公开(公告)号：KR101797874B1

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：KR1020160128528

申请日：2016-10-05

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  르타이유이 ,  정동준 ,  윤승균 ,  황병웅

IPC: G01N27/407 ,  G01N27/411

CPC classification number: G01N27/4071 ,  G01N27/4075 ,  G01N27/4115

Abstract: 본발명은전기적감지및 광학적감지가동시에가능한유해가스감지센서및 이의제조방법에관한것이다. 본발명은환원된산화그래핀(R-GO)과브로모페놀블루(BPB)를이용하여유해가스의전기적검출과광학적검출이동시에가능한고성능의가스감지센서에관한것이다.

公开(公告)号：KR101611133B1

公开(公告)日：2016-04-08

申请号：KR1020150068919

申请日：2015-05-18

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  르타이유이 ,  김덕진 ,  김진수

IPC: G01N27/407 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00

Abstract: 3차원구조의가스센서가개시된다. 3차원구조의가스센서는기판; 상기기판으로부터수직한방향을따라상기기판상에형성된복수개의구조물들; 상기복수개의구조물들의표면및 상기복수개의구조물들이형성되어있지않은기판상의일부또는전부에형성된제1 접착층; 상기제1 접착층상에형성된제2 접착층; 상기제2 접착층상에형성된채널층; 상기채널층표면에형성된복수개의금속산화물구조체들; 상기기판상에형성되고상기채널층과전기적으로연결된제1 전극; 및상기기판상에상기제1 전극과이격된상태로상기채널층과전기적으로연결된제2 전극을포함한다.

Abstract translation: 公开了具有三维结构的气体传感器。 具有三维结构的气体传感器可以敏感地感测预定的有毒气体并且可以扩大附着有气体分子的表面积。 具有三维结构的气体传感器包括：基板; 在与衬底垂直的方向上形成在衬底上的多个结构; 形成在其上没有形成结构的基板的一部分或全部的结构的表面上的第一粘附层; 形成在第一粘合层上的第二粘附层; 形成在第二粘合层上的沟道层; 形成在沟道层表面上的多个金属氧化物结构; 形成在所述基板上并电连接到所述沟道层的第一电极; 以及第二电极，与所述沟道层电连接，同时与所述衬底上的所述第一电极分离。