公开(公告)号：KR1020050012235A

公开(公告)日：2005-01-31

申请号：KR1020047017911

申请日：2003-04-23

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  판샤오지양 ,  멜치올존티. ,  알고츠존엠. ,  볼매튜 ,  프로이로프블라디미르 ,  어쇼프알렉산더아이. ,  야거토마스 ,  질레스피에월터디. ,  루브린레오나드 ,  그라첼홀저케이. ,  파르틀로윌리암엔. ,  마쉬엘리자베쓰 ,  모톤리차드디. ,  우자즈도우키리차드씨. ,  와켄틴데이비드제이. ,  웹알키레.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/225 ,  G03F7/7055 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333

Abstract: 본 발명은 고 반복율 고전력 출력 빔(38)을 발생하는 모듈러, 고 반복율, 자외선 가스 방전 레이저 시스템(도 1)을 위한 수명이 긴 광학기구를 제공한다. 본 발명은 프로토타입 레이저 시스템의 출력 빔(14C)의 고 펄스 강도 섹션(10)(26)에 위치된 CaF
2 광학기구(4260)(422)(424)(426)상에서의 표면 손상 문제에 대해 본원인에 의해 발견된 해결책을 포함한다. 실시예는 수십억 출력 레이저 펄스(38)의 빔 운반을 위한 빔 포인팅 컨트롤(40A)(40B)(6)에 의한 인클로우징된(4) 및 퍼지된 빔 경로(14C)를 포함한다. 본원에 설명된 광학 컴포넌트 및 모듈은 수십억 펄스(14A)에 대해 3.5 x10
6 Watts/㎠ 이상의 피크 강도 및 1.75 x 10
6 Watts/㎠ 이상의평균 출력 펄스 강도로 200nm 이하의 파장을 갖춘 자외선 레이저 출력 펄스(14A)를 제어할 수 있는 데 이는 상기 펄스 강도에서 수분 후엔 고장나는 종래기술의 광학 컴포넌트 및 모듈과 비교된다.

公开(公告)号：KR101024559B1

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：KR1020047017911

申请日：2003-04-23

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  판샤오지양 ,  멜치올존티. ,  알고츠존엠. ,  볼매튜 ,  프로이로프블라디미르 ,  어쇼프알렉산더아이. ,  야거토마스 ,  질레스피에월터디. ,  루브린레오나드 ,  그라첼홀저케이. ,  파르틀로윌리암엔. ,  마쉬엘리자베쓰 ,  모톤리차드디. ,  우자즈도우키리차드씨. ,  와켄틴데이비드제이. ,  웹알키레.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/225 ,  G03F7/7055 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333

Abstract: 본 발명은 고 반복율 고전력 출력 빔(38)을 발생하는 모듈러, 고 반복율, 자외선 가스 방전 레이저 시스템(도 1)을 위한 수명이 긴 광학기구를 제공한다. 본 발명은 프로토타입 레이저 시스템의 출력 빔(14C)의 고 펄스 강도 섹션(10)(26)에 위치된 CaF
2 광학기구(4260)(422)(424)(426)상에서의 표면 손상 문제에 대해 본원인에 의해 발견된 해결책을 포함한다. 실시예는 수십억 출력 레이저 펄스(38)의 빔 운반을 위한 빔 포인팅 컨트롤(40A)(40B)(6)에 의한 인클로우징된(4) 및 퍼지된 빔 경로(14C)를 포함한다. 본원에 설명된 광학 컴포넌트 및 모듈은 수십억 펄스(14A)에 대해 3.5 x10
6 Watts/㎠ 이상의 피크 강도 및 1.75 x 10
6 Watts/㎠ 이상의평균 출력 펄스 강도로 200nm 이하의 파장을 갖춘 자외선 레이저 출력 펄스(14A)를 제어할 수 있는 데 이는 상기 펄스 강도에서 수분 후엔 고장나는 종래기술의 광학 컴포넌트 및 모듈과 비교된다.
파장, 펄스, 반복율, 자외선 가스 방전, 레이저, 빔, 퍼지