公开(公告)号：KR101152115B1

公开(公告)日：2012-06-15

申请号：KR1020040000547

申请日：2004-01-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정의진 ,  강명구

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명에 따른 결정화용 광마스크는 비정질 규소를 결정화하는 결정화 공정에서 레이저빔을 국부적으로 조사하기 위한 결정화용 마스크로서, 광마스크는 레이저빔이 투과되는 투광 영역을 정의하는 슬릿이 일정하게 배열되어 있는 하나 이상의 슬릿 영역을 포함하고 있으며, 슬릿은 결정화 공정에서 마스크의 이동 방향에 대하여 일정한 각도로 기울어져 형성되어 있으며, 슬릿 영역은 제1 길이를 가지는 제1 부분, 제1 길이보다 긴 제2 길이를 가지는 제2 부분을 포함한다.
박막트랜지스터, 결정화, SLS

公开(公告)号：KR1020060106171A

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：KR1020050028629

申请日：2005-04-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정세진 ,  정의진 ,  김동범

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L21/2026 ,  H01L21/02675 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78675

Abstract: 전기적인 특성을 향상시킨 다결정 실리콘 박막의 제조방법 및 이를 갖는 박막 트랜지스터의 제조방법이 개시되어 있다. 기판의 제1 가장자리 영역에 형성된 비정질 실리콘 박막의 일부에 레이저의 폭 방향으로 사각 형상의 일정한 에너지 밀도 분포도를 나타내는 레이저 빔을 조사한다. 레이저 빔에 의해 액화된 비정질 실리콘 박막 내에서 실리콘 그레인을 성장시켜, 액화된 비정질 실리콘 박막을 결정화시킨다. 실리콘 그레인의 크기를 증가시켜 다결정 실리콘 박막을 형성하기 위해 제1 방향으로 일정 간격 만큼 이동시키면서 사각 형상의 에너지 밀도 분포도를 나타내는 레이저 빔을 조사한다. 이와 같이, 사각 형상에 가까운 에너지 밀도 분포 분포도를 나타내는 레이저 빔을 기판에 반복적으로 조사함으로써, 전기적인 특성이 향상된 다결정 실리콘 박막을 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR200131279Y1

公开(公告)日：1999-01-15

申请号：KR2019950014771

申请日：1995-06-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정의진

IPC: F24F11/02 ,  F24F13/10

Abstract: 본 고안은 공기조화기의 토출구 개페장치에 관한 것으로, 공기조화기 본체(10)에 형성된 토출구(12), 상기 토출구(12)를 개폐하기 위하여 상하왕복운동하는 셔터(20), 상기 셔터(20)를 구동시키기 위해 정역회전하는 모터(21)를 구비한 공기조화기에 있어서, 서로 대향하여 설치된 발광부(33a)와 수광부(33b)로 이루어진 1개의 감지센서를 통해 상기 셔터(20)의 개폐상태를 감지하는 감지부(33); 상기 셔터(20)의 승강동작과 연동하여 상기 발광부(33a)와 수광부(33b)의 사이를 승강할 수 있도록 상기 셔터(20)에 취부되며, 상기 셔터(20)의 왕복거리만큼 서로 이격된 2개의 개방홈(41)(42)이 형성되어 상기 셔터(20)의 승강시 상기 발광부(31a)으로부터 투사되는 광을 차단 및 통과시키는 차광판(40'); 및 상기 셔터(20)를 개방시키기 위한 운전온신호가 입격되면 상기 모터(21)를 정회전시키고 상기 감지부(33)를 통해 상기 셔터(20)가 환전히 개방된 상태로 판단된 경우 상기 모터(21)의 구동을 정지시키며, 상기 셔터(20)를 폐쇄시키기 위한 운전오프신호가 입력되면 상기 모터(21)를 역회전시키고 상기 감지부(33)를 통해 상기 셔터(20)가 완전히 페쇄된상태로 판단된 경우 상기 모터(21)의 구동을 정지시키는 제어부에 의하여 달성된 상태로 판단된 경우 상기 모터(21)의 구동을 정지시키는 제어부에 의하여 달성된다. 따라서, 본 고안은 셔터의 개페상태를 감지하기 위해 1개의 감지센서를 사용함에 의해 부품수절감과 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR200125624Y1

公开(公告)日：1998-11-02

申请号：KR2019950013863

申请日：1995-06-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정의진

IPC: F24F1/24 ,  F24F11/02 ,  F24F1/06

Abstract: 본 고안은 공기조화기의 실외기에 관한 것으로, 특히 흡입부와 토출부가 형성된 본체와, 상기 흡입부의 내측에 배설된 열교환기와, 상기 토출부의 내측에 배설된 팬과, 냉매를 고온고압으로 압축시키는 압축기와, 별도의 케이스가 구비된 제어부로 이루어진 공기조화기의 실외기에 있어서, 상기 케이스의 내부상면에 결합 설치된 회로기판과, 방열핀이 하면에 고착된 전원트랜지스터 및 콘덴서 등으로 이루어지고 상기 회로기판에 장착된 전기소자와, 상기 전기소자를 냉각시키도록 상기 팬의 송풍력에 의해 일부의 공기가 상기 케이스의 내부로 유입되도록 냉각공기의 흐름을 가이드하며 상기 케이스의 좌측면의 하단에 형성된 흡입구와, 상기 흡입구로 상기 팬의 송풍력에 의해 공급되는 냉각공기가 보다 원활하게 유입되도록 판상으로 형성되어 상� � 열교환기 방향으로 경사지게 상기 흡입구의 전면에 설치된 흡입 가이드와, 상기 흡입가이드에 가이드되어서 상기 흡입구로 흡입되어 상기 전기소자를 냉각시킨 냉각공기가 외부로 토출되도록 상기 케이스의 외측면에 형성된 토출구로 이루어진 공기조화기의 실외기에 관한 것으로, 실외기의 제어부의 케이스의 상면내측에 회로기판을 장악하고 이 회로기판에 전기소자를 장착하여 그 구조를 콤팩트화시킴과 동시에, 냉각공기를 케이스의 내부로 강제 공급하여 전기소자를 보다 효율적으로 냉각시키고 수분이 전기소자로 접촉될 경우 케이스의 바닥으로 낙하되도록하여 누전으로 인한 고장을 미연에 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR200122716Y1

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR2019950025194

申请日：1995-09-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정의진

IPC: F24F13/08 ,  F24F1/00

Abstract: 본 고안에 의한 공기조화기의 국부냉기 토출장치는, 송풍모터(41) 및 송풍팬(43)을 내부에 지지함과 동시에 찬바람의 흐름을 하부에서 상부로 안내하도록 본체(10)내에 송풍덕트(44)가 갖추어진 공기조화기에 있어서, 상기 송풍덕트(44)의 내부를 통과하는 찬바람의 일부가 임의의 각도로 토출되어 원하는 신체에 공급될 수 있도록 송풍덕트(44)에서 본체(10)의 일측벽을 통하여 외부로 돌출되는 국부용 덕트관(60)을 설치한 것을 특징으로 되어 있으므로, 임의의 각도로 찬바람을 토출시켜 신체의 구석 구석에 흐르는 땀 및 열기를 짧은 시간에 식혀줄 수 있는 것이다.

公开(公告)号：KR200120738Y1

公开(公告)日：1998-08-01

申请号：KR2019950026314

申请日：1995-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정의진

IPC: F24F1/20 ,  F24F1/06

Abstract: 본 고안은 공기조화기의 실외기에 관한 것으로, 더 상세하게는 실외기의 제어부를 구성하는 모든 전기소자를 회로기판에 접속하고, 상기 전기소자들을 보호하기 위한 케이스에 정화수단을 마련한 공기조화기의 실외기에 관한 것이다.
본 고안에 따른 공기조화기의 실외기는 공기조화기 실외기 본체, 상기 본체에 설치되어 실내의 공기를 흡입하여 토출시키는 팬, 상기 본체에 설치되며 다수의 전기소자가 탑재된 회로기판, 일면이 개구되고 본체 내의 공기가 유입, 토출되는 유입, 토출공이 형성되어 상기 회로기판을 덮고 있는 케이스, 상기 케이스에 마련되며 상기 팬에 의하여 케이스로 유입되는 공기를 정화하는 정화수단을 구비하는 것이다.

公开(公告)号：KR100956339B1

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：KR1020030011643

申请日：2003-02-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정의진 ,  김동범 ,  이수경 ,  강명구 ,  김현재

IPC: H01L21/324

CPC classification number: B23K26/0676 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/066 ,  B23K26/067 ,  B23K26/0732 ,  B23K2201/40 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0268 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/268 ,  H01L27/1285

Abstract: 레이저 발생 장치; 레이저 발생 장치에서 발생한 레이저빔을 제어하는 복수개의 광계; 광계를 통과한 레이저빔의 조사에 의해 다결정 규소층으로 결정화되는 비정질 규소층이 증착된 절연 기판을 장착할 수 있는 스테이지를 포함하고, 광계는 수평 방향이 짧고 수직 방향이 긴 형상의 레이저빔을 형성하는 복수개의 광계인 제1 광계, 수평 방향이 길고 수직 방향이 짧은 형상의 레이저빔을 형성하는 복수개의 광계인 제2 광계를 포함하는 규소 결정화 시스템.
다결정 규소, 순차적 측면 결정화 공정, 광계

公开(公告)号：KR1020050121548A

公开(公告)日：2005-12-27

申请号：KR1020040046712

申请日：2004-06-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김동범 ,  정세진 ,  정의진 ,  강진규

IPC: H01L21/268

Abstract: 본 발명은 직사각형 형태의 기판소재에 증착되어 있는 아몰퍼스 실리콘 박막을 폴리 실리콘 박막으로 결정화하는 방법에 관한 것으로서, 펄스 반복 주파수가 300 Hz 내지 10kHz 사이이며 띠 형태인 레이저 광을 발생시키는 단계, 이송방향이 상기 레이저광의 길이방향과 10내지 80도를 이루도록 상기 레이저광과 상기 아몰퍼스 실리콘 박막을 단속적으로 상대 이동하면서, 상기 레이저광을 상기 아몰퍼스 실리콘 박막에 조사하여 상기 폴리 실리콘 박막을 상기 기판소재의 판면과 평행한 방향으로 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 박막트랜지스터의 채널부 특성을 균일하게 할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050081335A

公开(公告)日：2005-08-19

申请号：KR1020040009533

申请日：2004-02-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김동범 ,  정세진 ,  정의진

IPC: H01L21/324

CPC classification number: H01L21/02686 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/067 ,  B23K26/0673 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/0736 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02595 ,  H01L21/2026 ,  H01L29/66765 ,  H01L29/78678

Abstract: A light having a pulse frequency higher than about 300 Hz is generated. The light is irradiated on an amorphous silicon thin film for a predetermined time period to form an initial polysilicon crystal. The light is transported in a predetermined direction to grow the initial polysilicon crystal. A laser beam having a decreased output energy is irradiated on the amorphous silicon thin film to crystallize the amorphous silicon thin film to a polysilicon thin film so that the load of an apparatus for generating the laser beam is decreased, and the lifetime of the apparatus for generating the laser beam increases.

公开(公告)号：KR1020050037867A

公开(公告)日：2005-04-25

申请号：KR1020030073147

申请日：2003-10-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강명구 ,  정의진 ,  김현재

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 레이저빔 조사 장치는 절연 기판 상에 형성된 비정질 규소의 박막에 주파수를 발진하여 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사 장치로서, 레이저빔을 일정하게 생성하는 레이저 발진부, 레이저빔을 박막으로 집적하여 유도하는 투과 렌즈, 투과 렌즈를 통과하는 레이저빔의 오정렬을 검출하는 레이저빔 검출부를 포함한다.