公开(公告)号：KR1020110080910A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：KR1020100001350

申请日：2010-01-07

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 홍성현 ,  김원식 ,  유웅렬 ,  이병선 ,  김대홍

IPC: B82B3/00 ,  G01N27/12

CPC classification number: B82B3/0095 ,  B82B1/008 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/16 ,  C23C16/06 ,  C23C16/45525 ,  D01D5/003 ,  G01N33/0027

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing gas detecting metal oxide-based nano-tube and a metal oxide-based gas sensor using the same are provided to increase the sensitivity with respect to target gas by increasing the surface area and the length of the nano-tube. CONSTITUTION: A nano fiber template(112) is formed by spinning a polymer solution. A metal oxide-based thin film(124) for detecting gas is deposited on the template through an atomic layer deposition method, and an intermediate structure is obtained. The intermediate structure is thermally treated, and the template is eliminated. Metal oxide-based nano-tube(134) is formed. A metal oxide-based gas sensor includes the network structure of nano-tubes and an electrode applying power to the network structure.

Abstract translation: 目的：提供一种制造基于气体检测金属氧化物的纳米管和使用其的基于金属氧化物的气体传感器的方法，以通过增加纳米管的表面积和长度来增加相对于目标气体的灵敏度 。 构成：通过纺丝聚合物溶液形成纳米纤维模板（112）。 用于检测气体的金属氧化物系薄膜（124）通过原子层沉积法沉积在模板上，得到中间结构。 中间结构被热处理，并且模板被去除。 形成金属氧化物基纳米管（134）。 基于金属氧化物的气体传感器包括纳米管的网络结构和向网络结构施加电力的电极。

公开(公告)号：KR101027074B1

公开(公告)日：2011-04-05

申请号：KR1020080103943

申请日：2008-10-23

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박영준 ,  김용협 ,  홍성현 ,  서성민 ,  임재홍 ,  김대홍 ,  강태준

IPC: G01N27/12 ,  B81B7/02 ,  B82Y15/00

Abstract: 나노구조물 가스센서는 기판, 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극과 제2 전극, 복수의 나노구조물들 및 가스의 흡착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 금속산화물층을 포함한다. 상기 복수의 나노구조물들은 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결한다.

公开(公告)号：KR1020100044944A

公开(公告)日：2010-05-03

申请号：KR1020080103943

申请日：2008-10-23

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박영준 ,  김용협 ,  홍성현 ,  서성민 ,  임재홍 ,  김대홍 ,  강태준

IPC: G01N27/12 ,  B81B7/02 ,  B82Y15/00

Abstract: PURPOSE: A nanostructure gas sensor with a metallic oxide layer, a nanostructure gas sensor array thereof, and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size and thickness of a metallic oxide layer using a physical vapor deposition method. CONSTITUTION: A nanostructure gas sensor(300) with a metallic oxide layer comprises a substrate(110), first and second electrodes(120,130), multiple nanostructures(140), and a metallic oxide layer(150). The nanostructures are arranged on the substrate, and connect the first and second electrodes. The metallic oxide layer changes the electrical characteristics of the nanostructures.

Abstract translation: 目的：提供具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器，其纳米结构气体传感器阵列及其制造方法，以使用物理气相沉积方法容易地控制金属氧化物层的尺寸和厚度。 构造：具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器（300）包括基底（110），第一和第二电极（120,130），多个纳米结构（140）和金属氧化物层（150）。 纳米结构布置在基板上，并连接第一和第二电极。 金属氧化物层改变了纳米结构的电特性。