公开(公告)号：KR1020110009643A

公开(公告)日：2011-01-28

申请号：KR1020100071127

申请日：2010-07-22

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  윤옥자 ,  김덕진 ,  엔구엔튜이녹튜이

IPC: G01N27/414 ,  G01N27/26

CPC classification number: G01N27/4145 ,  G01N27/414 ,  G01N27/4146 ,  G01N33/48735

Abstract: PURPOSE: A transparent cell based sensor for real-time optical observation of cell capacity, a manufacturing method thereof and a multi-detection sensor chip using the same are provided to optically observe the movement of cell in real time and improve the reliability of detection by detecting signals generated from the transparent cell based sensor with an electro-chemical method. CONSTITUTION: A transparent cell based sensor for real-time optical observation of cell capacity comprises an ion selective field effect transistor type sensor(150,160) and an electro-chemical sensor(140) which are formed in parallel to each other on a transparent substrate. Each sensor comprises a transparent drain electrode, a source electrode, a transparent semiconductor layer, a transparent ion sensitivity insulator detection layer and a reference electrode.

Abstract translation: 目的：提供一种用于实时光学观察细胞容量的透明细胞基传感器，其制造方法和使用该细胞容量的多检测传感器芯片，以实时地光学观察细胞的移动并提高检测的可靠性， 用电化学方法检测从基于透明电池的传感器产生的信号。 构成：用于电池容量的实时光学观察的透明电池用传感器包括在透明基板上彼此平行地形成的离子选择场效应晶体管型传感器（150,160）和电化学传感器（140）。 每个传感器包括透明漏电极，源电极，透明半导体层，透明离子敏感绝缘体检测层和参考电极。

公开(公告)号：KR101611133B1

公开(公告)日：2016-04-08

申请号：KR1020150068919

申请日：2015-05-18

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  르타이유이 ,  김덕진 ,  김진수

IPC: G01N27/407 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00

Abstract: 3차원구조의가스센서가개시된다. 3차원구조의가스센서는기판; 상기기판으로부터수직한방향을따라상기기판상에형성된복수개의구조물들; 상기복수개의구조물들의표면및 상기복수개의구조물들이형성되어있지않은기판상의일부또는전부에형성된제1 접착층; 상기제1 접착층상에형성된제2 접착층; 상기제2 접착층상에형성된채널층; 상기채널층표면에형성된복수개의금속산화물구조체들; 상기기판상에형성되고상기채널층과전기적으로연결된제1 전극; 및상기기판상에상기제1 전극과이격된상태로상기채널층과전기적으로연결된제2 전극을포함한다.

Abstract translation: 公开了具有三维结构的气体传感器。 具有三维结构的气体传感器可以敏感地感测预定的有毒气体并且可以扩大附着有气体分子的表面积。 具有三维结构的气体传感器包括：基板; 在与衬底垂直的方向上形成在衬底上的多个结构; 形成在其上没有形成结构的基板的一部分或全部的结构的表面上的第一粘附层; 形成在第一粘合层上的第二粘附层; 形成在第二粘合层上的沟道层; 形成在沟道层表面上的多个金属氧化物结构; 形成在所述基板上并电连接到所述沟道层的第一电极; 以及第二电极，与所述沟道层电连接，同时与所述衬底上的所述第一电极分离。

公开(公告)号：KR101359735B1

公开(公告)日：2014-02-11

申请号：KR1020120006934

申请日：2012-01-20

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  응우옌뜨엉투이 ,  김덕진 ,  윤옥자

IPC: G01N27/414 ,  G01N33/48 ,  G01N27/333

CPC classification number: G01N27/414

Abstract: 본 발명은 전해질의 다양한 이온 농도를 선택적으로 측정할 수 있고, 동시에 투명하게 제조됨으로써 광학적 측정이 가능하여 셀의 거동현상도 측정이 가능하며, 용액에 의한 이온 감지부의 열화를 방지하기 위해 이온 감지부가 트랜지스터의 채널부로부터 연장된 게이트 전극 상에 위치하도록 구성되어 내구성이 향상된 전계효과 트랜지스터형 신호변환기를 이용한 투명성 이온 감지 센서칩 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR101127075B1

公开(公告)日：2012-03-23

申请号：KR1020080051011

申请日：2008-05-30

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  김덕진

IPC: G01N33/48

Abstract: 본 발명은 바이오물질 패턴 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 바이오물질 패턴 형성방법은, 기재 표면에 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 자기조립 단분자층 패턴을 형성하는 단계; 상기 기재 표면에 형성된 자기조립 단분자층 패턴에 바이오물질 고정화 링커를 형성하는 단계; 및 상기 바이오물질 고정화 링커에 바이오물질을 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 잉크젯 프린팅 방법으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성함으로써 간단한 공정으로 자기조립 단분자층 패턴을 형성할 수 있어 바이오물질 패턴의 형성 공정이나 바이오센서의 제조 공정이 매우 간단하고 빠르게 이루어지는 효과가 있다.
자기조립 단분자층, 바이오센서, 바이오물질 패턴, 잉크젯 프린팅

公开(公告)号：KR1020090131918A

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：KR1020080057916

申请日：2008-06-19

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  김덕진 ,  엔구엔튜이녹튜이

IPC: G01N27/26 ,  G01N27/00 ,  G01N33/48

Abstract: PURPOSE: A biosensor applying an organic FET(Field Effect Transistor) and a manufacturing method thereof are provided to apply to a mobile or attached sensor by using an organic semiconductor having flexible property. CONSTITUTION: An insulator gate(120) is formed in the bottom side of a first substrate(110). The first substrate is etched to form a reaction bath. An organic semiconductor layer(130) is evaporated in the bottom side of the insulator gate. A source and drain electrode(140,150) is formed in the bottom side of the organic semiconductor layer. A reference electrode is manufactured and installed in the reaction bath.

Abstract translation: 目的：通过使用具有柔性的有机半导体，提供施加有机FET（场效应晶体管）的生物传感器及其制造方法，以应用于移动或附接的传感器。 构成：在第一基板（110）的底侧形成有绝缘体浇口（120）。 蚀刻第一衬底以形成反应浴。 有机半导体层（130）在绝缘体栅极的底侧蒸发。 源极和漏极（140,150）形成在有机半导体层的底侧。 参考电极被制造并安装在反应槽中。

公开(公告)号：KR100906377B1

公开(公告)日：2009-07-07

申请号：KR1020070089592

申请日：2007-09-04

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  윤영배 ,  박성민 ,  김덕진

IPC: H01L21/3065

Abstract: 본 발명은 반도체 기판의 박층화를 보다 신속하게 진행할 수 있는 고속 박층화장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 고속 박층화장치는, 내부 공간에 기판이 구비된 챔버; 상기 챔버 내에 제1, 제2 및 제3 공정가스를 선택적으로 공급하는 제1, 제2 및 제3 가스공급통로; 상기 제1가스공급통로 상에 설치되고, 상기 제1공정가스를 플라즈마화시켜 제1라디칼을 발생시키며, 상기 제1라디칼을 상기 챔버 내로 주입하는 제1원격플라즈마 발생기; 및 상기 제2가스공급통로 상에 설치되고, 상기 제2공정가스를 플라즈마화시켜 제2라디칼을 발생시키며, 상기 제2라디칼을 상기 챔버 내로 주입하는 제2원격플라즈마 발생기를 포함한다.
기판, 실리콘, 박층화, 라디칼, 가스, 원격플라즈마

公开(公告)号：KR101257221B1

公开(公告)日：2013-04-29

申请号：KR1020100071127

申请日：2010-07-22

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  윤옥자 ,  김덕진 ,  엔구엔튜이녹튜이

IPC: G01N27/414 ,  G01N27/26

CPC classification number: G01N27/4145 ,  G01N27/414 ,  G01N27/4146 ,  G01N33/48735

Abstract: 본 발명은 세포 거동의 실시간 광학적 관찰이 가능한 투명성 세포 기반 센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 다중검출 센서칩에 관한 것으로, 보다 구체적으로 이온 선택성 전계효과 트랜지스터형 센서(ISFET)와 전기화학센서를 이용하여 세포의 대사 작용 변화에 따른 전해질의 이온 농도를 감지할 수 있고, 동시에 투명한 재질로 제조됨으로써 광학적 측정이 가능하여 셀의 거동현상도 측정할 수 있는, 세포 거동의 실시간 광학적 관찰이 가능한 투명성 세포 기반 센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 다중검출 센서칩에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020120085211A

公开(公告)日：2012-07-31

申请号：KR1020120006934

申请日：2012-01-20

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  응우옌뜨엉투이 ,  김덕진 ,  윤옥자

IPC: G01N27/414 ,  G01N33/48 ,  G01N27/333

CPC classification number: G01N27/414

Abstract: PURPOSE: A transparent ion detecting sensor chip using field-effect transistor type signal converters in which an extended gate electrode is formed and a manufacturing method thereof are provided to optically observe real time fetal movement of a cell and to selectively detect an ion by converting a potential difference caused by various ion changes into a changes of a current value. CONSTITUTION: A transparent ion detecting sensor chip(200) using field-effect transistor type signal converters in which an extended gate electrode(110) comprises a transparent substrate(100), an ion detecting sensor, and a passivation thin film(190). The ion detecting sensor comprises a detection thin film(120) and a selective ion penetrating film(130), and a well(140). The detecting film is formed on the transparent substrate and composed of an indum tin oxcide or graphene. The selective ion penetrating film is arranged in the upper part of the detecting thin film. The well covers the selective ion penetrating film and accommodates electrolyte. The gate electrode is electrically connected to the detecting thin film. The passivation thin film is formed on a field-effect transistor type signal converter.

Abstract translation: 目的：一种使用场效应晶体管型信号转换器的透明离子检测传感器芯片，其中形成有延伸的栅电极及其制造方法，以光学地观察细胞的实时胎动，并通过转换 由各种离子变化引起的电位差变为电流值的变化。 构成：使用场效应晶体管型信号转换器的透明离子检测传感器芯片（200），其中延伸的栅电极（110）包括透明基板（100），离子检测传感器和钝化薄膜（190）。 离子检测传感器包括检测薄膜（120）和选择性离子穿透膜（130）和井（140）。 检测膜形成在透明基板上，由氧化锡或石墨烯构成。 选择性离子穿透膜布置在检测薄膜的上部。 该井覆盖选择性离子穿透膜并容纳电解质。 栅电极与检测薄膜电连接。 钝化薄膜形成在场效应晶体管型信号转换器上。

公开(公告)号：KR1020090121680A

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：KR1020080047696

申请日：2008-05-22

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  김현우 ,  김덕진

IPC: H05K3/18

CPC classification number: H05K3/125 ,  H05K1/0393 ,  H05K3/181 ,  H05K3/243 ,  H05K2203/013

Abstract: PURPOSE: A method for forming a metal line pattern by using selective electroless plating on a flexible substrate is provided to plate metal through an electroless plating by making selectively catalyst absorbed to a self-assembled monolayer through an inkjet printing. CONSTITUTION: A method for forming a metal line pattern by using selective electroless plating on a flexible substrate is comprised of the steps: forming a pattern of the self-assembled monolayer on a substrate base by an inkjet printing; making a catalyst particle absorbed to the self-assembled monolayer which is patterned in forming the self-assembled monolayer; and forming a metal pattern on the absorbed catalyst particle through an electroless plating.

Abstract translation: 目的：通过在柔性基板上使用选择性化学镀来形成金属线图案的方法通过使喷墨印刷选择性地将催化剂吸收到自组装单层上而通过化学镀来镀金属。 构成：通过在柔性基板上使用选择性化学镀来形成金属线图案的方法包括以下步骤：通过喷墨印刷在基底上形成自组装单层图案; 使得吸收到自组装单层的催化剂颗粒被图案化以形成自组装单层; 以及通过化学镀在所吸收的催化剂颗粒上形成金属图案。

公开(公告)号：KR100818884B1

公开(公告)日：2008-04-01

申请号：KR1020060118966

申请日：2006-11-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이내응 ,  김정구 ,  김덕진 ,  윤영배 ,  뉴궨,당남 ,  박성민

IPC: H05B33/10

CPC classification number: H01L51/5256 ,  H01L51/0031 ,  H01L51/56

Abstract: A method for fabricating a transparent organic/inorganic multi barrier coating layers is provided to expand a life span of a device by blocking moisture and oxygen with an encapsulation thin film. A method for fabricating a transparent organic/inorganic multi barrier coating layers includes the steps of: forming an organic layer(30a) on a transparent substrate through a plasma polymerization method using a CCP(Capacitively Coupled Plasma); and forming an inorganic layer(40a) on the organic layer through the plasma polymerization method using the CCP. The substrate is PEN(Polyethylene-2,6-naphthalate). The organic layer is formed by using methylcyclohexane. The inorganic layer is formed using hexamethyldisiloxane. The organic layer is formed by using an organic precursor which forms a transparent polymer. The inorganic layer is formed by using an inorganic metallic precursor having a silicon element which forms the transparent polymer.

Abstract translation: 提供一种用于制造透明有机/无机多屏障涂层的方法，以通过用封装薄膜阻挡水分和氧来扩展器件的使用寿命。 制造透明有机/无机多屏障涂层的方法包括以下步骤：通过使用CCP（电容耦合等离子体）的等离子体聚合方法在透明基板上形成有机层（30a）; 以及通过使用CCP的等离子体聚合法在有机层上形成无机层（40a）。 基材是PEN（聚2,6-萘二甲酸乙二醇酯）。 有机层通过使用甲基环己烷形成。 使用六甲基二硅氧烷形成无机层。 通过使用形成透明聚合物的有机前体形成有机层。 通过使用具有形成透明聚合物的硅元素的无机金属前体形成无机层。