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公开(公告)号：KR1020170064622A
公开(公告)日：2017-06-12
申请号：KR1020150170057
申请日：2015-12-01
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은플라즈마멸균기및 플라즈마멸균기의과산화수소기체발생장치에관한것으로서, 본발명에따른플라즈마멸균기는멸균챔버를 100torr 이상의상압(준상압)으로형성한다음, 비활성기체를이용하여플라즈마를발생시키고, 발생된플라즈마에의해과산화수소기체로부터 OH 라디컬을생성시킴으로써멸균대상을멸균시키며, 이때비활성기체를이용하여과산화수소기체를생성하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及在等离子体灭菌器和等离子体灭菌装置中产生气体的过氧化氢，根据本发明的等离子体灭菌器生成在常压下灭菌室至100托或更多的形成（标准大气压），然后，产生的等离子体使用惰性气体， 通过生成OH由等离子体从过氧化氢的气体基团sikimyeo灭菌灭菌目标，此时使用的惰性气体的特征在于，以产生过氧化氢的气体。
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公开(公告)号：KR1020140127626A
公开(公告)日：2014-11-04
申请号：KR1020130046203
申请日：2013-04-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본원은 폴리스티렌/실리카 복합체를 포함하는 연마재, 및 상기 연마재의 제조 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及含有聚苯乙烯/二氧化硅复合材料的抛光剂及其制造方法。 本发明涉及一种包含聚苯乙烯/二氧化硅复合材料的抛光剂，该聚苯乙烯/二氧化硅复合材料通过嵌入聚苯乙烯微球形成的二氧化硅纳米颗粒具有覆盆子形状。 制造抛光剂的方法包括以下步骤：将二氧化硅晶种嵌入聚苯乙烯微球中; 用嵌入的二氧化硅晶种添加二氧化硅前体，然后在醇的水溶液中水解以生长二氧化硅以形成具有覆盆子形状的聚苯乙烯/二氧化硅复合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101756550B1
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：KR1020150170057
申请日：2015-12-01
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은플라즈마멸균기및 플라즈마멸균기의과산화수소기체발생장치에관한것으로서, 본발명에따른플라즈마멸균기는멸균챔버를 100torr 이상의상압(준상압)으로형성한다음, 비활성기체를이용하여플라즈마를발생시키고, 발생된플라즈마에의해과산화수소기체로부터 OH 라디컬을생성시킴으로써멸균대상을멸균시키며, 이때비활성기체를이용하여과산화수소기체를생성하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020170032504A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020150129448
申请日：2015-09-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은플라즈마를이용한멸균방법에관한것으로서, 본발명에따른플라즈마를이용한멸균방법은멸균챔버를 100torr 이상의상압(준상압)으로형성한다음, 비활성가스를이용하여플라즈마를발생시키고, 발생된플라즈마에의해과산화수소증기로부터 OH 라디컬을생성시킴으로써멸균대상을멸균시킬있는것을특징으로한다. 이에의하여, 간이한구성과비용이저렴한플라즈마를이용한멸균방법이제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及到使用利用了根据本发明的等离子体的等离子体灭菌方法的灭菌方法生成灭菌室在常压下形成至100托或更高（标准大气压），然后，等离子体使用惰性气体，产生等离子体 由过氧化氢蒸气产生OH自由基，从而对待消毒的物体进行消毒。 由此，提供了使用等离子体的灭菌方法并且结构简单并且成本低廉。
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公开(公告)号：KR101465761B1
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020140080804
申请日：2014-06-30
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 본원은 폴리스티렌/실리카 복합체를 포함하는 연마재, 및 상기 연마재의 제조 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020140127782A
公开(公告)日：2014-11-04
申请号：KR1020140080804
申请日：2014-06-30
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 본원은 폴리스티렌/실리카 복합체를 포함하는 연마재, 및 상기 연마재의 제조 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种含有聚苯乙烯/二氧化硅复合材料的抛光剂及其制造方法。 该方法包括将二氧化硅晶种嵌入聚苯乙烯微球中的步骤; 加入二氧化硅前体与嵌入的二氧化硅晶种，然后在醇水溶液中水解生长二氧化硅，形成具有覆盆子形状的聚苯乙烯/二氧化硅复合物，本发明的抛光剂具有稳定的同时具有 二氧化硅和聚苯乙烯的柔软度。
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公开(公告)号：KR101529788B1
公开(公告)日：2015-06-29
申请号：KR1020130152849
申请日：2013-12-10
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C23C28/00 , C23C16/50 , C23C16/455
CPC classification number: C23C14/542 , C01B17/20 , C01B19/007 , C01G1/12 , C01G39/06 , C01P2004/24 , C23C14/14 , C23C14/5866
Abstract: 본발명은금속칼코게나이드박막및 그제조방법에관한것으로서, 본발명에따른금속칼코게나이드박막의제조방법은기판상에금속층을형성하는금속층형성단계; 저온기상증착용챔버내에상기기판을투입하고, 상기챔버내에서칼코겐원자-함유기체와아르곤가스를주입한후, 플라스마를발생시켜상기플라스마에의해분해된칼코겐원자가상기금속층을구성하는금속원자와화학적으로결합되어금속칼코게나이드박막으로형성되도록하는금속칼코게나이드박막형성단계;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 저온기상증착방법(PECVD)을이용하여해당기판에 in-situ방식으로플라스틱등의낮은용융점을가지는기판에직접금속칼코게나이드박막을형성할수 있고, 이를통해별도의건조공정이불필요하고, 별도의전사공정을거치지않아도박막형성이가능하여전기적/물리적특성을극대화하고, 높은균일도와신뢰도를담보할수 있는금속칼코게나이드박막및 그제조방법이제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种硫族化物金属薄膜及其制造方法。 制造硫族化物金属薄膜的方法包括：在基板上形成金属层的金属层形成步骤; 以及硫化物金属薄膜形成工序，在低温蒸镀室内输入基板，在室内注入含硫属原子的气体和氩气，然后产生等离子体，并化学地将由等离子体分解的硫属原子与 构成要形成的金属层的金属原子作为硫族化物金属薄膜。 因此，提供了硫族化物金属薄膜及其制造方法，通过该硫化物金属薄膜可以将硫族化物金属薄膜直接在相应的基板上以原位形式在塑料或线路的熔点低的基板上形成， 使用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法，通过该方法不需要单独的干燥过程，并且可以不经过单独的转移过程而形成薄膜，以使电/物理特征最大化，并且具有高均匀性和可靠性 可以安全。
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