公开(公告)号：KR101027074B1

公开(公告)日：2011-04-05

申请号：KR1020080103943

申请日：2008-10-23

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박영준 ,  김용협 ,  홍성현 ,  서성민 ,  임재홍 ,  김대홍 ,  강태준

IPC: G01N27/12 ,  B81B7/02 ,  B82Y15/00

Abstract: 나노구조물 가스센서는 기판, 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극과 제2 전극, 복수의 나노구조물들 및 가스의 흡착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 금속산화물층을 포함한다. 상기 복수의 나노구조물들은 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결한다.

公开(公告)号：KR1020100044944A

公开(公告)日：2010-05-03

申请号：KR1020080103943

申请日：2008-10-23

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박영준 ,  김용협 ,  홍성현 ,  서성민 ,  임재홍 ,  김대홍 ,  강태준

IPC: G01N27/12 ,  B81B7/02 ,  B82Y15/00

Abstract: PURPOSE: A nanostructure gas sensor with a metallic oxide layer, a nanostructure gas sensor array thereof, and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size and thickness of a metallic oxide layer using a physical vapor deposition method. CONSTITUTION: A nanostructure gas sensor(300) with a metallic oxide layer comprises a substrate(110), first and second electrodes(120,130), multiple nanostructures(140), and a metallic oxide layer(150). The nanostructures are arranged on the substrate, and connect the first and second electrodes. The metallic oxide layer changes the electrical characteristics of the nanostructures.

Abstract translation: 目的：提供具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器，其纳米结构气体传感器阵列及其制造方法，以使用物理气相沉积方法容易地控制金属氧化物层的尺寸和厚度。 构造：具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器（300）包括基底（110），第一和第二电极（120,130），多个纳米结构（140）和金属氧化物层（150）。 纳米结构布置在基板上，并连接第一和第二电极。 金属氧化物层改变了纳米结构的电特性。