웨이퍼 캐리어
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102249316B1

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:KR1020140106985

    申请日:2014-08-18

    Abstract: 웨이퍼캐리어가제공된다. 상기웨이퍼캐리어는, 웨이퍼를수납하고, 순서대로적층된제1 및제2 층을포함하는바디부, 바디부상에장착되는덮개, 덮개상에장착된제1 에어필터및 바디부의측면에장착된제2 에어필터를포함하되, 제2 층은제1 층과웨이퍼사이에배치되고, 웨이퍼와마주보는제2 층의일면은대전방지처리가된다.

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