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公开(公告)号：WO2020027563A1
公开(公告)日：2020-02-06
申请号：PCT/KR2019/009512
申请日：2019-07-31
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: B01L3/00 , G01N33/487 , A61B10/00
Abstract: 본 실시예에 의한 체액 분석용 칩은 기판과, 상기 기판에 형성되는 복수의 돌출부(protrusion)들 및 인접한 상기 돌출부들에 의하여 정의되어 체액이 흐르는 유로(channel)를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 체액이 건조됨에 따라 나타나는 결정구조를 고려하여 칩에 다양한 패턴을 가지는 채널을 형성함으로써, 체액을 용이하게 분석할 수 있다. 나아가, 체액이 건조함에 나타나는 결정구조를 다른 흔적과의 구별을 명확하게 할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101034634B1
公开(公告)日：2011-05-16
申请号：KR1020080120495
申请日：2008-12-01
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/027
Abstract: 일 실시 예에 있어서, 비아 패턴 구조물의 형성 방법이 제공된다. 상기 비아 패턴 구조물의 형성 방법에 있어서, 우선 기판을 제공한다. 상기 기판의 상부에 콘택 패턴을 형성한다. 구리 시드막이 형성된 제1 캐리어 웨이퍼를 제공한다. 상기 기판의 상기 콘택 패턴과 상기 제1 캐리어 웨이퍼의 상기 구리 시드막이 대면하도록 상기 기판 및 상기 제1 캐리어 웨이퍼를 접합한다. 상기 기판의 하부를 식각하여 상기 콘택 패턴의 하부를 노출시킴으로써 비아 콘택 패턴을 형성한다. 상기 구리 시드막을 이용하는 구리 도금 공정을 실시하여, 비아 콘택 패턴 내부에 구리를 채워 비아 패턴을 형성한다. 상기 비아 패턴을 덮는 제1 전도성 라인 패턴을 상기 기판에 형성한다. 제2 캐리어 웨이퍼를 제공하여, 상기 기판에 형성된 상기 제1 전도성 라인 패턴과 상기 제2 캐리어 웨이퍼가 대면하도록 상기 기판 및 상기 제2 캐리어 웨이퍼를 접합한다. 상기 제1 캐리어 웨이퍼를 상기 기판으로부터 제거하여 상기 제1 캐리어 웨이퍼와 접하는 상기 비아 패턴의 일부분을 노출시킨다. 상기 노출된 비아 패턴의 일부분을 덮는 제2 전도성 라인 패턴을 상기 기판에 형성한다.
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公开(公告)号：KR102057210B1
公开(公告)日：2020-01-22
申请号：KR1020130078718
申请日：2013-07-05
Applicant: 에스케이하이닉스 주식회사 , 서울대학교산학협력단
IPC: H01L23/373
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公开(公告)号：KR101101925B1
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020080133431
申请日：2008-12-24
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 e-빔 및 SOI기판을 사용하지 않고 실리콘 기판의 측벽에 형성된 보호층 패턴과 통상적인 식각 공정을 이용하여 단결정실리콘 나노 와이어를 제조할 수 있는 나노 와이어 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, e-빔 및 SOI기판을 사용하지 않고 통상적인 포토리쏘그래피공정 및 반도체 기판을 사용하므로 나노와이어의 제조 비용을 절감할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020100076592A
公开(公告)日：2010-07-06
申请号：KR1020080134696
申请日：2008-12-26
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A drug delivery device for a nerve probe having a micro-pump and a method for manufacturing the device are provided to transfer the electronic stimulus through the nerve probe and to transfer the drug to nerve using the micro-pump. CONSTITUTION: A drug delivery device for a nerve probe having a micro-pump comprises: a storage unit for storing drug; a micro-pump transferring the stored drug through the channel to the storage; a carrier(10) equipped with a bonding pad for interlinking to external devices; a probe(20) which is extended towards the carrier to be inserted into the inside; a micro-channel(30) which transfers the drug to the end part of probe from the micro-pump; four electrodes which are arranged on the side of the probe in a rhombobic shape; and a tetrode electrode(40) which is electrically connected to the bonding pad of the carrier.
Abstract translation: 目的：提供具有微型泵的神经探针的药物递送装置和用于制造该装置的方法，用于通过神经探针传送电子刺激物并使用微型泵将药物转移至神经。 构成：具有微型泵的用于神经探针的药物输送装置包括：用于储存药物的储存单元; 将储存的药物通过通道传送到储存器的微型泵; 载体（10），其配备有用于与外部装置相互连接的接合焊盘; 探针（20），其朝向载体延伸以插入到内部; 微通道（30），其从微泵将药物转移到探针的末端部分; 四个电极布置在探针的一侧，呈菱形形状; 以及与载体的接合焊盘电连接的四极电极（40）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100074883A
公开(公告)日：2010-07-02
申请号：KR1020080133431
申请日：2008-12-24
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: H01L21/02603 , H01L21/02554 , H01L21/0274 , H01L21/28 , H01L21/30604 , H01L21/3065
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a nanowire is provided to manufacture the single-crystal silicon nanowire using a protective layer pattern formed on the side wall of a silicon substrate, and an etching process. CONSTITUTION: A manufacturing method of a nanowire comprises the following steps: forming more than grooves on a substrate(100); forming a protective layer pattern on upper side wall of the grooves; forming a lower side wall of the grooves by etching the lower side of the grooves using the protective layer pattern as an etching mask; etching the lower side wall of the grooves; removing the protective layer pattern; and etching the substrate in between two grooves to form the nanowire(130).
Abstract translation: 目的：提供一种纳米线的制造方法，以使用形成在硅衬底的侧壁上的保护层图案和蚀刻工艺来制造单晶硅纳米线。 构成：纳米线的制造方法包括以下步骤：在基板（100）上形成多于凹槽; 在槽的上侧壁上形成保护层图案; 通过使用保护层图案蚀刻凹槽的下侧作为蚀刻掩模来形成凹槽的下侧壁; 蚀刻凹槽的下侧壁; 去除保护层图案; 并且在两个沟槽之间蚀刻所述衬底以形成所述纳米线（130）。
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公开(公告)号：KR1020160140294A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020150099068
申请日：2015-07-13
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G03B9/04
Abstract: 본실시예에따른조리개는, 투명기판과, 투명기판상에형성되어구동신호에의하여빛을차단하거나, 투과시키는적어도하나의조리개판 부(aperture plate unit) 및조리개판 부에구동신호를제공하는적어도하나의도선을포함하며, 적어도하나의조리개판 부는제어신호에의하여빛을투과하거나빛을차단하는액정(liquid crystal)을포함한다.
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公开(公告)号：KR101305198B1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：KR1020110132255
申请日：2011-12-09
Applicant: 현대자동차주식회사 , 기아자동차주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N27/02 , F01N2560/05 , G01N15/0656 , G01N33/0027
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 입자상물질 센서유닛은 배기가스가 지나는 배기라인, 및 상기 배기라인의 일측에 설치되어, 상기 배기가스에 포함된 입자상물질이 인접하여 지날 때 신호를 발생시키는 피엠센서를 포함하고, 상기 피엠센서는, 그 전면부에 돌출되어 형성되고, 설정된 폭간격과 설정된 길이간격을 두고 배열되는 돌출부, 그 후면부에는 양단에서 공급되는 전류에 의해서 열을 발생시켜, 상기 전면부에 부착된 입자상물질을 태워 제거하는 히터전극, 및 상기 히터전극과 인접하여 상기 신호를 외부로 전달하기 위한 센싱전극패드를 포함한다.
따라서, 디젤매연필터(DPF)의 매연(soot)과 같은 입자상물질의 포집량이나 배기가스에 포함된 입자상물질의 양을 정밀하게 판단함으로써 강화되는 배기가스 규제에 효과적으로 대응할 수 있다.-
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公开(公告)号：KR1020110117872A
公开(公告)日：2011-10-28
申请号：KR1020100037347
申请日：2010-04-22
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 열전소자의 집적도를 향상시킴으로써 단위면적당 발전량이 큰 초소형 열전소자 시스템을 제작할 수 있도록 하는 초소형 열전 소자의 구조 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 전기전도도가 높고 열전도도가 낮으며, 양단의 고온단 부위에서 저온단 부위로 열 이동시 각각 전자와 홀이 고온단에서 저온단으로 이동하도록 수평 수직으로 서로 교차되도록 적층되어 있는 P형 물질 및 N형 물질과; 전기 전도도와 열전도도가 모두 높으며, 적층 상태의 상기 P형 물질 및 N형 물질 각각의 사이에 형성된 전기전도판과; 전기전도도가 낮고 열전도도가 높으며, 상기 전기전도판의 일 측면 혹은 그 사이에 위치하여 고온단과 저온단을 형성하는 방열판과; 전기전도도와 열전도도가 모두 낮으며, 동일 수평 상에 인접하게 위치하는 상기 P형 물질 및 N형 물질의 열전도를 차단시키도록 이들 사이에 형성된 절연체를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 열전 소자의 구조와 그 제작방법을 제공한다.
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