기판 처리 장치
    1.
    发明公开
    기판 처리 장치 审中-实审
    基板处理设备

    公开(公告)号:KR1020170040841A

    公开(公告)日:2017-04-14

    申请号:KR1020150139727

    申请日:2015-10-05

    Abstract: 본발명은기판처리장치에관한것으로, 내부에기판을처리하는공간을제공하는챔버, 상기챔버내에배치되고, 기판을지지하는지지부재; 및상기기판을가열하는가열부재를포함하고, 상기처리공간은상기지지부재에의해상부공간과하부공간으로분리되되, 상기지지부재는상기기판을수납하는지지플레이트, 상기지지플레이트를지지하며그의하면을노출하는베이스, 상기베이스는가장자리부분에형성된절개부를포함하고및 상기절개부내에삽입되어상기베이스에결합되는조절블록을포함하고, 상기절개부는상기상부공간과상기하부공간을연결시키는통풍구를정의하되, 상기통풍구는상기조절블록에의해복수개로형성되는기판처리장치를제공한다.

    Abstract translation: 衬底处理设备技术领域本发明涉及一种衬底处理设备,包括:用于在其中提供用于处理衬底的空间的腔室;设置在腔室中并支撑衬底的支撑构件; 以及用于加热所述基板的加热构件,其中所述处理空间通过所述支撑构件被分成上部空间和下部空间,所述支撑构件包括:用于接收所述基板的支撑板; 其中基座包括形成在边缘部分中的切口和插入切口中以与基座联接的调节块,切口限定用于连接上部空间和下部空间的通风口, 其中多个通气孔由调节块形成。

    유체 동압 베어링 및 이를 채용한 하드 디스크 드라이브
    2.
    发明公开
    유체 동압 베어링 및 이를 채용한 하드 디스크 드라이브 失效
    HYDRO动态轴承和硬盘驱动器使用相同

    公开(公告)号:KR1020060039716A

    公开(公告)日:2006-05-09

    申请号:KR1020040088915

    申请日:2004-11-03

    CPC classification number: G11B19/2018 F16C17/045 F16C33/107 F16C2370/12

    Abstract: A fluid dynamic bearing is constructed to support stably a rotating body to which a non-uniform force is applied, and a hard disk drive (HDD) employing the fluid dynamic bearing is provided. The fluid dynamic bearing includes a journal bearing part supporting a rotary shaft in a radial direction of the rotary shaft, a thrust part formed at one end of the rotary shaft, a thrust bearing part facing the thrust part and supporting the rotary shaft in a longitudinal direction of the rotary shaft, and a plurality of grooves formed on a surface of the thrust bearing part and/or the thrust part. The plurality of grooves include a first groove group including a plurality of grooves having the same shape and arrangement, and a second groove group adjacent to the first groove group and including at least one groove asymmetric with respect to the grooves of the first groove group.

    목표 트랙 변경을 통한 언래치 방법 및 그 장치
    4.
    发明授权
    목표 트랙 변경을 통한 언래치 방법 및 그 장치 失效
    목표트랙변경을통언언언래치방법및그장치

    公开(公告)号:KR100652438B1

    公开(公告)日:2006-12-01

    申请号:KR1020050096955

    申请日:2005-10-14

    Inventor: 이남훈

    Abstract: An unlatch method through the change of a target track and an apparatus therefor are provided to enhance a successful rate of unlatch and prevent the failure of the entire unlatch caused by the defect of servo write and servo copy. A memory(200) stores unlatch target track information for unlatch. An unlatch executing unit(210) controls an HDA(Head Disc Assembly)(220), moves a head of a latch state to an unlatch target track stored in the memory(200), and attempts to execute the unlatch. If a servo signal read error is generated in the unlatch target track, a track changing unit(230) changes the unlatch target track to certain another track, stores changed unlatch target track information in the memory(200), and transmits the changed unlatch target track information to the unlatch executing unit(210).

    Abstract translation: 通过改变目标轨道及其装置的解锁方法被提供来增强解锁的成功率并防止由伺服写入和伺服复制的缺陷引起的整个解锁失败。 存储器(200)存储用于解锁的解锁目标轨道信息。 解锁执行单元(210)控制HDA(头盘组件)(220),将锁存状态的头移动到存储在存储器(200)中的解锁目标轨道,并尝试执行解锁。 如果在解锁目标轨道中产生伺服信号读取错误,则轨道改变单元(230)将解锁目标轨道改变为确定的另一轨道,将改变的解锁目标轨道信息存储在存储器(200)中,并将改变的解锁目标 追踪信息给解锁执行单元(210)。

    롤투롤 인쇄 시스템
    5.
    发明授权
    롤투롤 인쇄 시스템 有权
    卷对卷打印系统

    公开(公告)号:KR101788171B1

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:KR1020110081369

    申请日:2011-08-16

    Abstract: 롤투롤인쇄시스템에서유연기판의장력제어를위해기존에사용하던로드셀이나댄서대신닙 롤구동모터의토크값을이용함으로써, 액정과같은낮은점성의액체를사용한공정이후에도액체의흐름현상없이유연기판을이송시킬수 있는롤투롤인쇄시스템을제안한다. 유연기판이언와인더에서리와인더로이송되도록유연기판에동력을전달하는드리븐롤; 드리븐롤의양단부위에장착되어유연기판의양단부를가압하는한 쌍의닙 롤; 닙롤을회전구동하기위해닙 롤에연결설치되는닙 롤구동모터; 닙롤 구동모터의토크값의변화정보를수신하고, 상기토크값의변화정보를이용하여상기유연기판의장력을제어하는제어장치를포함함으로써, 액체도포공정이후에액체의흐름현상및 공정면의훼손없이유연기판을이송시킬수 있다.

    Abstract translation: 通过使用夹辊驱动马达的转矩值来代替传统的测力传感器或跳动器来控制卷对卷印刷系统中的柔性基板的张力,即使在使用诸如液晶的低粘性液体的处理之后, 我们提出一种可以喂纸的卷对卷打印系统。 将动力传递到所述柔性基板以从所述柔性基板卷绕机传递到所述回卷器的从动辊; 一对夹辊,安装在从动辊的两端以按压柔性衬底的两端; 一个与夹辊连接的夹辊驱动马达,用于旋转驱动夹辊; 本发明提供一种控制装置,该控制装置用于接收夹辊式驱动马达的转矩值的变化信息,并利用该转矩值的变化信息来控制柔性基板的张力, 这样可以运输柔性衬底。

    하드디스크 드라이브, 하드디스크 드라이브의 자기헤드파킹 방법 및 그 방법을 수행하는 컴퓨터 프로그램을기록한 기록매체
    6.
    发明公开
    하드디스크 드라이브, 하드디스크 드라이브의 자기헤드파킹 방법 및 그 방법을 수행하는 컴퓨터 프로그램을기록한 기록매체 无效
    硬盘驱动器,用于停放硬盘驱动器磁头的方法,以及用于其计算机程序的记录介质

    公开(公告)号:KR1020070076256A

    公开(公告)日:2007-07-24

    申请号:KR1020060005421

    申请日:2006-01-18

    Inventor: 이남훈 김재형

    Abstract: A hard disc drive, a method for parking a magnetic head of the hard disc drive, and a recording medium storing a program for performing the method are provided to prevent a magnetic head from being damaged due to impact applied to the magnetic head through supply of an excessive parking current. It is determined whether a speed of a magnetic head is zero when the magnetic head is parked in a parking zone of a disc by driving of a VCM(Voice Coil Motor), to which a parking signal is applied(S19). If the speed of the magnetic head is zero, it is checked whether the magnetic head is normally parked in the parking zone(S20). The checking work is performed by compulsorily supplying a parking current of a predetermined value to the VCM.

    Abstract translation: 提供硬盘驱动器,用于停放硬盘驱动器的磁头的方法以及存储用于执行该方法的程序的记录介质,以防止磁头由于通过供应磁头而受到冲击而被损坏 停车电流过大。 通过驱动停放信号的VCM(音圈线圈电动机)来确定磁头是否停在磁盘的停车区域中磁头的速度是否为零(S19)。 如果磁头的速度为零,则检查磁头是否正常停放在停车区(S20)。 通过强制地向VCM提供预定值的停车电流来执行检查工作。

    인쇄판 세정 장치 및 이를 포함하는 인쇄 장치
    7.
    发明公开
    인쇄판 세정 장치 및 이를 포함하는 인쇄 장치 无效
    用于印刷板和打印装置的清洁装置,包括它们

    公开(公告)号:KR1020130101328A

    公开(公告)日:2013-09-13

    申请号:KR1020120022389

    申请日:2012-03-05

    CPC classification number: B41F35/001

    Abstract: PURPOSE: A printing plate cleaning device and a printing device including the same are provided to reduce the entire processing time by simplifying the entire printing process including a cleaning process and to minimize a volume of the entire printing device. CONSTITUTION: A printing plate cleaning device (100) includes a cleaning chamber (110), a nozzle support (160), and a complex nozzle unit. A printing plate (C) to be cleaned is arranged inside the cleaning chamber. The nozzle support is arranged inside the cleaning chamber. The complex nozzle unit is fixed to the nozzle support and includes a cleaning nozzle unit (140) and a rinsing nozzle unit (150) which are integrated. The cleaning nozzle unit includes a cleaning solution nozzle (143) injecting cleaning solution to the printing plate; and first suction nozzles (141, 144) sucking waste materials. The rinsing nozzle unit includes a rinsing solution nozzle (153) injecting rinsing solution to the printing plate; and second suction nozzles (151, 154) sucking waste materials.

    Abstract translation: 目的:提供一种印版清洁装置和包括该印版的打印装置,以通过简化包括清洁处理在内的整个打印处理来减少整个处理时间并使整个打印装置的体积最小化。 构成:印版清洁装置(100)包括清洁室(110),喷嘴支架(160)和复合喷嘴单元。 要清洁的印版(C)布置在清洁室内。 喷嘴支撑件布置在清洁室内。 复合喷嘴单元被固定到喷嘴支撑件,并且包括一体的清洗喷嘴单元(140)和冲洗喷嘴单元(150)。 清洗喷嘴单元包括将清洁溶液注入印刷板的清洗溶液喷嘴(143) 和吸入废料的第一吸嘴(141,144)。 冲洗喷嘴单元包括将冲洗溶液注入印刷板的冲洗溶液喷嘴(153) 和抽吸废料的第二吸嘴(151,154)。

    롤투롤 인쇄 시스템
    8.
    发明公开
    롤투롤 인쇄 시스템 有权
    滚筒印刷系统

    公开(公告)号:KR1020130019298A

    公开(公告)日:2013-02-26

    申请号:KR1020110081369

    申请日:2011-08-16

    Abstract: PURPOSE: A roll-to-roll printing system is provided to transfer a flexible substrate with fluid running down after a process, in which the fluid of low viscosity such as a liquid crystal is utilized, by using a torque value of a nib roll driving motor. CONSTITUTION: A roll-to-roll printing system comprises a driven roll(130B), a pair of nib rolls(140B), a nib roll driving motor(142B), and a control device. The driven roll transmits power to a flexible substrate so that flexible substrate is transferred from an unwinding device to a rewinding device. The nib roll is mounted on both end portions of the driven roll, thereby pressurizing both end portions of the flexible substrate. The nib roll driving motor is connected to the nip roll in order to rotate-drive the nib roll. The control device receives the information of changes in a torque value of the nib roll driving motor. The tension of the flexible substrate is controlled by using the information.

    Abstract translation: 目的:提供一种卷对卷打印系统,用于在使用液晶的低粘度流体(利用液晶)的流程中通过使用笔尖辊驱动 发动机。 构成:卷对卷式印刷系统包括从动辊(130B),一对笔尖辊(140B),笔尖辊驱动电机(142B)和控制装置。 从动辊将功率传递到柔性基板,使得柔性基板从退绕装置传送到重绕装置。 笔芯辊安装在从动辊的两端部,从而对柔性基板的两端部进行加压。 笔尖辊驱动电机连接到夹辊,以旋转驱动笔尖辊。 控制装置接收笔尖驱动电机的转矩值的变化信息。 通过使用该信息来控制柔性基板的张力。

    시크 리트라이 조건에서의 서보 제어 방법 및 장치와 이를이용한 디스크 드라이브
    9.
    发明授权
    시크 리트라이 조건에서의 서보 제어 방법 및 장치와 이를이용한 디스크 드라이브 失效
    用于控制SEEK重复和磁盘驱动条件下的伺服过程的方法和装置

    公开(公告)号:KR100761856B1

    公开(公告)日:2007-09-28

    申请号:KR1020060079467

    申请日:2006-08-22

    Inventor: 이남훈 김재형

    CPC classification number: G11B5/5547

    Abstract: A method and an apparatus for servo control under seek retry conditions and a disc drive using the same are provided to make a head stably be floating on a disc instead of parking if a condition that track seek or track following is normally not performed occurs. It is determined whether a seek retry condition occurs(S501). A servo control process is stopped and the value of back EMF(electromotive force) is detected if the seek retry condition occurs(S503). The speed of the voice coil motor is calculated by dividing the value of the back EMF by a back EMF constant(S504). Deceleration current to lower the speed of the voice coil motor to 0 is created so that the deceleration current is supplied to the voice coil motor(S505).

    Abstract translation: 提供了一种在搜索重试条件下进行伺服控制的方法和装置,以及使用该方法和装置的盘驱动器,使头部稳定地浮动在盘上,而不是在通常不执行追踪跟踪跟踪的条件下停止。 确定是否发生搜索重试条件(S501)。 如果搜索重试条件发生,则停止伺服控制处理并检测反电动势(电动势)的值(S503)。 通过将反电动势的值除以反电动势常数来计算音圈电动机的速度(S504)。 产生将音圈马达的速度降低到0的减速电流,使得减速电流被提供给音圈马达(S505)。

    하드 디스크 드라이브, 하드 디스크 드라이브의 디펙트검출 방법 및 그 방법을 수행하는 컴퓨터 프로그램을기록한 기록 매체
    10.
    发明授权
    하드 디스크 드라이브, 하드 디스크 드라이브의 디펙트검출 방법 및 그 방법을 수행하는 컴퓨터 프로그램을기록한 기록 매체 失效
    硬盘驱动器,硬盘驱动器的缺陷检测方法以及记录用于执行该方法的计算机程序的记录介质

    公开(公告)号:KR100714878B1

    公开(公告)日:2007-05-04

    申请号:KR1020060045554

    申请日:2006-05-22

    Inventor: 이남훈 김재형

    Abstract: 하드 디스크 드라이브, 하드 디스크 드라이브의 디펙트 검출 방법 및 그 방법을 수행하는 컴퓨터 프로그램을 기록한 기록 매체가 개시된다. 본 발명의 하드 디스크 드라이브의 디펙트 검출 방법은, (a) 적층된 다수개의 디스크의 각면에 대응되는 다수개의 자기 헤드 중 어느 하나가, 그에 대응되는 디스크의 디펙트를 스캔하되 온 트랙 스캔(On-track Scan) 및 오프 트랙 스캔(Off-track Scan)을 모두 실시하여, 디펙트가 검출된 디펙트 검출 실린더에 대한 정보를 저장하는 단계; 및 (b) 다수개의 자기 헤드 중 나머지 자기 헤드들이, 그에 각각 대응되는 디스크의 디펙트를 스캔하되 디펙트 검출 실린더에 대해서만 온 트랙 스캔(On-track Scan) 및 오프 트랙 스캔(Off-track Scan)을 모두 실시하여, 추가로 디펙트가 검출된 디펙트 검출 실린더에 대한 정보를 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 디스크의 디펙트 검출시 신뢰성을 충분히 확보하면서도 디펙트 검출 공정 시간을 단축시켜 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
    하드 디스크, 디펙트, 스캔, 번인, 온 트랙 스캔, 오프 트랙 스캔

    Abstract translation: 公开了硬盘驱动器,硬盘驱动器的缺陷检测方法以及记录用于执行该方法的计算机程序的记录介质。 根据本发明的检测硬盘驱动器的缺陷的方法的特征在于:(a)与多个堆叠盘的每个表面相对应的多个磁头中的一个扫描对应盘的缺陷, 跟踪扫描和偏离轨迹扫描以存储关于检测到缺陷的缺陷检测圆柱体的信息; 并且(b)多个磁头的其余磁头扫描各个相应磁盘的缺陷,并且仅对缺陷检测圆柱进行在轨扫描和偏离轨道扫描, 并且将信息存储在进一步检测到缺陷的缺陷检测圆柱体上。 根据本发明,可以通过缩短缺陷检测处理时间来提高处理效率,同时确保光盘缺陷检测中的足够可靠性。

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