公开(公告)号：KR100863976B1

公开(公告)日：2008-10-16

申请号：KR1020037013203

申请日：2002-03-29

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  네스리차드엠. ,  파틀로윌리엄엔. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  온켈스에케하드디. ,  오중훈

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/105 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/08063 ,  H01S3/08068 ,  H01S3/0943 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/104 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2325 ,  H01S3/2366

Abstract: 본 발명은 2개의 레이저 서브시스템을 가지고 있는 협대역 레이저 시스템을 제공한다. 제1 레이저 서브시스템(시드 레이저)은 협대역 펄싱된 출력 빔을 생성하도록 협대역 펄싱된 시드 빔이 증폭되는 제2 레이저 서브시스템(슬레이브 오실레이터 또는 전력 증폭기)을 주입 시딩하는데 사용되는 초협대역 펄싱된 출력 빔을 제공한다. 펄스 전원(펄스 전력)은 방전이 적합하게 동기화되도록 2개의 레이저 서브시스템내의 방전을 정밀하게 타이밍한다. 레이저 가스는 헬륨, 네온, 또는 이들의 조합으로 구성된 완충 가스를 갖는 약 1% 미만의 부분 압력에서 F
2 를 포함한다. 출력 빔의 센터 파장의 제어는 제1 레이저 서브시스템에서, 전체 레이저 가스 압력, 헬륨 또는 네온의 상대적 농도, F
2 부분 압력, 레이저 가스 온도, 방전 전압 및 펄스 에너지의 파라미터중 하나 이상을 조정함으로써 제공된다.
레이저 시스템, 협대역, 마스터 오실레이터, 레이저 가스 압력, Ｆ₂부분 압력, 레이저 가스 온도, 방전 전압, 펄스 에너지

公开(公告)号：KR1020030088128A

公开(公告)日：2003-11-17

申请号：KR1020037013203

申请日：2002-03-29

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  네스리차드엠. ,  파틀로윌리엄엔. ,  얼쇼프알렉산더아이. ,  온켈스에케하드디. ,  오중훈

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/105 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/08063 ,  H01S3/08068 ,  H01S3/0943 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/104 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2325 ,  H01S3/2366

Abstract: 본 발명은 2개의 레이저 서브시스템을 가지고 있는 협대역 레이저 시스템을 제공한다. 제1 레이저 서브시스템(시드 레이저)은 협대역 펄싱된 출력 빔을 생성하도록 협대역 펄싱된 시드 빔이 증폭되는 제2 레이저 서브시스템(슬레이브 오실레이터 또는 전력 증폭기)을 주입 시딩하는데 사용되는 초협대역 펄싱된 출력 빔을 제공한다. 펄스 전원(펄스 전력)은 방전이 적합하게 동기화되도록 2개의 레이저 서브시스템내의 방전을 정밀하게 타이밍한다. 레이저 가스는 헬륨, 네온, 또는 이들의 조합으로 구성된 완충 가스를 갖는 약 1% 미만의 부분 압력에서 F
2 를 포함한다. 출력 빔의 센터 파장의 제어는 제1 레이저 서브시스템에서, 전체 레이저 가스 압력, 헬륨 또는 네온의 상대적 농도, F
2 부분 압력, 레이저 가스 온도, 방전 전압 및 펄스 에너지의 파라미터중 하나 이상을 조정함으로써 제공된다.