公开(公告)号：KR1020070021567A

公开(公告)日：2007-02-23

申请号：KR1020050075928

申请日：2005-08-18

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김성진 ,  안택 ,  서민철 ,  이신두

IPC: H01L29/786 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L51/0004 ,  H01L21/268 ,  H01L51/0545

Abstract: 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터의 제조 방법은 기판 위에 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 절연막, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 위에 감광성 절연막을 도포하는 단계, 상기 감광성 절연막 위에 소수성 절연막을 적층하는 단계, 광마스크를 통하여 상기 감광성 절연막에 레이저를 조사하는 단계, 상기 감광성 절연막을 현상하여 상기 감광성 절연막의 일부 및 그 위에 위치하는 상기 소수성 절연막 부분을 제거하여 개구부를 형성하는 단계, 상기 기판의 전면(全面)에 친수성 유기 반도체와 용매를 포함하는 용액을 도포하여 상기 소수성 절연막 표면을 제외한 상기 개구부 내에만 상기 용액을 남기는 단계, 그리고 상기 용매를 제거하는 단계를 포함한다.
표시 장치, OTFT, LCD, OLED, 친수성, 소수성

公开(公告)号：KR100953652B1

公开(公告)日：2010-04-20

申请号：KR1020050075928

申请日：2005-08-18

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사 ,  재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김성진 ,  안택 ,  서민철 ,  이신두

IPC: H01L29/786 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L51/0004 ,  H01L21/268 ,  H01L51/0545

Abstract: 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터의 제조 방법은 기판 위에 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 절연막, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 위에 감광성 절연막을 도포하는 단계, 상기 감광성 절연막 위에 소수성 절연막을 적층하는 단계, 광마스크를 통하여 상기 감광성 절연막에 레이저를 조사하는 단계, 상기 감광성 절연막을 현상하여 상기 감광성 절연막의 일부 및 그 위에 위치하는 상기 소수성 절연막 부분을 제거하여 개구부를 형성하는 단계, 상기 기판의 전면(全面)에 친수성 유기 반도체와 용매를 포함하는 용액을 도포하여 상기 소수성 절연막 표면을 제외한 상기 개구부 내에만 상기 용액을 남기는 단계, 그리고 상기 용매를 제거하는 단계를 포함한다.
표시 장치, OTFT, LCD, OLED, 친수성, 소수성

公开(公告)号：KR1020070041129A

公开(公告)日：2007-04-18

申请号：KR1020050096938

申请日：2005-10-14

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 안택 ,  서민철 ,  박진성 ,  모연곤

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명은 하부층의 손상이 방지되면서도 용이하게 패터닝된 게이트 전극을 구비하는 박막 트랜지스터 제조방법을 위하여, 기판 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계와, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극에 각각 접하도록 반도체층을 형성하는 단계와, 상기 반도체층 상에 절연막을 형성하는 단계와, 상기 절연막 상에 제 1 도전층을 형성하는 단계와, 상기 제 1 도전층에 레이저빔을 조사하여 게이트 전극으로 패터닝하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR101065312B1

公开(公告)日：2011-09-16

申请号：KR1020050090756

申请日：2005-09-28

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박진성 ,  안택 ,  서민철

IPC: H01L21/205

Abstract: 본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 플렉시블 평판 표시장치용 기판에 박막의 무기물 층을 연속적으로 형성할 수 있는 원자층 증착장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
이를 위하여, 본 발명은, 챔버 내로 서로 다른 적어도 2종류의 반응가스가 분사되고, 서로 분리되어 있는 적어도 두개의 반응챔버와, 상기 각 반응챔버들에 후속하여 위치하고, 상기 각 반응챔버들에 인접하며, 챔버 내로 불활성가스가 분사되며, 상기 반응챔버들과 분리되어 있는 적어도 두개의 퍼지챔버와, 플렉시블한 롤상의 기판을 상기 반응챔버들과 퍼지챔버들을 그 배치된 순서에 따라 순차로 통과시키도록 하는 기판 공급부를 포함하는 원자층 증착장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020060108943A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：KR1020050030707

申请日：2005-04-13

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 안택 ,  서민철 ,  모연곤

IPC: H01L29/786

CPC classification number: B23K26/0626 ,  B23K26/361 ,  H01L51/0014

Abstract: An etching method and a method for manufacturing a TFT using the same are provided to etch easily an upper layer without the damage of a lower layer by reducing gradually the intensity of a laser beam using an attenuator. An object is selectively etched by irradiating a laser beam many times. At this time, the intensity of the laser beam is gradually decreased. The laser beam is controlled by using an attenuator, wherein the attenuator is arranged on a path of the laser beam. The attenuator is used for attenuating the laser beam. The object is composed of a semiconductor layer. The semiconductor layer is made of an organic material.

Abstract translation: 提供了使用其制造TFT的TFT的蚀刻方法和方法，以便通过使用衰减器逐渐减小激光束的强度来容易地蚀刻上层而不损坏下层。 通过多次照射激光来选择性地蚀刻物体。 此时，激光束的强度逐渐降低。 通过使用衰减器来控制激光束，其中衰减器布置在激光束的路径上。 衰减器用于衰减激光束。 该目的由半导体层组成。 半导体层由有机材料制成。

公开(公告)号：KR1020060105958A

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：KR1020050027822

申请日：2005-04-02

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 안택 ,  서민철 ,  구재본

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L51/0017 ,  H01L51/0009 ,  H01L51/0512

Abstract: 본 발명은 용이하고 균일하게 반도체층을 패터닝하면서도 패터닝 단계에서 그 하부의 층이 손상되지 않도록 할 수 있는 박막 트랜지스터의 제조방법을 위하여, 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계와, 상기 게이트 전극을 덮도록 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트 절연막 상에 서로 이격된 소스 전극과 드레인 전극을 형성하는 단계와, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극에 접하도록 반도체층을 형성하는 단계, 그리고 마스크를 이용하여 상기 반도체층에 레이저 빔을 조사하여 상기 반도체층에 그루브를 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR101097304B1

公开(公告)日：2011-12-23

申请号：KR1020050035552

申请日：2005-04-28

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 서민철 ,  안택

IPC: H01L29/786

Abstract: 상기반도체층을형성하는것은기판상에유기반도체물질을형성하는단계와; 상기유기반도체물질을패터닝하여채널층을분리시켜주는단계와; 상기채널층분리를위한유기반도체물질의패터닝시에발생되는유기반도체파티클을진동시켜제거하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101127573B1

公开(公告)日：2012-03-23

申请号：KR1020050030709

申请日：2005-04-13

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 안택 ,  서민철 ,  구재본

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명은 박막 트랜지스터의 전극과 절연막 사이의 접합이 개선되면서도 전극 패터닝이 용이해진 박막 트랜지스터의 제조방법을 위하여, (i) 게이트 전극을 형성하는 단계와, (ii) 상기 게이트 전극을 덮도록 게이트 절연막을 형성하는 단계와, (iii) 상기 게이트 절연막 상에 접합층을 형성하는 단계와, (iv) 상기 접합층 상에 도전층을 형성하는 단계와, (v) 상기 도전층에 레이저 빔을 조사하여 상기 접합층과 상기 도전층을 동시에 식각함으로써 서로 이격된 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계와, (vi) 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극에 각각 접하는 반도체층을 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조방법 및 이에 의해 제조된 박막 트랜지스터를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020070035864A

公开(公告)日：2007-04-02

申请号：KR1020050090756

申请日：2005-09-28

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 박진성 ,  안택 ,  서민철

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/45574

Abstract: 본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 플렉시블 평판 표시장치용 기판에 박막의 무기물 층을 연속적으로 형성할 수 있는 원자층 증착장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
이를 위하여, 본 발명은, 챔버 내로 서로 다른 적어도 2종류의 반응가스가 분사되고, 서로 분리되어 있는 적어도 두개의 반응챔버와, 상기 각 반응챔버들에 후속하여 위치하고, 상기 각 반응챔버들에 인접하며, 챔버 내로 불활성가스가 분사되며, 상기 반응챔버들과 분리되어 있는 적어도 두개의 퍼지챔버와, 플렉시블한 롤상의 기판을 상기 반응챔버들과 퍼지챔버들을 그 배치된 순서에 따라 순차로 통과시키도록 하는 기판 공급부를 포함하는 원자층 증착장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020060112865A

公开(公告)日：2006-11-02

申请号：KR1020050035552

申请日：2005-04-28

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 서민철 ,  안택

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L51/0017 ,  H01L51/0009 ,  H01L51/0541

Abstract: A method for patterning an organic layer is provided to minimize surface contamination of an organic material by removing organic particles by an air pumping process and a vacuum absorption process while the organic material is patterned such that the organic particles are generated in patterning an organic material by a laser ablation process. An organic material is formed on a substrate(210). The organic material is patterned by a laser ablation process using pulse-type laser. The organic particles generated in patterning the organic material is vibrated and removed. The organic particles are vibrated by air pumping of a pulse type. The pulse period of the laser and the period of the air pumping are the same or different from each other.

Abstract translation: 提供了一种图案化有机层的方法，以通过空气泵送过程和真空吸收过程除去有机颗粒来最小化有机材料的表面污染，同时有机材料被图案化，使得有机颗粒在图案化有机材料中通过 激光烧蚀过程。 在基板（210）上形成有机材料。 通过使用脉冲型激光的激光烧蚀工艺对有机材料进行图案化。 在有机材料图案化中产生的有机颗粒被振动和去除。 有机颗粒通过脉冲式空气泵送而振动。 激光的脉冲周期和空气泵送的周期彼此相同或不同。