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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101966582B1
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：KR1020180013584
申请日：2018-02-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/28
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2.发明授权2차원 맥세인 박막의 제조방법, 이를 이용한 전자 소자의 제조 방법, 2차원 맥세인 박막을 포함하는 전자 소자 有权用于产生MAC-老薄膜，包括制造方法的电子器件的一种二维方法，所述二维薄老MAC的电子装置的使用相同的
公开(公告)号：KR101807390B1
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020160025330
申请日：2016-03-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/285 , H01L21/02 , H01L21/324
Abstract: 2차원맥세인박막의제조방법, 이를이용한전자소자의제조방법, 2차원맥세인박막을포함하는전자소자에서, 2차원맥세인박막의제조방법은 MAlC 맥스상벌크(M은전이금속을나타낸다)를불산처리하여 MC(OH)F맥세인벌크(0
Abstract translation: 在包括制造电子器件的方法的电子器件制造岁薄膜的二维静脉的方法，使用相同的二维MAC-老薄膜，二维MAC-老薄膜体的制造方法MALC最大值（M银电解表示金属） 通过使用MC（OH）的F MAC-老散装（0
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公开(公告)号：KR101923772B1
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：KR1020160131502
申请日：2016-10-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명의 2차원나노박막을전사시키는방법에있어서, 방법은모기재상에 2차원나노박막을형성하는단계; 2차원나노박막상에금속박막을형성하는단계; 금속박막상에지지체층을형성하는단계; 2차원나노박막, 금속박막및 지지체층이순차적으로적층된모기재를물에침지시켜, 모기재로부터 2차원나노박막을박리시키는단계; 2차원나노박막, 금속박막및 지지체층이순차적으로적층된구조에서 2차원나노박막이새로운기판과접촉하도록새로운기판상에부착시키는단계; 및지지체층및 금속박막을제거하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170102768A
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：KR1020160025330
申请日：2016-03-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/285 , H01L21/02 , H01L21/324
Abstract: 2차원맥세인박막의제조방법, 이를이용한전자소자의제조방법, 2차원맥세인박막을포함하는전자소자에서, 2차원맥세인박막의제조방법은 MAlC 맥스상벌크(M은전이금속을나타낸다)를불산처리하여 MC(OH)F맥세인벌크(0
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公开(公告)号：KR1020160090141A
公开(公告)日：2016-07-29
申请号：KR1020150010059
申请日：2015-01-21
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G01N21/8803 , C21D1/00 , C23C16/00 , G01N1/28
Abstract: 광학현미경을이용하여금속기판상에성장된대면적그래핀의결함을검사하는방법이개시된다. 광학현미경을이용하여금속기판상에성장된대면적그래핀의결함을검사하는방법은상기대면적그래핀이성장된금속기판을습기가제거된건조한분위기및 산소분위기에서열처리하는산소분위기건식열처리단계를포함하고, 상기산소분위기건식열처리단계동안산소가상기그래핀의결함을통과하여상기결함에대응하는상기금속기판의부분을산화시킴으로써상기대면적그래핀의결함을검사할수 있다.
Abstract translation: 公开了使用光学显微镜检测在金属基板上生长的大面积石墨烯中的缺陷的方法。 根据本发明的实施例，使用光学显微镜检测在金属基板上生长的大面积石墨烯中的缺陷的方法包括：氧气氛干热处理步骤，对金属基板进行热处理， 大面积石墨烯生长在除去水分和氧气的干燥气氛中; 并且能够通过在氧气氛干热处理步骤期间使氧通过石墨烯的缺陷来检测大面积石墨烯的缺陷，对与该缺陷相对应的金属基板的一部分进行氧化。
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