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公开(公告)号：KR1020150033416A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：KR1020130113407
申请日：2013-09-24
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: H01J37/317 , H01J37/26
Abstract: 본발명은집속이온빔 장치및 샘플제조방법에관한것으로, 샘플이내부에배치되는챔버; 상기챔버내부에배치되고, 상기샘플의표면에대하여수직으로배치되어상기샘플표면을밀링하여샘플홈을가공하는이온빔장치; 상기챔버내부에배치되고, 상기샘플홈의표면에흡착물질을주입하도록상기이온빔장치의일 방향에서예각을이루도록형성된노즐장치; 상기챔버내부에배치되고, 상기샘플홈의내부이미지를촬영하도록상기이온빔장치의타 방향에서예각을이루도록형성된전자현미경을포함하는 FIB 장치를제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及聚焦离子束（FIB）装置和制造样品的方法。 FIB装置包括放置样品的室; 布置在室中的离子束装置垂直于样品的表面，并通过研磨样品的表面来处理样品槽; 喷嘴装置，其布置在所述室中并且在所述离子束装置的一个方向上具有锐角，以将吸附材料注射到所述样品槽的表面; 以及电子显微镜，其布置在所述室中，并且在所述离子束装置的另一方向上具有锐角以拍摄所述样品槽的内部图像。
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公开(公告)号：KR1020140136316A
公开(公告)日：2014-11-28
申请号：KR1020130056685
申请日：2013-05-20
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 본 발명은 시료 제작 장치 및 그를 이용한 시료 제작 방법에 관한 것으로, 진공챔버; 상기 진공챔버 내의 동일 평면상에 위치하는 샘플 스테이지; 상기 샘플 스테이지 상의 샘플에 이온을 조사하여 템 분석을 위한 시료를 제작하는 이온총을 갖는 집속 이온 빔; 및 상기 샘플 스테이지 상의 샘플의 광 투과량을 이용하여 샘플의 두께를 산출하는 측정부를 포함하는 시료 제작 장치와 그 방법이 제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种样品制造装置和使用其的样品制造方法。 样品制造装置包括：真空室; 位于真空室内的同一平板内的样品台; 具有离子枪的聚焦离子束，其将离子辐射到样品台上的样品，以制造用于TEM分析的样品; 以及测量单元，其使用样品在样品台上的光透射量来计算样品的厚度。
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公开(公告)号：KR1020140144956A
公开(公告)日：2014-12-22
申请号：KR1020130067215
申请日：2013-06-12
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: G01N23/225
CPC classification number: H01J37/28 , G01N23/225 , H01J37/20 , H01J2237/202 , H01J2237/24507
Abstract: 본 발명은 시편의 결함검출장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 시편의 결함검출장치는 다수의 전자현미경 설비를 구축한 후 다수의 작업자를 배치하는데 따른 고비용, 저효율의 문제점 및 한 대의 설비를 통해서는 적은 수량의 시편을 측정할 수밖에 없었던 종래의 문제점을 해결하기 위하여 전자현미경이 설치된 진공상태의 메인 챔버에 제1,2 보조 챔버를 연결하여 샘플홀더가 자동으로 이송되고 측정되는 시스템을 구축함으로써, 한 대의 전자현미경으로 지속적인 진공상태에서 연속적인 시편의 결함을 관찰하거나 미세구조를 측정할 수 있다. 따라서 비용대비 효율의 향상효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于样本的缺陷检测装置。 用于样品的缺陷检测装置是通过建立多个电子显微镜和放置多个工作人员，并且通过一个设备仅测量少量待测量的样本来解决现有的高成本和低效率的问题。 因此，在本发明中，第一和第二子室与安装有电子显微镜的真空状态下的主室连接，从而可以自动传送和测量样品保持器。 因此，缺陷检测装置可以通过一个电子显微镜连续地观察缺陷或者在恒定的真空状态下测量样品的微观结构，从而提高与成本相比的效率。
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公开(公告)号：KR1020140081358A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020120151013
申请日：2012-12-21
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: G01N19/04 , G01N1/286 , G01N2203/0023 , G01N2203/0298
Abstract: A method for evaluating bonding strength, according to the present invention, includes a step for setting a micro-zone including a bonding boundary on a sample for evaluation; a step for forming a first groove having a predetermined depth around the micro-zone; a step for forming a second groove connected to the bonding boundary by processing the sides of the micro-zone; and a step for measuring a critical point where detachment of the micro-zone occurs by pressurizing the micro-zone.
Abstract translation: 根据本发明的评价接合强度的方法包括将用于评价的样品上的包含接合边界的微区设定的步骤; 用于形成具有围绕微区的预定深度的第一凹槽的步骤; 通过加工微区的侧面形成连接到接合边界的第二槽的步骤; 以及通过对微区进行加压来测量微区发生分离的临界点的步骤。
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公开(公告)号：KR1020140078215A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：KR1020120147311
申请日：2012-12-17
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/46 , C23C16/4488
Abstract: The present invention relates to a chemical vapor deposition device for accurate and precise deposition and a chemical vapor deposition method using the same. The chemical vapor deposition device according to the present invention comprises a reaction chamber; a heating part for heating the reaction chamber; a preliminary chamber coupled to one end of the reaction chamber; and a transfer part arranged in the preliminary chamber and transferring precursors to the reaction chamber.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于精确和精确沉积的化学气相沉积装置以及使用其的化学气相沉积方法。 根据本发明的化学气相沉积装置包括反应室; 用于加热反应室的加热部件; 耦合到反应室的一端的初级室; 以及设置在预备室中并将前体转移到反应室的转印部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150071330A
公开(公告)日：2015-06-26
申请号：KR1020130158223
申请日：2013-12-18
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: G01N23/225 , G01N21/88 , B23K15/08 , G01R31/26
CPC classification number: H01J37/28 , G01N23/2255 , G01N2223/418 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/30 , H01J2237/202
Abstract: 본발명은검사장치에관한것으로, 챔버; 상기챔버내부에배치되고, 샘플을고정하고이송하도록형성된스테이지; 상기챔버내부에배치되고, 상기샘플표면에이온빔을조사하여적어도 1개이상의샘플홈을형성하는이온빔장치; 상기이온빔장치의일측에형성되고, 상기샘플홈에대하여기울기를갖도록형성된전자현미경장치; 상기전자현미경장치의타측에형성되고, 상기샘플의내부를광원으로관찰하도록상기샘플상부에형성된광학장치를포함하는검사장치를제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种检查装置，包括：一个室; 设置在所述室内的阶段以固定和转移样品; 离子束装置，其设置在所述室内，以通过将离子束照射到所述样品的表面来形成一个或多个样品槽; 形成在离子束装置一侧的电子显微镜装置倾斜到样品槽; 以及形成在电子显微镜装置的另一侧并形成在样品顶部以允许通过光源观察样品内部的光学装置。
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公开(公告)号：KR1020140118573A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020130034744
申请日：2013-03-29
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: The present invention relates to a sample fixing clamp. The provided sample fixing clamp comprises: a first fixing member which is formed with a contact surface to contact one side surface of a sample and which includes a suspending end to be disposed on the lower end of the sample; a second fixing member having a resilient portion which is connected to the other surface to fix the sample; and an adjustment member which adjusts the distance between the first fixing member and the second fixing member.
Abstract translation: 本发明涉及样品固定夹具。 提供的样品固定夹具包括：第一固定构件，其形成有接触表面以接触样品的一个侧表面，并且包括待设置在样品的下端的悬挂端; 第二固定构件，具有连接到另一表面以固定样品的弹性部分; 以及调节构件，其调节第一固定构件和第二固定构件之间的距离。
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公开(公告)号：KR1020150058953A
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020130142344
申请日：2013-11-21
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 본발명에따르면, 상면에시편이절삭을위하여배치될수 있는샘플스테이지, 상기샘플스테이지상부에형성되며, 상기샘플스테이지상면에배치되는상기시편을절삭가능한절삭유닛, 및상기절삭유닛의하단부에결합되어, 상기절삭유닛이상기시편을절삭시상기시편을상기샘플스테이지상면에고정시킬수 있는고정부를포함하는것을특징으로하는시편절삭장치가제공된다.
Abstract translation: 根据本发明，本发明提供了一种切割试样的装置，包括：样品台，其中试样设置在待切割的上表面上; 切割单元，其形成在样品台的上部，并能够切割设置在样品台的上表面上的样品; 以及固定单元，其联接到所述切割单元的下端部，并且当所述切割单元切割所述样本时，将所述样本固定到所述样品台的上表面。
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公开(公告)号：KR1020150057466A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020130140862
申请日：2013-11-19
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: H05K1/09 , C23C14/185 , C23C14/34 , C23C14/5833 , C23F4/00 , C23F4/04 , H05K1/03 , H05K1/0306 , H05K3/027 , H05K3/06 , H05K3/16 , H05K3/388 , H05K2201/0391 , H05K2203/092
Abstract: 본발명은인쇄회로기판및 그제조방법을제공한다. 구체적으로는, 본발명의일 실시예에따른인쇄회로기판에있어서, 절연층및 상기절연층상에형성된금속층을포함하며, 상기금속층은 (110) 및 (112)의결정방위가차지하는면적의비율이 20 내지 80%인인쇄회로기판을제공한다. 이를통해, 전기전도도등의전기적특성을방해하는요인을최소화하고, 기계적물성의등방성 (isotropy)을향상시킬수 있는효과를가진서로다른결정방위를갖는금속층을포함하는인쇄회로기판및 그제조방법을제공하는것이다.
Abstract translation: 本发明提供一种印刷电路板及其制造方法。 具体地，根据本发明的实施例的印刷电路板包括绝缘层和形成在绝缘层上的金属层。 金属层具有不同的晶体取向，其中金属层中（110）和（112）的晶体取向的百分比在20％和80％之间，以使得干扰诸如特定导电性的电性能的元件最小化，并且改善 各向同性的机械性能。
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