公开(公告)号：KR102233575B1

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：KR1020140017578A

申请日：2014-02-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경선 ,  김은성 ,  남재우

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0274

Abstract: 미세 패턴 형성 방법에 있어서, 기판 상에 리세스를 포함하는 가이드 패턴을 형성한다. 가이드 패턴 상에 중성막을 형성한다. 중성막 상에 블록 공중합체를 사용하여 자기정렬 패턴들을 형성한다. 자기정렬 패턴들 중 일부를 제거한다. 중성막 상에 알코올계 용매에 용해된 포토레지스트 물질을 사용하여 잔류하는 자기정렬 패턴을 부분적으로 커버하는 포토레지스트 패턴을 형성한다. 포토레지스트 패턴 및 자기정렬 패턴을 식각 마스크로 사용하여 중성막 및 가이드 패턴을 부분적으로 식각한다. 포토레지스트 패턴 형성을 위해 알코올계 용매를 사용하므로, 자기정렬 패턴의 손상을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：WO2016027958A1

公开(公告)日：2016-02-25

申请号：PCT/KR2015/004090

申请日：2015-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  (주)엔디스

Inventor： 노희열 ,  권순범 ,  김경선 ,  김안 ,  김주호 ,  이범영 ,  정준성

IPC: G02F1/137 ,  G02F1/1334

CPC classification number: G02F1/1334 ,  G02F1/133377 ,  G02F1/1341 ,  G02F1/13718 ,  G02F2001/13345 ,  G02F2001/13775 ,  G02F2201/52 ,  G02F2202/023 ,  G02F2202/06

Abstract: 화소 별 동일 구동 전압을 가지는 디스플레이 장치 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다. 일 측면에 따른 디스플레이 장치는, 제 1 기판, 제 2 기판 및 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 배치되며, 복수개의 서브 셀을 가지는 액정층을 포함하고, 복수개의 서브 셀은, 콜레스테릭 액정과 콜레스테릭 액정의 나선 피치를 고정하도록 경화된 폴리머를 포함한다.

Abstract translation: 提供了具有与每个像素相同的工作电压的显示装置及其制造方法。 根据一个方面的显示装置包括：第一基板; 第二基板; 以及液晶层，其设置在第一基板和第二基板之间并且具有多个子单元，其中多个子单元包括硬化聚合物以确保胆甾醇型液晶并且胆甾型液晶的螺旋间距 。

公开(公告)号：KR101954749B1

公开(公告)日：2019-03-06

申请号：KR1020140038845

申请日：2014-04-01

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  (주)엔디스

Inventor： 노희열 ,  권순범 ,  김경선 ,  김주호 ,  다쓰히로오오쯔까 ,  이범영

IPC: F25D11/00 ,  F25D23/02 ,  F25D29/00

公开(公告)号：KR1020170091317A

公开(公告)日：2017-08-09

申请号：KR1020160012178

申请日：2016-02-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경선 ,  김현우 ,  나혜섭

IPC: H01L21/033 ,  G03F7/20 ,  H01L21/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/322 ,  C09D7/12

Abstract: 반도체장치의제조방법이제공된다. 반도체장치의제조방법은, 기판상에마스크층을형성하고, 상기마스크층상에친수성표면을가지고, 서로제1 간격으로이격된복수개의패턴을포함하는포토레지스트패턴을형성하고, 상기포토레지스트패턴을친수성도포액으로덮고, 상기포토레지스트패턴과상기도포액사이에서화학결합반응을일으켜, 상기포토레지스트패턴을컨포말하게덮는친수성부착막을형성하고, 상기포토레지스트패턴과상기부착막을통해, 상기마스크층을식각하여마스크패턴을형성하는것을포함한다.

Abstract translation: 提供了一种制造半导体器件的方法。 一种用于制造半导体器件的方法包括：在衬底上形成的掩模层，具有亲水性表面，以所述掩模层;以及形成光致抗蚀剂图案包括多个彼此并通过第一距离间隔图案，并且光致抗蚀剂图案 覆盖亲水性涂料液，通过使光致抗蚀剂图案和涂覆液之间的化学键合反应中，形成图像，以覆盖抗蚀剂图案，以共形的亲水性粘合膜，并且与光致抗蚀剂图案膜的密合性，掩模层 形成掩模图案。

公开(公告)号：KR1020160117818A

公开(公告)日：2016-10-11

申请号：KR1020150045423

申请日：2015-03-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박민주 ,  나혜섭 ,  윤효진 ,  김경선 ,  김수민 ,  김현우 ,  박수민 ,  한소라

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/033

CPC classification number: H01L21/0337 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/31144

Abstract: 반도체소자의제조방법이제공된다. 반도체소자의제조방법은하부막상에반사방지막을형성하는것; 상기반사방지막상에포토레지스트패턴들을형성하는것; 상기포토레지스트패턴들을각각덮는보호패턴들을형성하는것; 상기보호패턴들로덮인상기포토레지스트패턴들을식각마스크로이용하여상기반사방지막을식각함으로써반사방지패턴들을형성하는것; 상기반사방지패턴들의측벽들을덮는스페이서들을형성하는것; 및상기반사방지패턴들을제거하는것을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR101535227B1

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：KR1020080138549

申请日：2008-12-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤동기 ,  이시용 ,  오석환 ,  김경선 ,  김상욱 ,  박승학

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/405 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32139

Abstract: 블록공중합체를이용한미세패턴형성방법에관하여개시한다. 본발명에따른미세패턴형성방법에서는기판상에유기가이드층을형성한다. 유기가이드층을노출시키는복수의개구가형성된포토레지스트패턴을형성한다. 유기가이드층의노출부분과포토레지스트패턴위에블록공중합체를포함하는물질층을형성한다. 물질층의상분리를통해물질층의성분들을재배열시켜, 유기가이드층의노출부분과포토레지스트패턴위에서로다른성분의반복단위를가지는복수의제1 블록및 복수의제2 블록이각각교대로반복배치되어있는미세패턴층을형성한다.

公开(公告)号：KR1020140063366A

公开(公告)日：2014-05-27

申请号：KR1020130015898

申请日：2013-02-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송원형 ,  김경선 ,  김용진 ,  이재준 ,  강상석 ,  이정준

IPC: G11C5/02

CPC classification number: G11C5/04 ,  G11C7/10 ,  G11C8/12

Abstract: The present invention relates to a memory module. The memory module of the present invention comprises: a printed circuit board; first semiconductor packages provided on one surface of the printed circuit board; and second semiconductor packages provided on the other surface of the printed circuit board. The number of ranks formed by the first semiconductor packages is different from a number of ranks formed by the second semiconductor packages.

Abstract translation: 本发明涉及一种存储器模块。 本发明的存储器模块包括：印刷电路板; 设置在印刷电路板的一个表面上的第一半导体封装; 以及设置在印刷电路板的另一个表面上的第二半导体封装。 由第一半导体封装形成的等级的数量与由第二半导体封装形成的等级数不同。

公开(公告)号：KR101078323B1

公开(公告)日：2011-10-31

申请号：KR1020100062923

申请日：2010-06-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박세환 ,  서희 ,  김경선

IPC: H04M1/23 ,  H04B1/40 ,  G06F3/02 ,  G06F3/041

Abstract: 본발명은터치스크린을구비하는휴대용단말기에서문자입력시간을줄이기위한장치및 방법에관한것으로, 문자데이터입력을감지하여, 상기입력에상응하는동작을수행하도록처리하는터치센서와, 상기터치센서로입력되는터치정보를이용하여상기입력된터치의위치를측정하는좌표확인부와, 터치입력모드수행중 터치를감지할경우, 상기좌표확인부로부터제공받은터치입력이발생한위치를이용하여두 개이상의문자데이터를조합후, 상기조합한문자데이터를가 입력창에가 출력하도록처리하는제어부를포함하는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR100903969B1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020070057459

申请日：2007-06-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정선옥 ,  최상준 ,  류만형 ,  지성민 ,  하정환 ,  김경선 ,  김원선

IPC: C12Q1/68

CPC classification number: C12Q1/6834 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/00382 ,  B01J2219/00387 ,  B01J2219/00432 ,  B01J2219/00529 ,  B01J2219/00596 ,  B01J2219/00608 ,  B01J2219/00617 ,  B01J2219/00621 ,  B01J2219/00626 ,  B01J2219/00637 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00662 ,  B01J2219/00711 ,  B01J2219/00722 ,  B01L3/5027 ,  B01L3/502707 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0867 ,  B82Y30/00 ,  C40B50/18 ,  C40B60/08

Abstract: 생산성이 향상된 마이크로 어레이, 마이크로 어레이용 기판 및 이들의 제조 방법이 제공된다. 마이크로 어레이는 제1 영역과 제2 영역으로 구분되는 기판, 하기 화학식 1 또는 하기 화학식 2로 표시되는 다수의 링커로서 제1 영역의 기판에 직접 커플링되며 제2 영역의 기판에는 커플링되지 않는 다수의 링커 및 각 링커에 커플링되어 있는 프로브를 포함한다.

(단, 상기 X는 상기 기판과 커플링되는 사이트이고, 상기 R은 히드록시기, 알데히드기, 카르복실기, 아미노기, 아미드기, 티올기, 할로기, 에폭시기 또는 술포네이트기이고, 상기 m은 3 내지 10인 정수이고, 상기 p는 1 내지 30인 정수이고, 상기 q는 1 내지 15인 정수이다.)
마이크로 어레이, 알켄 화합물, 링커, 광반응

公开(公告)号：KR1020090012582A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：KR1020070076518

申请日：2007-07-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 지성민 ,  류만형 ,  하정환 ,  김경선 ,  김원선 ,  정선옥

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/00484 ,  B01J2219/00493 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00529 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  H01L21/67126

Abstract: An apparatus for synthesizing polymer on a substrate and a method of synthesizing polymer are provided to enhance the reaction yield of the coupling material and monomer by improving the contact relation between the sample for a substrate and the bio polymer synthesis. An apparatus for synthesizing polymer comprises a reaction chamber(100), a shaking apparatus(200), a fluid supply tube and a fluid exhaust pipe. The reaction chamber includes a chamber body and a chamber cover. The chamber body supports the substrate. The chamber cover is contacted with the border of substrate. The shaking apparatus comprises a driving shaft and a servo motor. The driving shaft is connected to the reaction chamber. The servo motor runs the driving shaft. The fluid supply tube supplies the sample for the bio polymer synthesis and inert gas to the reaction chamber.

Abstract translation: 提供了一种用于在基材上合成聚合物的装置和聚合物的合成方法，以通过改进基材样品与生物聚合物合成之间的接触关系来提高偶联材料和单体的反应产率。 合成聚合物的装置包括反应室（100），摇动装置（200），流体供应管和流体排出管。 反应室包括室主体和室盖。 腔体支撑衬底。 室盖与基板的边界接触。 摇动装置包括驱动轴和伺服电动机。 驱动轴连接到反应室。 伺服电机运行驱动轴。 流体供应管将用于生物聚合物合成的样品和惰性气体供应到反应室。