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公开(公告)号：KR101027074B1
公开(公告)日：2011-04-05
申请号：KR1020080103943
申请日：2008-10-23
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 나노구조물 가스센서는 기판, 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극과 제2 전극, 복수의 나노구조물들 및 가스의 흡착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 금속산화물층을 포함한다. 상기 복수의 나노구조물들은 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결한다.
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公开(公告)号：KR1020100044944A
公开(公告)日：2010-05-03
申请号：KR1020080103943
申请日：2008-10-23
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A nanostructure gas sensor with a metallic oxide layer, a nanostructure gas sensor array thereof, and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size and thickness of a metallic oxide layer using a physical vapor deposition method. CONSTITUTION: A nanostructure gas sensor(300) with a metallic oxide layer comprises a substrate(110), first and second electrodes(120,130), multiple nanostructures(140), and a metallic oxide layer(150). The nanostructures are arranged on the substrate, and connect the first and second electrodes. The metallic oxide layer changes the electrical characteristics of the nanostructures.
Abstract translation: 目的：提供具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器，其纳米结构气体传感器阵列及其制造方法，以使用物理气相沉积方法容易地控制金属氧化物层的尺寸和厚度。 构造：具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器（300）包括基底（110），第一和第二电极（120,130），多个纳米结构（140）和金属氧化物层（150）。 纳米结构布置在基板上，并连接第一和第二电极。 金属氧化物层改变了纳米结构的电特性。
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公开(公告)号：KR100993167B1
公开(公告)日：2010-11-09
申请号：KR1020087011385
申请日：2007-08-06
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N27/127 , G01N27/4146
Abstract: 본 발명은 나노구조물 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일측면은 기판; 상기 기판 위에 있는 제1 전극; 상기 기판 위에 상기 제1 전극과 이격되어 있으며, 상기 제1 전극을 둘러싸는 제2 전극; 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 접촉되며, 감지 대상에 따라 전기적 특성이 변화하는 적어도 하나의 나노구조물을 구비한 센서를 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020080069995A
公开(公告)日：2008-07-29
申请号：KR1020087011385
申请日：2007-08-06
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N27/127 , G01N27/4146
Abstract: A sensor and a method for preparing the same are provided to reduce a manufacturing cost by omitting a step of patterning a carbon nanotube, operate normally even if the carbon nanotube connecting a first electrode and an adjacent first electrode remains and maintain potential of a liquid adjacent to the carbon nanotube more constant. A sensor comprises: a substrate(10); a first electrode(20) disposed on the substrate; a second electrode(30) disposed on the substrate, the second electrode being spaced apart from the first electrode and substantially surrounding the first electrode; and at least one nanostructure(40) contacting the first electrode and the second electrode, the at least one nanostructure configured to vary an electrical characteristic according to an object to be sensed. A method for preparing the sensor comprises the steps of: (a) preparing the substrate for forming at least one structure; (b) forming the first electrode and the second electrode on the substrate, the second electrode being spaced apart from the first electrode and surrounding the first electrode; and (c) forming the nanostructure contacting an upper surface of the first electrode and the second electrode. Further, the sensor additionally comprises an insulator between the first electrode and the second electrode.
Abstract translation: 提供了一种传感器及其制备方法，以便通过省略图案化碳纳米管的步骤来降低制造成本，即使连接第一电极和相邻的第一电极的碳纳米管仍然保持并保持相邻的液体的电位， 到碳纳米管更恒定。 传感器包括：基板（10）; 设置在所述基板上的第一电极（20） 设置在所述基板上的第二电极（30），所述第二电极与所述第一电极间隔开并且基本上围绕所述第一电极; 以及与第一电极和第二电极接触的至少一个纳米结构（40），所述至少一个纳米结构被配置成根据待感测的物体改变电特性。 制备传感器的方法包括以下步骤：（a）制备用于形成至少一种结构的基底; （b）在基板上形成第一电极和第二电极，第二电极与第一电极间隔开并围绕第一电极; 和（c）形成接触第一电极和第二电极的上表面的纳米结构。 此外，传感器还包括在第一电极和第二电极之间的绝缘体。
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