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公开(公告)号：KR101097329B1
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020100002243
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/203
CPC classification number: C23C14/352 , H01J37/32449 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/345 , H01J37/347
Abstract: 본발명에관한스퍼터링장치는, 서로대향하도록배치되는제1 타겟및 제2 타겟과제1 타겟과제2 타겟의각각의후면에배치되어자기장을발생하는자기장발생부를구비하는제1 스퍼터장치와, 제1 타겟의측면과제2 타겟의측면에각각배치되며서로대향하도록배치되는제3 타겟및 제4 타겟과제3 타겟과제4 타겟의각각의후면에배치되어자기장을발생하는자기장발생부를구비하는제2 스퍼터장치와, 제1 타겟과제3 타겟의사이에서제2 타겟과제4 타겟을향하여가스를배출하는제1 가스공급관과, 제2 타겟과제4 타겟의사이에서제1 타겟과제3 타겟을향하여가스를배출하는제2 가스공급관과, 제1 증착기판을지지하며제1 타겟과제2 타겟의외측가장자리를향하여배치되는제1 기판지지부와, 제2 증착기판을지지하며제3 타겟과제4 타겟의외측가장자리를향하여배치되는제2 기판지지부를구비한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110082320A
公开(公告)日：2011-07-19
申请号：KR1020100002243
申请日：2010-01-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/203
CPC classification number: C23C14/352 , H01J37/32449 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/345 , H01J37/347
Abstract: PURPOSE: A sputtering device is provided to prevent high energy particles from colliding with a deposition substrate, thereby preventing damage of a thin film formed on a substrate. CONSTITUTION: A first sputter device(1) includes a first target(10), a second target(20), and a magnetic force generating unit(35). A second sputter device(2) includes a third target(30), a fourth target(40), and the magnetic force generating unit. A first gas supply pipe(50) discharges a gas toward the second target and the fourth target. A second gas supply pipe(60) discharges a gas toward the first target and the third target. A first substrate supporting unit(70) faces the outer edges of the first and second targets. A second substrate supporting unit(80) faces the outer edges of the third and fourth targets.
Abstract translation: 目的：提供溅射装置以防止高能粒子与沉积基板碰撞，从而防止在基板上形成的薄膜的损坏。 构成：第一溅射装置（1）包括第一靶（10），第二靶（20）和磁力产生单元（35）。 第二溅射装置（2）包括第三靶（30），第四靶（40）和磁力产生单元。 第一气体供给管（50）向第二靶和第四靶排出气体。 第二气体供给管（60）朝向第一靶和第三靶排出气体。 第一基板支撑单元（70）面向第一和第二目标的外边缘。 第二基板支撑单元（80）面向第三和第四目标的外边缘。
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公开(公告)号：KR1020110102686A
公开(公告)日：2011-09-19
申请号：KR1020100021835
申请日：2010-03-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C16/52 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/54 , C23C14/568 , C23C16/042 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: 본 발명은, 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치를 제공하기 위하여, 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 증착원 노즐들이 형성된 증착원 노즐부; 상기 증착원 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향을 따라 복수 개의 패터닝 슬릿들이 배치되는 패터닝 슬릿 시트; 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이에 상기 제1 방향을 따라 배치되어, 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 복수 개의 증착 공간들로 구획하는 복수 개의 차단판들을 구비하는 차단판 어셈블리; 상기 패터닝 슬릿 시트에 대한 상기 기판의 상대적인 위치를 검출하는 위치 검출 부재; 및 상기 위치 검출 부재에서 검출된 상기 상대적인 위치를 이용하여, 상기 기판에 대한 상기 패터닝 슬릿 시트의 상대적인 위치를 변화시키는 얼라인 제어 부재;를 포함하고, 상기 박막 증착 장치와 상기 기판이 서로 이격되도록 배치되며, 상기 박막 증착 장치와 상기 기판은 서로 상대적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR101156441B1
公开(公告)日：2012-06-18
申请号：KR1020100021835
申请日：2010-03-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C16/52 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/54 , C23C14/568 , C23C16/042 , H01L51/5253 , H01L51/56
Abstract: A thin film deposition apparatus includes: a deposition source that discharges a deposition material; a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source and including a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction; a patterning slit sheet disposed opposite to the deposition source nozzle unit and including a plurality of patterning slits arranged in the first direction; a position detection member that detects a relative position of the substrate to the patterning slit sheet; and an alignment control member that controls a relative position of the patterning slit sheet to the substrate by using the relative position of the substrate detected by the position detection member, wherein the thin film deposition apparatus and the substrate are separated from each other, and the thin film deposition apparatus and the substrate are moved relative to each other.
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公开(公告)号：KR1020090021547A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：KR1020070086144
申请日：2007-08-27
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/5253 , H01L27/3248 , H01L27/3262 , H01L51/5012 , H01L51/5203 , H01L2924/12044
Abstract: An organic electroluminescent display device is provided to improve photonic efficiency by forming an emission protective film including a tapered pattern on a front of an organic electroluminescent device. An organic electroluminescent display device comprises an organic electroluminescent device and an emission protective film(23). The organic electroluminescent device comprises a device substrate(10), a first electrode(20), an organic light emitting layer(21), and a second electrode(22). The first electrode is formed on the device substrate. A reflective film is formed on a bottom of the first electrode. The organic light emitting layer is formed on the first electrode. The second electrode is formed on the light emitting layer. An emission protective film is formed on a front of the device substrate, and includes a tapered pattern(23a). The tapered pattern is formed on a position corresponding to the organic light emitting layer. The emission protective film is made of one among SiNx, SiO2, and Al203.
Abstract translation: 提供一种有机电致发光显示装置，通过在有机电致发光器件的前面形成包括锥形图案的发射保护膜来提高光子效率。 有机电致发光显示装置包括有机电致发光器件和发射保护膜（23）。 有机电致发光器件包括器件衬底（10），第一电极（20），有机发光层（21）和第二电极（22）。 第一电极形成在器件衬底上。 反射膜形成在第一电极的底部上。 有机发光层形成在第一电极上。 第二电极形成在发光层上。 在器件基板的前面形成发光保护膜，并且包括锥形图案（23a）。 锥形图案形成在与有机发光层对应的位置上。 发射保护膜由SiNx，SiO2和Al2O3之一制成。
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公开(公告)号：KR100899424B1
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：KR1020070086144
申请日：2007-08-27
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 유기 전계 발광표시장치에 관한 것으로, 소자기판, 상기 소자기판 상에 형성되며 하부에 반사막을 포함하는 제1전극, 상기 제1전극 상에 형성되는 유기발광층, 상기 유기발광층 상에 형성되는 제2전극을 포함하는 유기 전계 발광소자; 및 상기 유기 전계 발광소자가 형성된 상기 소자기판의 전면에 형성되며, 상기 유기발광층과 대응되는 위치에 테이퍼진 패턴을 포함하는 발광 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치를 제공한다.
이러한, 상기 발광 보호막은 상기 유기발광층을 포함하는 유기 전계 발광소자를 외기로부터 보호함과 동시에 광을 외부로 집광함으로서 보다 양호한 광효율을 갖는 유기 전계 발광표시장치를 구현 할 수 있다.
발광 보호막, 광 효율
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