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公开(公告)号：KR100846635B1
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：KR1020070029168
申请日：2007-03-26
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01J37/21 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/216
Abstract: A method for adjusting a focal point of a scanning electron microscope is provided to accurately detect a size of a pattern formed on a subject by obtaining an accurate image of the subject. A scanning electron microscope includes a stage(10) for a subject(30), an inspection member, and an auto-focusing member. The inspection member includes a lens assembly(22), a detector(24), and an ADC(Analog Digital Converter)(26). The lens assembly includes an electron gun, a focusing lens, a deflection coil, an objective lens, and an auxiliary coil. The detector detects secondary electrons, which are generated by a surface reaction due to accelerated electrons on a surface of the subject. The ADC converts the signal from the detector into a digital signal.
Abstract translation: 提供了一种用于调整扫描电子显微镜的焦点的方法，通过获得对象的准确图像来精确地检测形成在被摄体上的图案的尺寸。 扫描电子显微镜包括用于被检体（30）的台（10），检查部件和自动聚焦部件。 检查构件包括透镜组件（22），检测器（24）和ADC（模数转换器）（26）。 透镜组件包括电子枪，聚焦透镜，偏转线圈，物镜和辅助线圈。 检测器检测由于受试者表面上的加速电子而由表面反应产生的二次电子。 ADC将来自检测器的信号转换为数字信号。
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公开(公告)号：KR1020070000066A
公开(公告)日：2007-01-02
申请号：KR1020050055506
申请日：2005-06-27
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A semiconductor substrate input/output apparatus and semiconductor substrate processing equipment with the same are provided to treat a semiconductor substrate without substrate transfer accidents by using an aligner capable of emitting a visual signal. A semiconductor substrate input/output apparatus includes a port stage, an input/output shutter, and aligner. The port stage is used for receiving a container with semiconductor substrates from a transfer capable of moving along a ceiling path of a clean room and transferring the container to the transfer. The input/output shutter(135) is installed between the port stage and a bit of semiconductor substrate processing equipment in order to load/unload the semiconductor substrates of the container to/from the equipment. The aligner(141,142) is installed over the port stage in order to align the container and the transfer in position. The aligner is capable of emit a visual signal.
Abstract translation: 提供了一种半导体衬底输入/输出装置及其半导体衬底处理设备，以通过使用能够发出视觉信号的对准器来处理半导体衬底而没有衬底转移事故。 半导体衬底输入/输出设备包括端口级，输入/输出快门和对准器。 端口台用于从能够沿着洁净室的天花板路径移动的传送装置接收具有半导体基板的容器，并将容器转移到传送。 输入/输出快门（135）安装在端口级和一点半导体衬底处理设备之间，以便将/将容器的半导体衬底装载/卸载到设备中。 对准器（141,142）安装在端口台上，以便将容器和传送件对准就位。 对准器能够发出视觉信号。
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公开(公告)号：KR100459874B1
公开(公告)日：2004-12-03
申请号：KR1020020087954
申请日：2002-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A holder for supporting a semiconductor substrate is provided to remarkably reduce contaminants of a semiconductor substrate and greatly decrease defects by reducing resistance of air in loading the semiconductor substrate and by decreasing particles and abrasion caused by friction of the semiconductor substrate. CONSTITUTION: Through holes(130,132) through which a lifting plate for transferring a semiconductor upward and downward passes are formed in a disc(110). The semiconductor substrate transferred by the lifting plate is placed on the disc. A guide(120) extends upward from the edge of the disc, guiding the semiconductor substrate to the center of the disc while the semiconductor substrate is loaded into the upper surface of the disc and including an opening for reducing the resistance of air between the semiconductor substrate and the disc. A coating layer(150) made of Teflon resin is formed on the inner side surface of the guide and on the upper surface of the disc so as to reduce the friction between the semiconductor substrate and the guide and to prevent static electricity from being generated between the disc and the substrate while the substrate is loaded into the upper surface of the disc.
Abstract translation: 目的：提供一种用于支撑半导体衬底的支架，以显着地减少半导体衬底的污染物，并且通过降低装载半导体衬底时的空气阻力并减少由半导体衬底的摩擦引起的微粒和磨损而大大减少缺陷。 构成：在盘（110）上形成通孔（130,132），用于向上和向下传递半导体的升降板通过所述通孔（130,132）形成。 由升降板转移的半导体衬底放置在盘上。 一个导向器（120）从盘的边缘向上延伸，将半导体衬底引导到盘的中心，同时将半导体衬底装载到盘的上表面中并且包括用于减小半导体之间的空气电阻的开口 基板和光盘。 由聚四氟乙烯树脂制成的涂层（150）形成在导轨的内侧表面和盘的上表面上，以减少半导体基板和导轨之间的摩擦，并防止在两者之间产生静电 当衬底被装入盘的上表面时，盘和衬底。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100224753B1
公开(公告)日：1999-10-15
申请号：KR1019970034723
申请日：1997-07-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박영헌
Abstract: 본 발명은 실시간 정보처리를 위한 주제어프로세서와 정보저장기 사이의 고속 비동기 직렬통신회로를 제공한다. 본 발명의 I/0 디코더(10)는 어드레스를 디코딩한다. 데이터버스(120)는 버스를 통해 입력되는 데이터를 임시 저장한다. 또한, 송신용 선입선출메모리(FIFO)(20)는 주제어프로세서의 버스에 연결되어, 데이터버퍼(120)에 대해서 데이터를 송신한다. 병렬/직렬쉬프트 레지스터(30)는 송신용 FIFO로부터 출력되는 병렬데이터를 비트열로 바꾸어 출력한다. 파형정형기(40)는 비트열을 리턴-투-제로(RZ)방식에 맞추어 출력한다. 파형정형기의 출력은 전송드라이버(50)를 통하여 전송된다. 전송드라이버(50)로부터 전송된 데이터는 수신용 리시버(60)에서 수신된다. 비트검출기(70)는 수신용 리시버(60)를 통해 입력되는 비트열에서 각 비트를 구분하여 병렬데이터로 만들기 위해 비트를 검출한다. 직렬/병렬쉬프트레지스터(80)는 비트검출기의 출력을 직렬/병렬변환하여 출력한다. 수신용 FIFO(90)는 직렬/병렬쉬프트레지스터(80)로부터 1워드씩 저장한다. 워드검출/계수기(150)는 비트검출기(70)의 출력을 받아 워드검출 및 계수하여 수신용 FIFO의 쓰기클럭을 제어할 뿐만 아니라 1회분의 데이터가 모두 수신되었음을 검출하면 주제어프로세서로 인터럽트를 요구한다. 이로써 FIFO메모리와 근거리통신이 가능하도록 RS-422A방식의 라인인터페이스를 사용하여 대용량의 데이터를 실시간 처리한다.
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公开(公告)号：KR1019970066992A
公开(公告)日：1997-10-13
申请号：KR1019960007742
申请日：1996-03-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06T5/40
Abstract: 흑백 영상 신호를 직접 평활화하지 않고 팔레트 정보를 변화시킴으로써 고속 처리를 가능하게 하는 물체 강조 방법이 개시된다.
본 발명에 따른 흑백 영상의 물체 강조 방법은 흑백 영상 신호를 그의 크기를 인덱스로 크기에 대비한 칼라값을 가지는 팔레트를 참조하여 칼라 신호를 변환시켜 출력하는 모조 칼라 변환 방법에서 물체를 배경과 분리하여 강조하는 있어서, 흑백 영상 신호의 히스토그램을 작성하는 과정; 상기 히스토그램 작성 과정에서 결과된 히스토그램으로부터 배경 영상에 상응하는 문턱값을 설정하는 과정; 상기 문턱값 설정 과정에서 설정된 문턱값 이하의 값을 일률적으로 소정의 값으로 설정하고, 그에 의해 결과된 히스토그램을 평활화하는 과정; 상기 평활화하는 과정에서 결과된 평활화된 히스토그램을 근거하여 팔레트의 칼라 값을 변화시키는 과정; 및 흑백 영상 신호의 크기를 인덱스로 변화된 팔레트를 참조하여 모조 칼라 신호를 발생하는 과정을 포함함을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 물체 강조 방법에서는 처음 입력되는 흑백 영상 신호에 의해 히스토그램 평활화된 결과로 팔레트의 칼라 값을 변화시키고 이를 이용하여 흑백 영상 신호에 대한 모조 칼라 변환을 수행하게 함으로써 실시간으로 모조 칼라 변환을 수행하게 하는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR1020040061669A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：KR1020020087954
申请日：2002-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A holder for supporting a semiconductor substrate is provided to remarkably reduce contaminants of a semiconductor substrate and greatly decrease defects by reducing resistance of air in loading the semiconductor substrate and by decreasing particles and abrasion caused by friction of the semiconductor substrate. CONSTITUTION: Through holes(130,132) through which a lifting plate for transferring a semiconductor upward and downward passes are formed in a disc(110). The semiconductor substrate transferred by the lifting plate is placed on the disc. A guide(120) extends upward from the edge of the disc, guiding the semiconductor substrate to the center of the disc while the semiconductor substrate is loaded into the upper surface of the disc and including an opening for reducing the resistance of air between the semiconductor substrate and the disc. A coating layer(150) made of Teflon resin is formed on the inner side surface of the guide and on the upper surface of the disc so as to reduce the friction between the semiconductor substrate and the guide and to prevent static electricity from being generated between the disc and the substrate while the substrate is loaded into the upper surface of the disc.
Abstract translation: 目的：提供用于支撑半导体衬底的保持器，以显着减少半导体衬底的污染物，并且通过降低负载半导体衬底中的空气的阻力并减少由半导体衬底的摩擦引起的颗粒和磨损而大大减少缺陷。 构成：在盘（110）中形成有用于将半导体向上和向下传送的提升板通过的通孔（130,132）。 由提升板转移的半导体衬底放置在盘上。 引导件（120）从盘的边缘向上延伸，将半导体衬底引导到盘的中心，同时将半导体衬底加载到盘的上表面中，并且包括用于降低半导体之间的空气电阻的开口 底物和盘片。 在引导件的内侧表面和盘的上表面上形成由Teflon树脂制成的涂层（150），以便减小半导体衬底和引导件之间的摩擦，并且防止在两个衬底和引导件之间产生静电 盘和衬底，同时将衬底装入盘的上表面。
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公开(公告)号：KR1019990011584A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970034723
申请日：1997-07-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박영헌
Abstract: 본 발명은 실시간 정보처리를 위한 주제어프로세서와 정보저장기 사이의 고속 비동기 직렬통신회로를 제공한다. 본 발명의 I/0 디코더(10)는 어드레스를 디코딩한다. 데이터버스(120)는 버스를 통해 입력되는 데이터를 임시 저장한다. 또한, 송신용 선입선출메모리(FIFO)(20)는 주제어프로세서의 버스에 연결되어, 데이터버퍼(120)에 대해서 데이터를 송신한다. 병렬/직렬쉬프트 레지스터(30)는 송신용 FIFO로부터 출력되는 병렬데이터를 비트열로 바꾸어 출력한다. 파형정형기(40)는 비트열을 리턴-투-제로(RZ)방식에 맞추어 출력한다. 파형정형기의 출력은 전송드라이버(50)를 통하여 전송된다. 전송드라이버(50)로부터 전송된 데이터는 수신용 리시버(60)에서 수신된다. 비트검출기(70)는 수신용 리시버(60)를 통해 입력되는 비트열에서 각 비트를 구분하여 병렬데이터로 만들기 위해 비트를 검출한다. 직렬/병렬쉬프트레지스터(80)는 비트검출기의 출력을 직렬/병렬변환하여 출력한다. 수신용 FIFO(90)는 직렬/병렬쉬프트레지스터(80)로부터 1워드씩 저장한다. 워드검출/계수기(150)는 비트검출기(70)의 출력을 받아 워드검출 및 계수하여 수신용 FIFO의 쓰기클럭을 제어할 뿐만 아니라 1회분의 데이터가 모두 수신되었음을 검출하면 주제어프로세서로 인터럽트를 요구한다. 이로써 FIFO메모리와 근거리통신이 가능하도록 RS-422A방식의 라인인터페이스를 사용하여 대용량의 데이터를 실시간 처리한다.
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