公开(公告)号：KR1020160137836A

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：KR1020150071872

申请日：2015-05-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 백동석 ,  신진 ,  김성만

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67288 ,  B24B49/12 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0636 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/681

Abstract: 본발명의일 실시예에따른기판처리장치는, 기판이로딩되는지지부, 상기기판으로광을입사시켜이미지정보를획득하고, 상기이미지정보로부터상기기판의이상여부를감지하는광 측정부, 상기지지부및 상기광 측정부를제어하고, 상기광 측정부로부터전송받은상기이미지정보를처리하는제어부를포함하되, 상기제어부는, 상기이미지정보로부터이상신호가검출되면상기기판에진행되는공정을중단하는인터락(interlock)을발생시키는인터락제어부를포함한다.

Abstract translation: 根据本发明的示例性实施例的基板处理装置包括：载体，其上装载有基板的支撑单元，基于基板的光学测量单元向基板提供光以获得图像数据并检查基板是否异常，基于 所述图像数据以及控制所述支持单元和所述光学测量单元的控制单元。 控制单元处理从光学测量单元发送的图像数据。 如果从图像数据检测到异常信号，则控制单元包括互锁控制部分，执行互锁操作中断在基板上执行的处理。

公开(公告)号：KR1020160062510A

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：KR1020140165342

申请日：2014-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 류승민 ,  정보경 ,  최광혁 ,  이남훈 ,  이종현 ,  신진 ,  여경민 ,  오종한

IPC: H01L51/56

CPC classification number: H01L51/0011 ,  C23C14/042 ,  C23C14/50 ,  C23C14/54 ,  C23C14/12 ,  C23C14/548

Abstract: 유기막증착장치가제공된다. 상기유기막증착장치는, 기판상에유기층을형성하기위한유기층증착장치에있어서, 기판의형상을측정하는형상측정센서부, 기판을제1 방향으로이송하는캐리어, 기판으로증착물질을방사하는증착원, 기판과증착원사이에배치되고, 제1 방향과교차하는제2 방향으로배열된복수개의패턴슬릿을포함하는마스크, 기판과마스크사이의정렬오차를측정하고, 캐리어의제2 방향의진직도를측정하는카메라, 기판과마스크사이의정렬오차를측정하고, 캐리어의제1 및제2 방향과교차하는제3 방향의진직도를측정하는거리측정센서부및 측정된기판의형상및 측정된기판과마스크사이의정렬오차를토대로마스크의위치를제어하는마스크스테이지를포함하되, 증착원에의한증착공정은기판이캐리어에의해제1 방향으로이송되어마스크와거리측정센서부사이를통과할때 수행된다.

Abstract translation: 提供了一种用于沉积有机层的设备。 用于在基板上沉积用于形成有机层的有机层的装置包括测量基板的形状的形状测量传感器单元，沿第一方向传送基板的载体，将沉积材料分配到基板的沉积源， 设置在基板和沉积源之间的掩模，并且具有沿与第一方向相交的第二方向布置的多个图案狭缝，测量基板和掩模之间的对准误差的相机，以及测量载体的第二方向上的平直度 测量基板和掩模之间的对准误差的距离测量传感器单元，以及测量与载体的第一和第二方向相交的第三方向上的平直度;以及掩模台，其基于测量的形状 衬底和衬底与掩模之间的对准误差。 当基板在第一方向上被载体转移时通过沉积源进行沉积处理，以通过掩模和距离测量传感器单元之间。