는 단계, 상기 감지된 빛에서 상기 세정 가스와 증착 물질의 반응에 의해 발생되는 부산물과 관련된 피크값들 중 일부를 제 2 로우 데이터로 선택하는 단계 및 상기 제 1 로우 데이터와 상기 제 2 로우 데이터를 이용하여 세정 종료점을 검출하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101324346B1
公开(公告)日：2013-10-31
申请号：KR1020120004212
申请日：2012-01-13
Applicant: 명지대학교 산학협력단
IPC: H01L21/66
Abstract: 반도체 공정에서 공정 챔버 내에서 발생하는 아크를 검출하는 방법 및 시스템이 개시된다. 상기 아크 검출 방법은 공정 챔버로부터 출력되는 공정 로우 데이터를 정규화하여 정규화 데이터를 획득하는 단계 및 상기 획득된 정규화 데이터를 처리하여 상기 공정 챔버 내에 아크가 발생되었는 지의 여부를 검출하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130083560A
公开(公告)日：2013-07-23
申请号：KR1020120004212
申请日：2012-01-13
Applicant: 명지대학교 산학협력단
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: An arc detection method and system in the semiconductor process are provided to not only detect an arc in the process by analyzing processing low data outputted from a processing chamber but also detect an arc within the processing chamber when radio frequency (RF) power is applied. CONSTITUTION: Normalized data is obtained by normalizing process low data which are outputted from a processing chamber (200). Parameter data related to pre-set parameters among processing low data which are outputted from the processing chamber are selected. The parameter data are normalized by applying the selected parameter data and standard low data to a fuzzy model. Whether an arc is generated within the processing chamber or not is detected by processing the obtained normalized data. The processing chamber comprises a collecting part (202) and an arc detector (204). [Reference numerals] (202) Collecting part; (204) Arc detector
Abstract translation: 目的：提供半导体工艺中的电弧检测方法和系统，不仅通过分析从处理室输出的低数据处理来检测处理中的电弧，而且当射频（RF）功率为 应用。 构成：通过归一化从处理室（200）输出的处理低数据来获得归一化数据。 选择与从处理室输出的处理低数据之间的预设参数相关的参数数据。 通过将所选参数数据和标准低数据应用于模糊模型来对参数数据进行归一化。 通过处理所获得的归一化数据来检测在处理室内是否产生电弧。 处理室包括收集部分（202）和电弧检测器（204）。 （附图标记）（202）收集部分; （204）电弧检测器
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公开(公告)号：KR101117928B1
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：KR1020100053331
申请日：2010-06-07
Applicant: 명지대학교 산학협력단
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 플라즈마 공정 진단 시스템 및 이에 있어서 종료점 검출 방법 및 장치에 관한 것이다. 상기 종료점 검출 방법은 제 1 상태에 해당하는 제 1 분절값 및 제 2 상태에 해당하는 제 2 분절값을 설정하는 단계, 공정 OES 데이터를 상기 제 1 분절값 및 상기 제 2 분절값을 기준으로 하여 상태 함수 확률 분포로 변환하는 단계 및 상기 상태 함수 확률 분포에서 최대 우도 상태 시퀀스를 이용하여 종료점을 검출하는 단계를 포함한다. 여기서, 상기 상태 함수 확률 분포는 상기 공정 OES 데이터의 값들이 상기 제 1 상태 또는 상기 제 2 상태에 속할지를 확률로서 표시한 분포이다.
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公开(公告)号：KR1020160088590A
公开(公告)日：2016-07-26
申请号：KR1020150007851
申请日：2015-01-16
Applicant: 명지대학교 산학협력단
Abstract: closed-loop 제어시스템이개시된다.
Abstract translation: 公开了一种闭环控制系统，其可以在安装器和安装测试器之间执行闭环控制。 闭环控制系统可以及时地或空间地分析安装在印刷电路板上的部件的安装状态，以实时调整安装器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100611412B1
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：KR1020020063763
申请日：2002-10-18
Applicant: 명지대학교 산학협력단
IPC: G11B20/10
Abstract: 인간 청각 시스템의 마스킹 효과를 이용하여 일정한 위치에 워터마크를 삽입하고 추출하는 방법이 제시된다. 오디오 신호는 프레임 단위로 분할된다. 각 프레임은 앞의 프레임과 겹치는 오버랩 영역을 가질 수 있다. 각 프레임에 대해서 ZCR과 에너지를 계산한다. 연속되는 두 프레임 중에 앞의 프레임이 일정 이상의 ZCR 값을 가지고 뒤의 프레임이 일정 이상의 에너지 값을 갖는 프레임쌍 중에서 앞의 프레임들을 후보 프레임으로 선정한다. 후보 프레임 중에서 ZCR/에너지가 최대인 프레임을 워터마크 삽입 프레임으로 정하고, 여기에 워터마크를 삽입한다. 워터마크의 추출시의 위치 선정은 워터마크 삽입시와 동일한 절차를 거친다.
워터마크, 삽입, 추출, 오디오, 프레임, 인간 청각 모델, 인간 청각 시스템, ZCR, 에너지-
公开(公告)号：KR101651077B1
公开(公告)日：2016-08-26
申请号：KR1020150045024
申请日：2015-03-31
Applicant: 주식회사 와이즈오토모티브 , 명지대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은이더넷기반의차량용유무선네트워크를이용한하이브리드고장극복시스템및 그방법에관한것으로서, 차량의전방과후방을연결한유선백본망(Back Bone Network) 사이에적용되고, 무선네트워크로전방과후방을연결하여이중화구성됨으로써, 차량내 증가되는데이터를처리하고, 유선백본망(Back Bone Network)이고장나는경우에도무선망을통해끊김없이데이터전송이가능하며, 데이터를전송한링크의개수에따라, XOR 연산, 보팅기법및 CRC 검사등을이용하여수신된데이터에대한무결성을검증함으로써, 데이터전송시무결성과신뢰성을확보할수 있는시스템을제공함에목적이있다. 이러한목적을달성하기위한본 발명은, 전방스위치에서후방스위치에연결되는유선백본망사이에적용되고, 무선네트워크로전방과후방을연결하여이중화를구성하는이더넷기반의차량용유무선네트워크를이용한하이브리드고장극복시스템에있어서, 상기전방스위치가후방스위치에연결된유선링크및 무선링크를통해 CRC 값이포함된데이터를동시에전송할경우데이터를수신하고, 데이터를전송한링크의개수를판단하는링크개수판단부; 및데이터를전송한링크의개수에따라, XOR 연산, 보팅기법및 CRC 검사중, 적어도어느하나이상을이용하여수신된데이터에대한무결성을검증하는무결성검증부; 를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用基于以太网的有线和无线车辆网络的混合容错系统和方法。 本发明的目的是提供一种应用于连接车辆的前后侧的有线骨干网络的系统，其经由无线网络连接前后侧而构成双工结构，因此 可以处理车辆中增加的数据，即使有线背骨网络发生故障，也可以通过无线网络连续发送数据，可以通过使用异或运算，投票技术，CRC校验等来验证接收数据的完整性 关于发送数据的链路的数量，从而确保数据传输期间的完整性和可靠性。 为此，根据本发明，使用基于以太网的有线和无线车辆网络的混合容错系统应用于连接前置交换机和后部交换机的有线骨干网络，并且通过连接被配置为双工结构 通过无线网络的车辆的前侧和后侧包括：链接号确定单元，其在通过有线链路同时发送数据时包括CRC值，其中前开关连接到后开关，以及 经由无线链路，确定已发送数据的链路的数量; 以及完整性验证单元，其基于已经发送的数据的链路的数量，使用XOR操作，投票技术和CRC校验中的至少一个来验证所接收的数据的完整性。
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公开(公告)号：KR1020130050535A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：KR1020110115655
申请日：2011-11-08
Applicant: 명지대학교 산학협력단
IPC: H01L21/66 , H01L21/302
CPC classification number: H01L22/26 , H01J37/32963 , H01L21/67028
Abstract: PURPOSE: A system and method for detecting a cleaning end point are provided to reduce time waste by applying accurate cleaning time. CONSTITUTION: A sensing unit(106) is connected to the outside of a chamber and senses light for a cleaning process. A detecting unit(108) is connected to the sensing unit and selects peak values related to byproducts and cleaning gases. The detecting unit detects a cleaning end point. [Reference numerals] (106) Sensing unit; (108) Detecting unit; (AA) Cleaning gas; (BB) Byproduct
Abstract translation: 目的：提供一种用于检测清洁终点的系统和方法，以通过应用精确的清洁时间来减少浪费时间。 构成：感测单元（106）连接到室的外部并感测清洁过程的光。 检测单元（108）连接到感测单元并选择与副产品和清洁气体相关的峰值。 检测单元检测清洁终点。 （附图标记）（106）感测单元; （108）检测单元; （AA）清洁气体; （BB）副产品
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公开(公告)号：KR1020110133758A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100053331
申请日：2010-06-07
Applicant: 명지대학교 산학협력단
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/32963 , G01J3/443
Abstract: PURPOSE: A plasma process diagnosing system, a method for detecting an end point in the same, and a device thereof are provided to detect an end point using a light division analyzing method, a concealing Markov model, and a Viterbi algorithm, thereby accurately detecting whether a plasma process is abnormal and accurately detecting a processing state. CONSTITUTION: A chamber(100) receives a holder(102). A layer made of SiO2 is formed on a wafer(104) arranged on the holder. A positive photo resist or a negative photo resist is formed on the layer. A photo resist layer has a fixed pattern. The photo resist layer is formed on the layer. A sensing unit(110) senses light which is generated during a reaction process.
Abstract translation: 目的：提供等离子体处理诊断系统，检测端点的方法及其装置，以使用光分割方法，隐马尔可夫模型和维特比算法来检测终点，由此精确检测 等离子体处理是否异常，并准确地检测处理状态。 构成：室（100）接收保持器（102）。 在设置在保持器上的晶片（104）上形成由SiO 2制成的层。 在该层上形成正光阻或负光刻胶。 光刻胶层具有固定图案。 在该层上形成光刻胶层。 感测单元（110）感测在反应过程中产生的光。
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公开(公告)号：KR100675741B1
公开(公告)日：2007-01-30
申请号：KR1020050000373
申请日：2005-01-04
Applicant: 명지대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 이동형 소프트웨어를 사용한 보호계전 제어시스템 및 방법에 관한 것으로서, 하나 이상의 보호 계전기와 중앙제어장치 사이에 각각 네트워크를 통해 연결되며 각 보호 계전기 내의 결함 검출을 위한 테스트 패턴을 생성하여 상기 하나 이상의 보호 계전기로 전송하고, 상기 테스트 패턴에 대한 각 보호 계전기에서의 응답신호를 수신하여 보호 계전기 내의 결함 및 통신 시스템 상의 오류를 검출하며, 상기 오류 검출결과로 건전한 보호 계전기의 리스트를 작성하여 중앙제어장치의 중앙 에이전트 관리부로 전송하는 보호계전기 결함 검출장치를 베이(bay)측 보호 계전기 영역에 구비하여, 보호 계전기의 하드웨어/소프트웨어 상의 결함 및 통신 시스템상의 결함까지 검출하여 전력계통에 대한 보호 계전 기능을 지속적으로 수행할 수 있도록 하면서 기능의 분산으로 인해 중앙 제어 장치의 작업 퍼포먼스를 향상시킬 수 있고, 또한 건전한 보호계전기에 대한 검색 리스트를 이용하여 관리자가 백업용 보호계전기의 개수를 임의로 지정할 수 있게 한다.
지능형 보호 장치, 전력계통, 네트워크, 에이전트, 보호 계전
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