아크 방전 장치 및 이를 구비하는 플라즈마 처리 시스템
    6.
    发明公开
    아크 방전 장치 및 이를 구비하는 플라즈마 처리 시스템 审中-实审
    电弧放电装置和等离子体处理系统具有相同的功能

    公开(公告)号:KR1020160142743A

    公开(公告)日:2016-12-13

    申请号:KR1020150135555

    申请日:2015-09-24

    Abstract: 본발명의기술적사상의일 실시예에의한아크방전장치는냉매유입구와냉매유출구가형성된하우징및 하우징에고정된투과부재를구비하는바디부및 하우징에장착되고, 서로대향하여배치된어노드전극및 캐소드전극을구비한전극부를포함할수 있다. 어노드전극은하우징과연결되는본체부및 본체부와결합되는어노드전극팁을구비하고, 어노드전극의내부에형성되는냉각라인은냉매유입구와냉매유출구와연결되고, 어노드전극팁의내벽과접하는것을특징으로한다.

    유기층 증착 장치
    8.
    发明公开
    유기층 증착 장치 审中-实审
    用于有机层沉积的装置

    公开(公告)号:KR1020160062510A

    公开(公告)日:2016-06-02

    申请号:KR1020140165342

    申请日:2014-11-25

    Abstract: 유기막증착장치가제공된다. 상기유기막증착장치는, 기판상에유기층을형성하기위한유기층증착장치에있어서, 기판의형상을측정하는형상측정센서부, 기판을제1 방향으로이송하는캐리어, 기판으로증착물질을방사하는증착원, 기판과증착원사이에배치되고, 제1 방향과교차하는제2 방향으로배열된복수개의패턴슬릿을포함하는마스크, 기판과마스크사이의정렬오차를측정하고, 캐리어의제2 방향의진직도를측정하는카메라, 기판과마스크사이의정렬오차를측정하고, 캐리어의제1 및제2 방향과교차하는제3 방향의진직도를측정하는거리측정센서부및 측정된기판의형상및 측정된기판과마스크사이의정렬오차를토대로마스크의위치를제어하는마스크스테이지를포함하되, 증착원에의한증착공정은기판이캐리어에의해제1 방향으로이송되어마스크와거리측정센서부사이를통과할때 수행된다.

    Abstract translation: 提供了一种用于沉积有机层的设备。 用于在基板上沉积用于形成有机层的有机层的装置包括测量基板的形状的形状测量传感器单元,沿第一方向传送基板的载体,将沉积材料分配到基板的沉积源, 设置在基板和沉积源之间的掩模,并且具有沿与第一方向相交的第二方向布置的多个图案狭缝,测量基板和掩模之间的对准误差的相机,以及测量载体的第二方向上的平直度 测量基板和掩模之间的对准误差的距离测量传感器单元,以及测量与载体的第一和第二方向相交的第三方向上的平直度;以及掩模台,其基于测量的形状 衬底和衬底与掩模之间的对准误差。 当基板在第一方向上被载体转移时通过沉积源进行沉积处理,以通过掩模和距离测量传感器单元之间。

    선택적으로 개질된 나노 다공성 구조체 및 그 제조 방법
    9.
    发明公开
    선택적으로 개질된 나노 다공성 구조체 및 그 제조 방법 审中-实审
    选择性修正的纳米结构及其生产方法

    公开(公告)号:KR1020140064409A

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:KR1020120131713

    申请日:2012-11-20

    Abstract: The present invention provides a method for selectively modifying a structure having nanopores which provides a structure having penetration pores of nanosize; fills the pores with surfactants; exposes a part of the inner surface of the pores by removing the part of the surfactants from both ends of the pores; modifies the exposed inner surface with a first compound; exposes the inner surface of the pores which are not modified with the first compound by removing the surfactants remaining in the pores; and modifies the exposed inner surface with a second compound different from the first compound which is not modified with the first compound.

    Abstract translation: 本发明提供一种选择性地修饰具有纳米孔的结构的方法,该纳米孔提供具有纳米尺寸的渗透孔的结构; 用表面活性剂填充孔; 通过从孔的两端除去一部分表面活性剂来暴露孔的内表面的一部分; 用第一种化合物改变暴露的内表面; 通过去除残留在孔中的表面活性剂来暴露未被第一化合物改性的孔的内表面; 并且用不与第一化合物进行改性的第一化合物不同的第二化合物改性暴露的内表面。

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