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公开(公告)号：KR100899424B1
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：KR1020070086144
申请日：2007-08-27
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 유기 전계 발광표시장치에 관한 것으로, 소자기판, 상기 소자기판 상에 형성되며 하부에 반사막을 포함하는 제1전극, 상기 제1전극 상에 형성되는 유기발광층, 상기 유기발광층 상에 형성되는 제2전극을 포함하는 유기 전계 발광소자; 및 상기 유기 전계 발광소자가 형성된 상기 소자기판의 전면에 형성되며, 상기 유기발광층과 대응되는 위치에 테이퍼진 패턴을 포함하는 발광 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치를 제공한다.
이러한, 상기 발광 보호막은 상기 유기발광층을 포함하는 유기 전계 발광소자를 외기로부터 보호함과 동시에 광을 외부로 집광함으로서 보다 양호한 광효율을 갖는 유기 전계 발광표시장치를 구현 할 수 있다.
발광 보호막, 광 효율-
公开(公告)号：KR100897176B1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：KR1020050066024
申请日：2005-07-20
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/321
Abstract: 본 발명은 유도 결합형 플라즈마 처리 장치에 대해 개시된다. 개시된 본 발명의 유도 결합형 플라즈마 처리 장치는 반응챔버와, 상기 반응챔버 내에 플라즈마 공간을 형성하고 그 내부에 피처리 기판을 지지하는 기판 홀더와, 상기 기판 홀더 측면에 구비되는 쉴드와, 상기 기판 하부의 소정영역에 형성되는 다수의 처리가스 유입구와, 상기 반응챔버의 하부 면에 설치된 고주파 전력이 인가되는 선형 안테나를 구비한다.
이에 따라, 플라즈마 밀도분포를 균일하게 발생시킬 수 있음으로써 대면적의 평판표시장치를 구현할 수 있다.
플라즈마 처리장치, 선형 안테나, 쉴드, 유입구-
公开(公告)号：KR1020090021547A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：KR1020070086144
申请日：2007-08-27
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/5253 , H01L27/3248 , H01L27/3262 , H01L51/5012 , H01L51/5203 , H01L2924/12044
Abstract: An organic electroluminescent display device is provided to improve photonic efficiency by forming an emission protective film including a tapered pattern on a front of an organic electroluminescent device. An organic electroluminescent display device comprises an organic electroluminescent device and an emission protective film(23). The organic electroluminescent device comprises a device substrate(10), a first electrode(20), an organic light emitting layer(21), and a second electrode(22). The first electrode is formed on the device substrate. A reflective film is formed on a bottom of the first electrode. The organic light emitting layer is formed on the first electrode. The second electrode is formed on the light emitting layer. An emission protective film is formed on a front of the device substrate, and includes a tapered pattern(23a). The tapered pattern is formed on a position corresponding to the organic light emitting layer. The emission protective film is made of one among SiNx, SiO2, and Al203.
Abstract translation: 提供一种有机电致发光显示装置，通过在有机电致发光器件的前面形成包括锥形图案的发射保护膜来提高光子效率。 有机电致发光显示装置包括有机电致发光器件和发射保护膜（23）。 有机电致发光器件包括器件衬底（10），第一电极（20），有机发光层（21）和第二电极（22）。 第一电极形成在器件衬底上。 反射膜形成在第一电极的底部上。 有机发光层形成在第一电极上。 第二电极形成在发光层上。 在器件基板的前面形成发光保护膜，并且包括锥形图案（23a）。 锥形图案形成在与有机发光层对应的位置上。 发射保护膜由SiNx，SiO2和Al2O3之一制成。
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公开(公告)号：KR1020070010989A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：KR1020050066024
申请日：2005-07-20
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/321
Abstract: An inductively coupled plasma processing apparatus is provided to fabricate a plasma apparatus suitable for surface treatment of a flat panel display with a large area by forming inflow holes of process gas in the lower center and the lateral surface of a reaction chamber and by symmetrically and uniformly generating a plasma density distribution in the center and the outside of the reaction chamber. A substrate holder forms a plasma space in a reaction chamber(10) and supports a processed substrate(130) in the space of the reaction chamber. A shield(140b) is installed on the lateral surface of the substrate holder. A plurality of process gas introducing holes(160a,160b) are formed in a predetermined region under the substrate. RF power(110,120) is applied to a linear antenna(191) installed in the lower surface of the reaction chamber. The linear antenna is greater than the substrate. The shield has a net structure or a structure in which holes are uniformly formed.
Abstract translation: 提供一种电感耦合等离子体处理装置，用于通过在反应室的下中心和侧表面形成工艺气体的流入孔并且对称均匀地制造适于对具有大面积的平板显示器进行表面处理的等离子体装置 在反应室的中心和外部产生等离子体密度分布。 衬底保持器在反应室（10）中形成等离子体空间，并且在反应室的空间中支撑经处理的衬底（130）。 屏蔽件（140b）安装在衬底保持器的侧表面上。 在基板下面的规定区域形成有多个处理气体导入孔（160a，160b）。 RF功率（110,120）被施加到安装在反应室的下表面中的线性天线（191）。 线性天线大于衬底。 屏蔽件具有均匀地形成孔的网状结构或结构。
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