公开(公告)号：KR100940565B1

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：KR1020030012778

申请日：2003-02-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동기 ,  이유경 ,  주진호 ,  강성철

IPC: G03F7/023

Abstract: 본 발명은 LCD용 포토레지스트 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 G-선용 감광제 및 I-선용 감광제 화합물의 혼합물을 포함하여 프로파일을 수직으로 세워 건조식각시의 어택(attack)을 최소화하고 콘트라스트를 향상시킬 수 있는 포토레지스트 조성물에 관한 것이다.
G-선 감광제, I-선 감광제, 포토레지스트 조성물

公开(公告)号：KR100783603B1

公开(公告)日：2007-12-07

申请号：KR1020020000625

申请日：2002-01-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이유경 ,  강성철 ,  주진호 ,  이동기 ,  이승욱 ,  강훈

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/40

Abstract: 감도와 잔막 특성이 우수한 포토레지스트 조성물 및 이를 사용한 패턴의 형성방법이 개시되어 있다. 상기 조성물은 5∼30 중량%의 고분자 수지, 2∼10 중량%의 감광성 화합물, 0.1∼10 중량%의 감도 증진제, 0.1∼10 중량%의 감도 억제제 및 60∼90 중량%의 유기 용매를 포함하여 이루어진다. 패턴을 형성하기 위하여는 먼저, 포토레지스트 조성물을 기재상에 도포하고 건조하여 포토레지스트막을 제조하도록 한다. 이후 소정 형상의 마스크를 개재하여 상기 포토레지스트층을 노광하고, 이를 현상하여 포토레지스트 패턴을 제조하도록 한다. 제조된 패턴은 막두께의 균일성이 양호하면서도 크리티컬 디멘젼의 균일성이 향상된 것이다.

公开(公告)号：KR100594815B1

公开(公告)日：2006-07-03

申请号：KR1019990062169

申请日：1999-12-24

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  메르크 퍼포먼스 마테리알즈 고도가이샤

Inventor： 박홍식 ,  주진호 ,  이유경 ,  강성철 ,  오세태 ,  강덕만

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/168 ,  G03F7/38 ,  G03F7/42 ,  G03F7/422 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/31133

Abstract: 본 발명은 인체에 무해하며, 악취의 발생이 적어 작업환경이 양호하며, 폐액 및 폐수처리가 용이하여 환경 친화적일 뿐 만 아니라, 포토레지스트 막의 린싱 능력이 우수한 포토레지스트 린스용 씬너를 및 이를 이용한 포토레지스트 막의 처리 방법을 제공하기 위하여, n-부틸아세테이트 50 내지 80중량%, 프로필렌글리콜알킬에테르 및 프로필렌글리콜알킬에테르아세테이트를 포함하는 포토레지스트 린스용 씬너를 제공한다.
포토레지스트, 씬너, 용매, 환경, n-부틸아세테이트, 프로필렌글리콜알킬에테르, 프로필렌글리콜알킬에테르아세테이트

公开(公告)号：KR1020050077572A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：KR1020040005408

申请日：2004-01-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동기 ,  김효열 ,  주진호

IPC: G03F7/022

Abstract: 본 발명은 스핀 코팅용 포토레지스트 조성물, 이를 이용한 포토레지스트 패턴 형성 방법 및 이를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 스핀 코팅용 포토레지스트 조성물은 2000 ~ 15000 중량 평균 분자량의 노볼락 수지, 디아지드계 감광성 화합물 및 휘발성 유기 용매를 포함한다. 이러한 포토레지스트 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 패턴의 형성 방법은 휘발성 용매를 적절히 혼합하여 사용함으로써 균일도와 얼룩 발생을 최소화 할 수 있고, 포토 공정의 오차를 줄일 수 있어 공정 마진의 향상, 수율 향상 및 생산성 증대에 도움이 된다.

公开(公告)号：KR1020050071885A

公开(公告)日：2005-07-08

申请号：KR1020040000276

申请日：2004-01-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이유경 ,  주진호 ,  정수임

IPC: G03F7/027

Abstract: 감도를 월등하게 향상시킬 수 있는 절연막용 네가티브형 감광성 수지 조성물 및 이를 사용한 절연막이 개시되어 있다. 상기 수지 조성물은 바인더 수지 5∼40 중량부, 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 다기능 모노머 2∼50 중량부, 광개시제 0.005∼20 중량부 및 에폭시기 또는 아민기를 갖는 실리콘계 화합물 0.0001∼3 중량부를 포함한다. 이러한 수지 조성물은 감도가 높아서 공정성이 향상되며 이를 사용하여 제조된 유기 절연막은 92% 이상의 높은 투과율을 가진다. 이에 따라 고개구율 패널의 제작이 가능하다.

公开(公告)号：KR1020050055349A

公开(公告)日：2005-06-13

申请号：KR1020030088548

申请日：2003-12-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 노경래 ,  최효휘 ,  주진호

IPC: G02F1/1339

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027

Abstract: 코폴리머, 다기능 모노머, 광개시제를 기본 조성으로 하고 MEC와 EEP를 포함하는 솔벤트를 포함하는 스페이서용 감광제를 마련한다. 이 때, 솔벤트로써 n-BA를 더 포함할 수 있고, 실리콘계 계면 활성제를 더 포함할 수도 있다. 여기서, 솔벤트는 EEP를 5%~45% 포함하고, n-BA를 1%~30% 포함하는 것이 바람직하다.

公开(公告)号：KR1020050037870A

公开(公告)日：2005-04-25

申请号：KR1020030073150

申请日：2003-10-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정수임 ,  이유경 ,  주진호

IPC: G02F1/136

Abstract: 본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 절연 기판, 절연 기판 위에 형성되어 있으며 소스 영역, 드레인 영역 및 채널 영역을 포함하는 다결정 규소층, 다결정 규소층 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 게이트 절연막 위에 형성되며 있으며 채널 영역과 일부분 중첩하는 게이트 전극을 포함하는 게이트선, 게이트선 위에 형성되어 있는 층간 절연막, 층간 절연막 위에 형성되며 소스 영역과 연결되는 소스 전극을 포함하는 데이터선, 층간 절연막 위에 형성되며 드레인 영역과 연결되는 드레인 전극, 데이터선 및 드레인 전극 위에 형성되어 있는 유기막, 유기막 위에 형성되어 있으며 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극을 포함하고, 유기막은 유기막을 구성하는 물질의 전체 조성비 중 1~10%의 실리콘계 가교 접착제를 함유하고 있다.

公开(公告)号：KR1020030072722A

公开(公告)日：2003-09-19

申请号：KR1020020011886

申请日：2002-03-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 여선영 ,  강성철 ,  주진호 ,  전재홍 ,  남석현 ,  변진섭

IPC: G09G3/36

CPC classification number: G09G3/3648 ,  G09G2320/0257

Abstract: PURPOSE: An LCD and a driving method thereof are provided to remove an afterimage by setting properly a relation between an optimum common voltage of a white gray scale and an optimum common voltage of a black gray scale. CONSTITUTION: An LCD includes an LCD panel(1), a gate driving portion(2), and a data driving portion(3). The LCD panel(1) is formed with a plurality of gate lines, a plurality of data lines, a plurality of TFTs having gate electrodes connected to the gate lines and source electrodes connected to the data lines, the first substrate including pixel electrodes, and the second substrate including common electrodes. The gate driving portion(2) applies the gate voltage to the gate lines in order to turn on/off the TFTs. The data driving portion(3) applies the gray voltage to the data lines. The LCD satisfies a condition such as optimum common voltage of white gray scale-optimum common voltage of a black gray scale

Abstract translation: 目的：提供一种LCD及其驱动方法，通过适当地设定白色灰度级的最佳公共电压与黑色灰度级的最佳公共电压之间的关系来去除残像。 构成：LCD包括LCD面板（1），门驱动部分（2）和数据驱动部分（3）。 LCD面板（1）形成有多条栅极线，多条数据线，连接到栅极线的栅电极和连接到数据线的源极的多个TFT，第一衬底包括像素电极，以及 所述第二基板包括公共电极。 栅极驱动部分（2）将栅极电压施加到栅极线以便打开/关闭TFT。 数据驱动部分（3）将灰色电压施加到数据线。 LCD满足黑灰度<=设定值的白色灰度最佳公共电压的最佳公共电压等条件。

公开(公告)号：KR1020030063058A

公开(公告)日：2003-07-28

申请号：KR1020020003622

申请日：2002-01-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동기 ,  강성철 ,  이유경 ,  주진호

IPC: G03F7/004

Abstract: PURPOSE: A negative photoresist and a method for forming a pattern using the photoresist are provided, to inhibit the undercut in development by reducing the amount of acid generated in curing, thereby enabling the pattern of a desired width to be obtained easily for improving the profile of pattern. CONSTITUTION: The negative photoresist comprises 10-40 parts by weight of a novolac resin; 0.5-1.5 parts by weight of a photoacid generator; 50-100 parts by weight of an organic solvent; 2-5 parts by weight of a crosslinking agent; and 0.3-1 parts by weight of a base additive. Preferably the crosslinking agent is a mixture of an acryl monomer and a melamine-based monomer in the ratio of 2:1 to 1:2; and the base additive is a nitrogen-containing organic compound and comprises a primary amine, a secondary amine, a tertiary amine, an unsaturated cyclic amine and a quaternary ammonium salt; and the organic solvent is propylene glycol monomethyl ether acetate.

Abstract translation: 目的：提供一种负性光致抗蚀剂和使用光致抗蚀剂形成图案的方法，通过减少固化中产生的酸的量来抑制显影中的底切，从而能够容易地获得所需宽度的图案以改善轮廓 的模式。 构成：负光致抗蚀剂包括10-40重量份的酚醛清漆树脂; 0.5-1.5重量份光酸发生剂; 50-100重量份的有机溶剂; 2-5重量份的交联剂; 和0.3-1重量份的基础添加剂。 优选地，交联剂是丙烯酸单体和三聚氰胺基单体的混合物，其比例为2:1至1:2; 碱添加剂为含氮有机化合物，并且包含伯胺，仲胺，叔胺，不饱和环胺和季铵盐; 有机溶剂为丙二醇单甲醚乙酸酯。

公开(公告)号：KR100350647B1

公开(公告)日：2002-08-28

申请号：KR1019990055276

申请日：1999-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최원우 ,  이근용 ,  김기평 ,  이건종 ,  주진호 ,  정수임 ,  이봉우

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/133711

Abstract: 본발명은배향막인쇄를위하여기 사용된폐액을회수하여배향막인쇄에재사용할수 있는배향막인쇄장치를개시한다. 배향막인쇄장치는배향막원료를공급하는원료공급장치와, 상기원료공급장치로부터공급된상기원료를대상물에인쇄하는인쇄장치와, 상기인쇄장치로공급된상기배향막원료중, 인쇄에참여하지못하고버려지는배향막원료를상기원료공급장치로보내는회수장치를포함한다.